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公开(公告)号：CN102770759A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201080057530.X
申请日：2010-12-10
Applicant: 赛默芬菲尼根有限责任公司
IPC: G01N30/34 , C01B23/00 , B01D53/053 , F17B1/26
CPC classification number: G01N30/34 , B01D53/053 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/11 , B01D2253/202 , B01D2255/20753 , B01D2256/18 , B01D2257/104 , B01D2257/2064 , B01D2257/702 , B01D2257/704 , B01D2257/80 , B01D2259/40001 , B01D2259/402 , C01B23/0015 , C01B23/0052 , C01B2210/0031 , G01N30/32 , Y02P20/154
Abstract: 一种对于用作气相色谱仪的载气的氦气进行收集、重新加压、纯化和再利用的系统，该气相色谱仪包括一个载气入口和至少一个排气口，该系统包括一个纯化的氦气源并且其特征在于：(i)一个柔性气囊，该柔性气囊包括一个气囊内部，该气囊内部是流体连接到该至少一个排气口上；(ii)一个隔室，该隔室包括一个隔室内部，该气囊被包含在该隔室内部中；(iii)一个加压空气或气体源，该加压空气或气体源是流体连接到该隔室内部上并且是可操作的以便压缩该柔性气囊；(iv)一个气体储存器，该气体储存器是流体连接到该气囊内部以便从该气囊内部接收携带有氦气的气体；以及(v)流体连接到该气体储存器上的至少一个气体纯化模块，其中该至少一个气体纯化模块的一个输出端是流体连接到该载气入口上。
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公开(公告)号：CN105939961B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201580006723.5
申请日：2015-01-14
Applicant: 信越半导体株式会社
CPC classification number: C01B23/0094 , B01D53/0462 , B01D53/047 , B01D53/261 , B01D53/62 , B01D53/75 , B01D53/864 , B01D53/8671 , B01D2253/104 , B01D2253/106 , B01D2253/108 , B01D2255/1021 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/104 , B01D2257/502 , B01D2257/504 , B01D2257/80 , B01D2258/0216 , C01B23/001 , C01B23/0015 , C01B23/0021 , C01B23/0057 , C01B23/0068 , C01B23/0078 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045 , C01B2210/0046 , C01B2210/005 , C01B2210/0098 , Y02A50/2341 , Y02C10/04 , Y02C10/08 , Y02P20/152
Abstract: 本发明是一种氩气回收精制方法及氩气回收精制装置，该方法具有从单晶硅制造装置向废氩气贮槽导入含有氮气、氧气及一氧化碳的废氩气的工序、用去除所述废氩气中的固形物的预处理设备来去除所述固形物的工序、通过催化反应分别将所述氧气转化为水、将所述一氧化碳转化为二氧化碳的工序、及去除所述水、所述二氧化碳及所述氮气得到回收气体的工序，在通过将催化剂配置于双级压缩机内，仅用压缩热进行所述催化反应来得到所述回收气体的工序中，在预先用干燥机去除所述水后，用常温吸附塔吸附去除所述氮气、所述二氧化碳。由此提供一种使用简单且低成本的设备，就能够稳定去除从单晶硅制造装置排出的大风量氩气中所含的杂质气体的氩气回收精制方法。
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公开(公告)号：CN102770759B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201080057530.X
申请日：2010-12-10
Applicant: 赛默菲尼根有限责任公司
IPC: G01N30/34 , C01B23/00 , B01D53/053 , F17B1/26
CPC classification number: G01N30/34 , B01D53/053 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/11 , B01D2253/202 , B01D2255/20753 , B01D2256/18 , B01D2257/104 , B01D2257/2064 , B01D2257/702 , B01D2257/704 , B01D2257/80 , B01D2259/40001 , B01D2259/402 , C01B23/0015 , C01B23/0052 , C01B2210/0031 , G01N30/32 , Y02P20/154
Abstract: 一种对于用作气相色谱仪的载气的氦气进行收集、重新加压、纯化和再利用的系统，该气相色谱仪包括一个载气入口和至少一个排气口，该系统包括一个纯化的氦气源并且其特征在于：(i)一个柔性气囊，该柔性气囊包括一个气囊内部，该气囊内部是流体连接到该至少一个排气口上；(ii)一个隔室，该隔室包括一个隔室内部，该气囊被包含在该隔室内部中；(iii)一个加压空气或气体源，该加压空气或气体源是流体连接到该隔室内部上并且是可操作的以便压缩该柔性气囊；(iv)一个气体储存器，该气体储存器是流体连接到该气囊内部以便从该气囊内部接收携带有氦气的气体；以及(v)流体连接到该气体储存器上的至少一个气体纯化模块，其中该至少一个气体纯化模块的一个输出端是流体连接到该载气入口上。
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公开(公告)号：CN108394878A
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201810308806.5
申请日：2018-04-09
Applicant: 西安保埃罗环保科技有限公司 , 成都泽嘉华飞科技有限责任公司
IPC: C01B23/00
CPC classification number: C01B23/0015 , C01B2210/0003 , C01B2210/0031 , C01B2210/0053
Abstract: 本发明公开了一种含氢的氦尾气提纯氦气工艺，包括以下步骤：含氢的氦尾气经压缩单元压缩进入甲烷化单元，根据含氢的氦尾气中氢气含量补入一氧化碳或二氧化碳或二者的混合物，反应生成甲烷；再将甲烷化单元后的甲烷化反应气引入第一气体分离单元，将氦气和氢气与其他组分分离；然后将第一气体分离单元后的分离气引入催化氧化脱氢单元，补入过量氧气，分离气中氢气和氧气反应生成水；再进入第二气体分离单元，将氦气与其他微量组分的解析气分离，从而得到高纯氦气，解析气返回与含氢的氦尾气混合回收利用。本发明将含氢的氦尾气中将氢气转化为甲烷，并得到高纯氦气，具有工艺简单、成本较低、减少碳排放、氦气回收率高且绿色环保的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106512702A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201611136273.4
