一种超高纯氢气、氩气、氦气纯化方法

    公开(公告)号:CN107434243A

    公开(公告)日:2017-12-05

    申请号:CN201710609233.5

    申请日:2017-07-25

    Abstract: 本发明涉及半导体、LED、光伏太阳能生产等领域,具体的涉及一种超高纯氢气、氩气、氦气纯化方法。主要技术方案如下:包括干燥脱氧工序、吸气工序、再生工序;三个工序通过控制系统实现,所述的控制系统包括中央控制单元、以及分别与中央控制单元的流量计、程控阀门组、交流接触器、压力传感器、加温元件。本发明的对原料气中O2、H2O、CO、CO2、N2、CH4、TCH等杂质深度脱出,解决了气体杂质影响电子行业生产器件,造成电子元件质量下降的问题。且采用两塔纯化流程,其中一个吸附干燥器工作,另一个吸附干燥器则进行再生,这样两个吸附干燥器交替工作和再生,从而可实现对原料气的连续净化。

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