公开(公告)号：CN101964294B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201010504226.7

申请日：2010-07-15

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 沃尔夫拉姆·比勒 ,  霍尔格·多默 ,  马赛厄斯·兰 ,  乔尔格·斯托多尔卡 ,  彼得·罗迪杰 ,  埃默里赫·伯塔格诺里 ,  海因茨·万曾伯克

IPC: H01J37/28 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/30 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0044 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/3174

Abstract: 本发明提供一种粒子束显微系统及其操作方法。用于清洁自身的该粒子束显微系统1包括：辐射系统，以导引电磁辐射到需要清洁的表面；以及供给系统61，以供给前驱气体到粒子束系统1的真空室11的内部。在将被清洁的表面的附近，前驱气体被激活并转变为与存在于被辐照表面的污染物反应的反应气体，从而所述污染物随后可以被泵出。