用于在受控环境中进行激光熔覆的系统和方法

    公开(公告)号:CN107034459A

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201710053246.9

    申请日:2017-01-22

    Abstract: 一种激光熔覆系统包括激光设备、腔室和泵系统。激光设备配置成产生激光束。腔室包括内表面,该内表面限定包括密封容积的熔覆区域。腔室包括窗口,所述窗口由激光透明材料制成并且配置成允许激光束从中穿过进入熔覆区域中。泵系统具有与熔覆区域相连通的端口。泵系统配置成在熔覆区域内选择性地产生真空压力,该真空压力足以将气体从熔覆区域内穿过端口而排空。激光设备包括激光头和机器人激光运动系统,激光束从激光头发出,机器人激光运动系统配置成选择性地移动激光头,以使得激光束相对于腔室内的基准点移动。

    管口装置和处理设备
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106794474A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201580044989.9

    申请日:2015-09-09

    CPC classification number: B05B1/14 B05B1/30 B23K26/127 B23K26/147

    Abstract: 根据实施例的管口装置设有第一开口部分(22)、多个第二开口部分(23)和第一管路部分(24)。第一管路部分(24)具有至少一个第一分岔部分(31),所述至少一个第一分岔部分(31)具有在第一方向上延伸的第一部分(41)和连接到第一部分(41)的第一端并且在与第一方向相交的各方向上延伸的多个第二部分(42),第一管路部分(24)连接第一开口部分(22)和多个第二开口部分(23)并且在从第一开口部分(22)延伸到第二开口部分(23)的路径中被第一分岔部分(31)分岔至少一次,第一开口部分(22)和各第二开口部分(23)之间的路径长度和第一分岔部分的数量相同。第一部分(41)的第一端的横截面积小于第一部分(41)的第二端的横截面积。

    具有可往复移动的穿梭机结构的激光围罩及其使用方法

    公开(公告)号:CN106163731A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201580015863.9

    申请日:2015-03-27

    Abstract: 一种激光加工单元(10)包括工件装载站(30)。激光工作站(32)包括激光机器人(90),该激光机器人可操作来对工件(W2)执行激光操作。轨道(12,14)从工件装载站(30)延伸通过工作站(32)。第一固定墙壁部分(40)位于该工作站的近侧、将该工作站与该装载站分开。第二固定墙壁部分(50)位于远侧、与该第一固定墙壁部分相偏移。第一可移动墙壁部分(60)与该第一固定墙壁部分形成激光密封。第二可移动墙壁部分(70)与该第二固定墙壁部分形成激光密封。穿梭机(20)可操作为沿着轨道(12;14)移动从而将工件(W1;W2)从装载站(30)输送到工作站(32)。这些可移动墙壁部分是由该穿梭机支撑的并且在该工件被输送到该工作站时与该穿梭机和该工件同时移动。

    用于基板处理的激光反射仪

    公开(公告)号:CN103959442A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201280057787.4

    申请日:2012-11-15

    Abstract: 本发明的实施方式涉及用于在基板处理系统中控制激光装置以及与激光装置的运用相关的安全特征的方法和设备。一个实施方式中,提供一种用于处理基板的系统。所述系统包括:腔室,所述腔室具有处理容积;第一激光装置,所述第一激光装置向所述处理容积中发射第一波长的射束;以及第二激光装置,所述第二激光装置向所述处理容积中发射第二波长的射束,其中所述第二波长与所述第一波长不同,并且所述第二激光装置包含滤光器,所述滤光器适于衰减所述第一波长和所述第二波长之一或两者。

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