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公开(公告)号：CN1297473C
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN03136649.X
申请日：2003-05-22
IPC: C01B23/00
CPC classification number: C01B21/0466 , B01D53/04 , B01D53/26 , B01D53/75 , B01D53/86 , B01D2253/108 , B01D2257/80 , C01B5/00 , C01B21/0416 , C01B21/0422 , C01B23/0021 , C01B23/0026 , C01B2210/0035 , C01B2210/0037 , C01B2210/0053 , C01B2210/0075 , Y02C20/10
Abstract: 一种气体精制方法及装置，能够有效率的除去使用氪气或氙气的各种过程的排放气体中所含有的不纯物，而且可以实现在半导体制造装置附近设置能够将排气中的稀有气体连续的分离、回收再利用的小型系统。此方法是为从以稀有气体与氮气作为主成分，且含有以氢气、氮与氢所组成的反应生成物、水蒸气作为微量不纯物的气体混和物中除去上述微量不纯物的气体精制方法，包括能够除去由氮与氢所形成的反应生成物与水蒸气的吸附过程、使氢气在氧气存在下经由氢气氧化触媒反应而能够转换成水蒸气的氢气氧化过程以及除去在氢气氧化过程中所生成的水蒸气的干燥过程，而且，在含有作为微量不纯物的氮氧化物的情况下，在吸附过程的前段，进行使氮氧化物在还原物质存在下经由脱氮触媒反应而能够转换成氮气与水蒸气的脱氮过程。
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公开(公告)号：CN105939961A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580006723.5
申请日：2015-01-14
Applicant: 信越半导体株式会社
CPC classification number: C01B23/0094 , B01D53/0462 , B01D53/047 , B01D53/261 , B01D53/62 , B01D53/75 , B01D53/864 , B01D53/8671 , B01D2253/104 , B01D2253/106 , B01D2253/108 , B01D2255/1021 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/104 , B01D2257/502 , B01D2257/504 , B01D2257/80 , B01D2258/0216 , C01B23/001 , C01B23/0015 , C01B23/0021 , C01B23/0057 , C01B23/0068 , C01B23/0078 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045 , C01B2210/0046 , C01B2210/005 , C01B2210/0098 , Y02A50/2341 , Y02C10/04 , Y02C10/08 , Y02P20/152
Abstract: 本发明是一种氩气回收精制方法及氩气回收精制装置，该方法具有从单晶硅制造装置向废氩气贮槽导入含有氮气、氧气及一氧化碳的废氩气的工序、用去除所述废氩气中的固形物的预处理设备来去除所述固形物的工序、通过催化反应分别将所述氧气转化为水、将所述一氧化碳转化为二氧化碳的工序、及去除所述水、所述二氧化碳及所述氮气得到回收气体的工序，在通过将催化剂配置于双级压缩机内，仅用压缩热进行所述催化反应来得到所述回收气体的工序中，在预先用干燥机去除所述水后，用常温吸附塔吸附去除所述氮气、所述二氧化碳。由此提供一种使用简单且低成本的设备，就能够稳定去除从单晶硅制造装置排出的大风量氩气中所含的杂质气体的氩气回收精制方法。
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公开(公告)号：CN105939961B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201580006723.5
申请日：2015-01-14
Applicant: 信越半导体株式会社
CPC classification number: C01B23/0094 , B01D53/0462 , B01D53/047 , B01D53/261 , B01D53/62 , B01D53/75 , B01D53/864 , B01D53/8671 , B01D2253/104 , B01D2253/106 , B01D2253/108 , B01D2255/1021 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/104 , B01D2257/502 , B01D2257/504 , B01D2257/80 , B01D2258/0216 , C01B23/001 , C01B23/0015 , C01B23/0021 , C01B23/0057 , C01B23/0068 , C01B23/0078 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045 , C01B2210/0046 , C01B2210/005 , C01B2210/0098 , Y02A50/2341 , Y02C10/04 , Y02C10/08 , Y02P20/152
