公开(公告)号：CN119113558B

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202411585692.0

申请日：2024-11-08

Applicant: 博纯材料股份有限公司

Inventor： 陈国富 ,  陈学胜 ,  郑经纬 ,  吴超农 ,  缪振华 ,  林贵函 ,  刘诗艺 ,  苏少剑

IPC: B01D3/32 ,  B01D3/16 ,  C01B6/34 ,  C01B6/10

Abstract: 本申请涉及一种乙硼烷提纯装置，包括塔体、冷凝机构和再沸机构，所述塔体的侧壁固定安装有进料管，所述塔体的内底壁固定安装有隔板，所述隔板将塔体底侧分为静置区和沸腾区，所述塔体的内部固定安装有多个换热机构，所述换热机构用于供气体和液体换热后将液体排入沸腾区，所述冷凝机构安装于塔体的顶侧，所述冷凝机构用于对气体冷却液化后排回塔体，所述塔体的底侧与再沸机构连接，所述再沸机构用于对沸腾区的液体加热后排入静置区，所述塔体的底侧固定安装有第一回收管，所述第一回收管与静置区连通。本申请具有提高每次精馏后乙硼烷的纯度的效果。

公开(公告)号：CN112209344A

公开(公告)日：2021-01-12

申请号：CN202010932924.0

申请日：2020-09-08

Applicant: 西安近代化学研究所

Inventor： 秦明娜 ,  张彦 ,  石强 ,  唐望 ,  郭涛

IPC: C01B6/34 ,  C01B6/06

Abstract: 本发明提供了一种除去α′晶型三氢化铝的方法，该方法按照以下步骤进行：步骤一，在惰性干燥气氛下，取待提纯三氢化铝，加入溶剂，混合均匀；步骤二，将步骤一混合均匀的混合液转移至反应釜中，将反应釜密封，反应釜升温至100℃～160℃，恒温反应；步骤三，反应结束后自然冷却，过滤，得到的产品即为纯相的α晶型三氢化铝。本发明的方法使得α′晶型三氢化铝能够完全彻底去除，最终获得的产品纯度高，均为α晶型，最终获得的产品中检测不出α′晶型。本发明的方法所用溶剂量少，反应装置简单易操作，所得产品无α′晶型三氢化铝。本发明主要用于去除α′晶型三氢化铝。

公开(公告)号：CN111977613A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN202010830182.0

申请日：2020-08-18

Applicant: 博纯材料股份有限公司

Inventor： 陈国富 ,  龚施健

IPC: C01B6/06 ,  C01B6/34 ,  B01D8/00 ,  B01D53/18 ,  B01D53/14 ,  B01D53/00 ,  G01D21/02 ,  G05B19/418 ,  G08B21/18 ,  G08B7/06

Abstract: 本发明涉及一种乙锗烷收集纯化设备及其安全控制方法、装置和系统，该乙锗烷收集纯化设备包括：冷却液存放容器和置于冷却液存放容器中的冷阱，含乙锗烷气体经阀门和管路进入所述冷阱；尾气吸收塔与所述冷阱的尾气出口相连通；加注装置与所述冷阱的乙锗烷出口相连通，并将乙锗烷注入钢瓶；预警装置包括多个传感器和与所述传感器通信连接的中央处理器，所述传感器获取乙锗烷收集纯化设备的安全影响参数，并传送给中央处理，所述中央处理器判定所述安全影响参数高于或低于对应的安全阈值，则发出报警信号。通过预警装置的设置，在冷凝装置温度过高、过低或尾气回收达到体积阈值时，能够及时发出预警，以避免发生生产事故，提高了生产安全性。

公开(公告)号：CN1988948A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200580024531.3

