穿主体过孔隔离的共轴电容器及其形成技术

    公开(公告)号:CN105706239A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201380080847.9

    申请日:2013-12-23

    Abstract: 公开了用于在半导体管芯中形成穿主体过孔(TBV)隔离的共轴电容器的技术。在一些实施例中,利用所公开的技术提供的圆柱形电容器可以包括,例如由电介质材料和外导体板环绕的导电TBV。例如,根据一些实施例,可以形成TBV和外板,以便在共轴配置中彼此自对准。公开的电容器可以贯穿主管芯的主体,使得它的端子可以在其上表面和/或下表面上可及。因此,在一些情况下,根据一些实施例,主管芯可以与另一个管芯电连接,以提供管芯叠置体或其它三维集成电路(3D IC)。在一些情况下,例如,可以利用公开的电容器来提供开关式电容器电压调节器(SCVR)中的集成电容。

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