Abstract: 本发明是一种氩气回收精制方法及氩气回收精制装置，该方法具有从单晶硅制造装置向废氩气贮槽导入含有氮气、氧气及一氧化碳的废氩气的工序、用去除所述废氩气中的固形物的预处理设备来去除所述固形物的工序、通过催化反应分别将所述氧气转化为水、将所述一氧化碳转化为二氧化碳的工序、及去除所述水、所述二氧化碳及所述氮气得到回收气体的工序，在通过将催化剂配置于双级压缩机内，仅用压缩热进行所述催化反应来得到所述回收气体的工序中，在预先用干燥机去除所述水后，用常温吸附塔吸附去除所述氮气、所述二氧化碳。由此提供一种使用简单且低成本的设备，就能够稳定去除从单晶硅制造装置排出的大风量氩气中所含的杂质气体的氩气回收精制方法。
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公开(公告)号：CN107428532A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680016958.7
申请日：2016-02-24
Applicant: 信越半导体株式会社
CPC classification number: C01B23/0021 , B01D53/02 , B01D2257/504 , C01B13/024 , C01B32/50 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045 , C01B2210/005 , C01B2210/0053 , C30B29/06
Abstract: 本发明提供一种氩气的纯化方法，其是向作为杂质含有氢、一氧化碳、氧的氩气中，添加氧而在催化塔中将氢和一氧化碳转换为水和二氧化碳，或添加氢而将氧转换为水的氩气的纯化方法，其特征在于，具有：在催化塔出口侧监测氢、一氧化碳、氧的工序；以及在催化塔出口侧检测出氢以及一氧化氧中的任一种的情况下向氩气中添加氧的工序、和在检测出氧的情况下添加氢的工序中的至少一种工序，相对于氩气被连续地供给至催化塔，间歇性地进行被添加至催化塔的氧或氢的添加。由此，提供一种氩气的纯化方法，其通过向作为杂质含有氢、一氧化碳、氧的氩气中间歇性地添加氧以及氢，从而不需要用于除去剩余的氧、氢的金属塔，设备成本低廉且不易发生故障。
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公开(公告)号：CN104080957A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201280069224.7
申请日：2012-12-04
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
CPC classification number: C01B23/0094 , C01B23/0021 , C01B2210/0004 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045 , C01B2210/005 , C01B2210/0053 , C01B2210/007 , C01B2210/0098 , C30B15/00 , C30B15/20 , C30B29/06 , F25J3/08 , F25J2200/02 , F25J2205/40 , F25J2205/50 , F25J2205/82 , F25J2215/30 , F25J2215/58 , F25J2245/02 , F25J2245/58 , Y02C10/12
Abstract: 本发明涉及一种用于结合硅晶体拉制方法来持续地回收、纯化和再循环惰性气体的方法。通过用调节量的氧化源气体混合物就地氧化，将在晶体生长工艺期间产生的氧化硅杂质完全氧化以形成二氧化硅杂质，其可通过颗粒移除装置移除。无颗粒的流出物进入纯化单元以移除剩余杂质。从纯化单元中涌出的惰性气体可被给送回晶体拉晶机设备和/或与氧化源气体混合物混合。因此，可实现增加硅晶体通过量、品质和同时降低与再循环惰性气体相关成本的能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1137486A
公开(公告)日：1996-12-11
申请号：CN96100686.2
申请日：1996-01-24
Applicant: 乔治·克劳德方法的研究开发空气股份有限公司
Inventor： D·加里
CPC classification number: C01B21/0416 , B01D53/864 , C01B23/0021 , C01B2210/005 , C01B2210/0053 , F25J3/04163 , F25J3/04169 , F25J2205/82 , F25J2215/44
Abstract: 一种基本上除去混合气中所含一氧化碳和氢杂质的方法，其特征在于：(a)所述的混合气中所含的至少一种一氧化碳和氢杂质在与催化剂接触中与氧反应，分别生成二氧化碳和水，催化剂含有至少一种选自金和钯的金属的颗粒，这些颗粒用二氧化钛负载；(b)任选地，从所述的混合气中除去生成的二氧化碳和水；(c)回收基本上不含一氧化碳和/或氢杂质的所述的混合气。
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公开(公告)号：CN104080957B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201280069224.7
申请日：2012-12-04
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