申请日：2005-07-19

Applicant: 安格斯公司

Inventor： 小丹尼尔·阿尔瓦雷斯 ,  特洛伊·B.·斯科金斯 ,  湛·端·阮 ,  大屋敷靖

IPC: B01D53/02 ,  C01B3/56 ,  C01B6/34 ,  C01B25/06 ,  C01B33/04 ,  C01B35/02

CPC classification number: C01B21/0411 ,  B01D53/02 ,  B01D2253/10 ,  B01D2253/104 ,  B01D2253/106 ,  B01D2253/108 ,  B01D2257/60 ,  B01D2258/0216 ,  C01B3/56 ,  C01B6/34 ,  C01B7/0718 ,  C01B7/0743 ,  C01B7/093 ,  C01B7/096 ,  C01B7/197 ,  C01B7/20 ,  C01B13/00 ,  C01B13/0244 ,  C01B21/0427 ,  C01B23/0057 ,  C01B23/0068 ,  C01B2203/042 ,  C01B2203/0465 ,  C01B2210/0031 ,  C01B2210/0034 ,  C01B2210/0043

Abstract: 本发明是从超高纯度气体中除去金属化合物的方法和设备，其使用包含高表面积无机氧化物的净化材料从超高纯度气体中除去金属化合物，从而金属不沉积在敏感的器件上并且引起器件故障。

公开(公告)号：CN112209344B

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：CN202010932924.0

申请日：2020-09-08

Applicant: 西安近代化学研究所

Inventor： 秦明娜 ,  张彦 ,  石强 ,  唐望 ,  郭涛

IPC: C01B6/34 ,  C01B6/06

Abstract: 本发明提供了一种除去α′晶型三氢化铝的方法，该方法按照以下步骤进行：步骤一，在惰性干燥气氛下，取待提纯三氢化铝，加入溶剂，混合均匀；步骤二，将步骤一混合均匀的混合液转移至反应釜中，将反应釜密封，反应釜升温至100℃～160℃，恒温反应；步骤三，反应结束后自然冷却，过滤，得到的产品即为纯相的α晶型三氢化铝。本发明的方法使得α′晶型三氢化铝能够完全彻底去除，最终获得的产品纯度高，均为α晶型，最终获得的产品中检测不出α′晶型。本发明的方法所用溶剂量少，反应装置简单易操作，所得产品无α′晶型三氢化铝。本发明主要用于去除α′晶型三氢化铝。

公开(公告)号：CN112520699A

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN202011385329.6

申请日：2020-12-01

Applicant: 深圳市博纯半导体材料有限公司 ,  博纯材料股份有限公司

Inventor： 陈国富 ,  龚施健 ,  于胜 ,  陈金彬 ,  林海宁

IPC: C01B6/06 ,  C01B6/34

Abstract: 本发明涉及一种砷烷的合成提纯方法，包括：步骤一：将锌粉和砷粉放入石英器皿内混合均匀再置于不锈钢反应罐内抽真空并充入高纯惰性气体，加压加热得到砷化锌粉末；步骤二，砷化锌粉末至于反应器中，加入稀硫酸反应生成粗制砷烷气体；步骤三，将粗制砷烷气体通入吸附装置得到砷烷气体；步骤四，使用液氮冷阱捕集砷烷气体，使砷烷气体冷凝为液态砷烷，使用真空泵抽去不凝气体并取下冷肼外的液氮罐，使砷烷挥发，得到纯净的砷烷气体；步骤五：将纯净的砷烷气体通入预先处理过的洁净钢瓶中进行保存，得到成品。能够有效减少砷烷气体内的杂质，提高本发明所述砷烷的纯度，同时，将吸附剂的加入和分子筛的选择放在一个装置内进行能够提高反应效率。

