公开(公告)号：CN101490792B

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN200780027492.1

申请日：2007-07-06

Applicant: 阿维扎技术有限公司

Inventor： 加里·普劳德富特 ,  克里斯托弗·戴维·乔治 ,  保罗·埃杜拉多·利马 ,  戈登·罗伯特·格林 ,  罗伯特·肯尼思·特罗韦尔

IPC: H01J37/305 ,  H01J27/04 ,  H01J37/317 ,  H01J27/16 ,  C23C14/46 ,  H01J37/20 ,  H01J37/08

CPC classification number: C23C14/46 ,  H01J27/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/3146

Abstract: 本发明涉及一种宽离子束沉积设备(100)，该设备包括一离子源(101)，一目标物体(102)，一可倾斜的基底台子(103)和一辅助出口(104)。目标物体(102)是卡盘的形式，它携带了多个目标物体，离子源(101)被设置成产生基本长方形断面的离子束(105)。

公开(公告)号：CN101490789B

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN200780027484.7

申请日：2007-07-12

Applicant: 阿维扎技术有限公司

Inventor： 加里·普劳德富特 ,  戈登·罗伯特·格林 ,  罗伯特·肯尼思·特罗韦尔

IPC: H01J27/18 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J27/18 ,  H01J27/024 ,  H01J37/04 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/083

Abstract: 本发明涉及离子枪(10)，所述离子枪包括由RF源(12)驱动的等离子发生器(11)、具有输出端(14)的等离子或源腔(13)，穿过输出端(14)安装有加速器格栅(15)。加速器格栅(15)包括四个独立的格栅。最靠近输出端(14)的第一格栅(16)由DC电源(16a)保持正电压，第二格栅(17)由DC电源(17a)保持在强负电压。第三格栅(18)由DC电源(18a)保持在负电压，所述负电压远低于第二格栅(17)，并且第四格栅(19)接地。也描述了安装这些格栅的装置。

公开(公告)号：CN101490792A

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200780027492.1

申请日：2007-07-06

Applicant: 阿维扎技术有限公司

Inventor： 加里·普劳德富特 ,  克里斯托弗·戴维·乔治 ,  保罗·埃杜拉多·利马 ,  戈登·罗伯特·格林 ,  罗伯特·肯尼思·特罗韦尔

IPC: H01J37/305 ,  H01J27/04 ,  H01J37/317 ,  H01J27/16 ,  C23C14/46 ,  H01J37/20 ,  H01J37/08

CPC classification number: C23C14/46 ,  H01J27/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/3146

Abstract: 本发明涉及一种宽离子束沉积设备(100)，该设备包括一离子源(101)，一目标物体(102)，一可倾斜的基底台子(103)和一辅助出口(104)。目标物体(102)是卡盘的形式，它携带了多个目标物体，离子源(101)被设置成产生基本长方形断面的离子束(105)。

公开(公告)号：CN101490789A

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200780027484.7

申请日：2007-07-12

Applicant: 阿维扎技术有限公司

Inventor： 加里·普劳德富特 ,  戈登·罗伯特·格林 ,  罗伯特·肯尼思·特罗韦尔

IPC: H01J27/18 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J27/18 ,  H01J27/024 ,  H01J37/04 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/083

Abstract: 本发明涉及离子枪(10)，所述离子枪包括由RF源(12)驱动的等离子发生器(11)、具有输出端(14)的等离子或源腔(13)，穿过输出端(14)安装有加速器格栅(15)。加速器格栅(15)包括四个独立的格栅。最靠近输出端(14)的第一格栅(16)由DC电源(16a)保持正电压，第二格栅(17)由DC电源(17a)保持在强负电压。第三格栅(18)由DC电源(18a)保持在负电压，所述负电压远低于第二格栅(17)，并且第四格栅(19)接地。也描述了安装这些格栅的装置。