申请日：2016-12-08
Applicant: 天津工业大学
CPC classification number: B01D53/81 , B01D53/46 , B01D53/68 , C01B23/0015 , C01B2210/0003
Abstract: 本发明属于惰性气体净化领域，尤其涉及一种基于钛金属化学性质的高纯度惰性气体在线净化方法。其特点是利用钛金属在高温与低温状态下化学特性的差异对惰性气体进行净化并同时避免常规惰性气体净化方法所可能导致的活性物质的引入问题。
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公开(公告)号：CN107614086A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680014196.7
申请日：2016-03-04
Applicant: 机械解析有限公司
Inventor： 伊夫斯·加马什
CPC classification number: B01D53/346 , B01D53/0407 , B01D53/0423 , B01D53/0454 , B01D53/30 , B01D53/32 , B01D53/323 , B01D53/8696 , B01D2251/102 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/116 , B01D2255/20707 , B01D2255/20715 , B01D2255/20723 , B01D2255/20738 , B01D2256/10 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/108 , B01D2257/502 , B01D2257/504 , B01D2257/702 , B01D2257/7025 , B01D2257/80 , B01D2259/818 , B01J20/02 , B01J20/18 , B01J20/20 , B01J20/3408 , B01J20/3416 , B01J20/3433 , B01J20/3441 , C01B23/0015 , C01B23/0073 , C01B23/0094 , C01B2210/0029 , C01B2210/0046 , C01B2210/005 , C01B2210/0051 , C01B2210/0053 , C01B2210/0062 , C01B2210/007 , Y02C10/08 , Y02C20/20 , Y02P20/152 , Y02P20/156
Abstract: 提供了一种用于延长吸附剂的使用寿命的方法，该吸附剂用于通过吸附杂质来纯化气体。该方法包括在气体内产生放电以获得代表杂质的浓度的光谱发射。该方法还包括根据光谱发射监测杂质的浓度。该方法还包括通过将杂质的至少一部分转化为与该杂质相比对吸附剂具有更大的亲和力的二次杂质来降低杂质的浓度。该方法还包括将杂质的浓度与污染浓度进行比较，并根据该比较来管理将气体吸附到吸附剂上。
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公开(公告)号：CN106672926A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201611194964.X
申请日：2016-12-22
Applicant: 南京华东电子真空材料有限公司
IPC: C01B23/00
CPC classification number: C01B23/0015
Abstract: 本发明是一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，包括蒸散型吸气剂、吸气剂支架、玻璃管道、法兰、过滤网，其中吸气剂支架在玻璃管道的内部，蒸散型吸气剂固定在支架上，法兰封接在玻璃管道上，玻璃管道两端内置过滤网。优点在于：纯化能力强：可使惰性气体杂质含量达到1E‑3ppm量级；价格低廉；对杂质气体的吸收能力较强；与被纯化的系统连接方便。通过本发明，可满足一些对惰性气体纯度要求较高，而成本控制相对严格的惰性气体纯化领域，也可与传统的纯化器件联用。
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公开(公告)号：CN105939961A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580006723.5
申请日：2015-01-14
Applicant: 信越半导体株式会社
CPC classification number: C01B23/0094 , B01D53/0462 , B01D53/047 , B01D53/261 , B01D53/62 , B01D53/75 , B01D53/864 , B01D53/8671 , B01D2253/104 , B01D2253/106 , B01D2253/108 , B01D2255/1021 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/104 , B01D2257/502 , B01D2257/504 , B01D2257/80 , B01D2258/0216 , C01B23/001 , C01B23/0015 , C01B23/0021 , C01B23/0057 , C01B23/0068 , C01B23/0078 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045 , C01B2210/0046 , C01B2210/005 , C01B2210/0098 , Y02A50/2341 , Y02C10/04 , Y02C10/08 , Y02P20/152
Abstract: 本发明是一种氩气回收精制方法及氩气回收精制装置，该方法具有从单晶硅制造装置向废氩气贮槽导入含有氮气、氧气及一氧化碳的废氩气的工序、用去除所述废氩气中的固形物的预处理设备来去除所述固形物的工序、通过催化反应分别将所述氧气转化为水、将所述一氧化碳转化为二氧化碳的工序、及去除所述水、所述二氧化碳及所述氮气得到回收气体的工序，在通过将催化剂配置于双级压缩机内，仅用压缩热进行所述催化反应来得到所述回收气体的工序中，在预先用干燥机去除所述水后，用常温吸附塔吸附去除所述氮气、所述二氧化碳。由此提供一种使用简单且低成本的设备，就能够稳定去除从单晶硅制造装置排出的大风量氩气中所含的杂质气体的氩气回收精制方法。
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公开(公告)号：CN1911789A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610114858.6
申请日：2006-08-09
Applicant: 林德股份公司
Inventor： 马蒂亚斯·迈林格
IPC: C01B23/00
CPC classification number: C01B23/0015 , C01B2210/005 , C01B2210/0051 , C01B2210/0068 , F25J3/04757 , F25J2205/60 , F25J2205/82
Abstract: 本发明涉及用于通过低温分离空气获得氪和/或氙的方法和设备。浓缩氪和氙以形成氪/氙浓缩物。利用蒸馏由该氪/氙浓缩物获得氪和/或氙。在蒸馏之前，使该氪/氙浓缩物经过含有TiO2和/或ZrO2的催化剂床上方。在该方法中，使该氪/氙浓缩物中包含的至少一种卤素化合物反应。
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