公开(公告)号：CN101342478A

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200810136946.5

申请日：2008-08-15

Applicant: 王少志

Inventor： 王少志

IPC: B01J20/02 ,  B01J20/32 ,  C01B6/34 ,  C01B33/04 ,  C01B25/06

Abstract: 硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂及其制备方法，它涉及一种气体提纯吸附剂及其制备方法。它解决了目前采用钯粉吸附剂对硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体中的杂质气体去除率低，还需要进一步协助分解的问题。提纯吸附剂由载体和载体表面的金属铝层组成。制备方法：在氢气存在下将氢气与三甲基铝的混合汽体喷涂于温度为600～650℃的载体表面，即得到硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂。本发明提纯吸附剂在不增加协助分解的情况下经检测CO2的去除率高于95％、CH4的去除率高于98％、C2H6的去除率高于98％、O2的去除率高于99.8％、CO的去除率高于95％、水蒸气的去除率高于99.6％。

公开(公告)号：CN1308226C

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200410100567.2

申请日：2004-11-19

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： R·K·阿加瓦 ,  G·L·赖亚施 ,  W·曹 ,  J·F·西鲁西 ,  R·W·阿波尔洛 ,  D·麦内斯拜

IPC: C01B6/34

CPC classification number: C01B6/065 ,  C01B6/06 ,  C01B6/34 ,  C01B25/06

Abstract: 一种净化挥发性金属氢化物的方法，包括获得包含一种或多种酸性杂质的挥发性金属氢化物进料，其中一种酸性杂质为含硫杂质；使进料与碱性物质接触，使至少一部分含硫杂质与碱性物质反应，以便从进料中除去一部分含硫杂质，得到中间净化物质；和使中间净化产物与吸附剂物质接触，从中间净化物质中除去至少一部分含硫杂质，得到净化的挥发性金属氢化物产品。

公开(公告)号：CN1826167A

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：CN200480021274.3

申请日：2004-07-21

Applicant: 安格斯公司

Inventor： 小丹尼尔·阿尔瓦拉兹 ,  杰弗里·J.·施皮格尔曼 ,  乔舒亚·T.·库克 ,  湛·端·阮 ,  丹尼尔·A.·列夫 ,  特洛伊·B.·斯科金斯

IPC: B01D53/28 ,  B01D53/62 ,  B01D53/50 ,  B01D53/56 ,  C01B6/34 ,  C01B3/56 ,  C01C1/02 ,  C01B33/04 ,  C01B25/06

Abstract: 本发明公开了一种纯化(purification)氢化物气体的方法，其使用至少具有一种镧系金属或镧系金属氧化物的材料。该方法使污染物降低至100ppb，优选10ppb，更优选1ppb。所述材料还包括过渡金属和过渡金属氧化物、稀土元素和其它金属氧化物。本发明还包括在本发明方法中使用的材料。

公开(公告)号：CN1425077A

公开(公告)日：2003-06-18

申请号：CN01808292.0

申请日：2001-04-13

Applicant: 工程吸气公司

Inventor： G·沃格尼 ,  M·苏丝

IPC: C23C16/44 ,  C01B6/34 ,  C01B33/04

CPC classification number: B01D53/02 ,  B01D53/04 ,  B01D2256/12 ,  B01D2257/706 ,  B01D2257/80 ,  B01D2258/0216 ,  B01J20/02 ,  B01J20/18 ,  C07F1/00 ,  C07F1/005 ,  C07F3/00 ,  C07F3/10 ,  C07F5/00 ,  C07F5/062 ,  C07F5/064 ,  C07F5/065 ,  C07F5/066 ,  C07F7/003 ,  C07F7/2208 ,  C07F9/90 ,  C07F9/94 ,  C07F17/00 ,  C07F17/02 ,  C23C16/18 ,  C23C16/4402

Abstract: 一种纯化有机金属化合物或杂原子有机化合物，除去氧、水以及由水和氧与欲纯化的有机金属或杂原子化合物的反应中产生的化合物的方法，包括将液态、纯粹的或载气中蒸气形式的待纯化的有机金属或杂原子化合物与氢化的吸气剂合金，以及任选的一种或多种气体吸收材料接触的操作，所述气体吸收材料选自多孔载体上的钯和载于沸石上的铁和锰的混合物。