公开(公告)号：CN1988948A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200580024531.3

申请日：2005-07-19

Applicant: 安格斯公司

Inventor： 小丹尼尔·阿尔瓦雷斯 ,  特洛伊·B.·斯科金斯 ,  湛·端·阮 ,  大屋敷靖

IPC: B01D53/02 ,  C01B3/56 ,  C01B6/34 ,  C01B25/06 ,  C01B33/04 ,  C01B35/02

CPC classification number: C01B21/0411 ,  B01D53/02 ,  B01D2253/10 ,  B01D2253/104 ,  B01D2253/106 ,  B01D2253/108 ,  B01D2257/60 ,  B01D2258/0216 ,  C01B3/56 ,  C01B6/34 ,  C01B7/0718 ,  C01B7/0743 ,  C01B7/093 ,  C01B7/096 ,  C01B7/197 ,  C01B7/20 ,  C01B13/00 ,  C01B13/0244 ,  C01B21/0427 ,  C01B23/0057 ,  C01B23/0068 ,  C01B2203/042 ,  C01B2203/0465 ,  C01B2210/0031 ,  C01B2210/0034 ,  C01B2210/0043

Abstract: 本发明是从超高纯度气体中除去金属化合物的方法和设备，其使用包含高表面积无机氧化物的净化材料从超高纯度气体中除去金属化合物，从而金属不沉积在敏感的器件上并且引起器件故障。