CPC classification number: C01B23/0094 , C01B23/0021 , C01B2210/0004 , C01B2210/0034 , C01B2210/0045 , C01B2210/005 , C01B2210/0053 , C01B2210/007 , C01B2210/0098 , C30B15/00 , C30B15/20 , C30B29/06 , F25J3/08 , F25J2200/02 , F25J2205/40 , F25J2205/50 , F25J2205/82 , F25J2215/30 , F25J2215/58 , F25J2245/02 , F25J2245/58 , Y02C10/12
Abstract: 本发明涉及一种用于结合硅晶体拉制方法来持续地回收、纯化和再循环惰性气体的方法。通过用调节量的氧化源气体混合物就地氧化，将在晶体生长工艺期间产生的氧化硅杂质完全氧化以形成二氧化硅杂质，其可通过颗粒移除装置移除。无颗粒的流出物进入纯化单元以移除剩余杂质。从纯化单元中涌出的惰性气体可被给送回晶体拉晶机设备和/或与氧化源气体混合物混合。因此，可实现增加硅晶体通过量、品质和同时降低与再循环惰性气体相关成本的能力。
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公开(公告)号：CN101690864A
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：CN200810171399.4
申请日：2008-10-23
Applicant: 气体产品与化学公司
CPC classification number: C01B23/0021 , B01D53/0462 , B01D53/047 , B01D53/864 , B01D53/8671 , B01D53/90 , B01D2251/102 , B01D2255/1021 , B01D2255/1023 , B01D2255/20761 , B01D2255/2092 , B01D2256/18 , B01D2257/108 , B01D2257/502 , B01J23/42 , B01J23/44 , C01B2210/0034 , C01B2210/005 , C01B2210/0053 , Y10S423/05
Abstract: 本发明涉及使用吸气剂床的在线再生的稀有气体的提纯。一种用于回收和提纯被少量的氢气和/或其它吸气剂可燃物污染的稀有气体物流的方法。一种方法包括将稀有气体物流气体分为第一和第二稀有气体物流。第一稀有气体物流被送到含第二金属吸气剂的床，其包括氧化态的金属吸气剂，其中氢气被燃烧。氧气被添加到第二稀有气体物流并且使该物流通过催化单元，其中氢气被燃烧并且随后通过与第二床并联操作的第一金属吸气剂床，其中金属吸气剂被转化为其氧化物形式。当在任何床中检测到泄漏时，将第一和第二稀有气体物流的流动分别改线至另一床。
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公开(公告)号：CN1459413A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN03136649.X
申请日：2003-05-22
IPC: C01B23/00
CPC classification number: C01B21/0466 , B01D53/04 , B01D53/26 , B01D53/75 , B01D53/86 , B01D2253/108 , B01D2257/80 , C01B5/00 , C01B21/0416 , C01B21/0422 , C01B23/0021 , C01B23/0026 , C01B2210/0035 , C01B2210/0037 , C01B2210/0053 , C01B2210/0075 , Y02C20/10
Abstract: 一种气体精制方法及装置，能够有效率的除去使用氪气或氙气的各种过程的排放气体中所含有的不纯物，而且可以实现在半导体制造装置附近设置能够将排气中的稀有气体连续的分离、回收再利用的小型系统。此方法是为从以稀有气体与氮气作为主成分，且含有以氢气、氮与氢所组成的反应生成物、水蒸气作为微量不纯物的气体混和物中除去上述微量不纯物的气体精制方法，包括能够除去由氮与氢所形成的反应生成物与水蒸气的吸附过程、使氢气在氧气存在下经由氢气氧化触媒反应而能够转换成水蒸气的氢气氧化过程以及除去在氢气氧化过程中所生成的水蒸气的干燥过程，而且，在含有作为微量不纯物的氮氧化物的情况下，在吸附过程的前段，进行使氮氧化物在还原物质存在下经由脱氮触媒反应而能够转换成氮气与水蒸气的脱氮过程。
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公开(公告)号：CN1047146C
公开(公告)日：1999-12-08
申请号：CN96100686.2
申请日：1996-01-24
Applicant: 乔治·克劳德方法的研究开发空气股份有限公司
Inventor： D·加里
CPC classification number: C01B21/0416 , B01D53/864 , C01B23/0021 , C01B2210/005 , C01B2210/0053 , F25J3/04163 , F25J3/04169 , F25J2205/82 , F25J2215/44
Abstract: 一种基本上除去混合气中所含一氧化碳和氢杂质的方法，其特征在于：(a)所述的混合气中所含的至少一种一氧化碳和氢杂质在与催化剂接触中与氧反应，分别生成二氧化碳和水，催化剂含有至少一种选自金和钯的金属的颗粒，这些颗粒用二氧化钛负载；(b)任选地，从所述的混合气中除去生成的二氧化碳和水；(C)回收基本上不含一氧化碳和/或氢杂质的所述的混合气。
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