一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置

    公开(公告)号:CN108355416A

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201810354133.7

    申请日:2018-04-19

    CPC classification number: B01D46/00 B01D53/02 B01D53/266 C01B23/0052

    Abstract: 本发明公开了一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置,涉及氦气检漏、回收技术领域。包括回收控制阀门、过滤装置和净化装置。本发明通过回收控制阀门连接着真空箱检漏系统的高压气体罐的排气口,回收控制阀门通过设置时间周期对高压气体罐回收氦气,所回收的氦气分别在滤油装置和滤水装置中过滤去除掉油、水等杂质成分,再经过程序控制阀门A~F,分别在氦气净化装置和中经过吸附作用获得洁净的氦气;氦气净化装置A和B所用的吸附介质为多种材料组成的混合吸附材料,获得的洁净氦气经过流量计计量后补充入真空箱检漏系统的低压气罐中,经压缩机增压充入高压气罐便可以循环使用。

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