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公开(公告)号:CN119725235A
公开(公告)日:2025-03-28
申请号:CN202411176276.5
申请日:2024-08-26
Applicant: 英特尔公司
Inventor: E·扎马尼 , U·普拉萨德 , L·迈尔斯 , S·卡维亚尼 , D·杜鲁伊契奇 , E·塔瓦科利 , M·默罕默迪加勒尼 , R·尚穆加姆 , R·G·吉龙 , S·V·R·皮耶塔姆巴拉姆 , 段刚
IPC: H01L23/15 , H01L23/13 , H01L23/14 , H01L23/498
Abstract: 本文公开的实施例包括具有贯穿玻璃过孔(TGV)的玻璃芯。在实施例中,一种设备包括衬底,衬底是实心玻璃层。在实施例中,穿过衬底的厚度提供开口,并且衬层的第一表面在所述开口的侧壁上,衬层的第二表面背离所述开口的侧壁。在实施例中,衬层包括基质、以及基质中的填料颗粒。在实施例中,向衬层的第二表面中提供多个腔。在实施例中,过孔在开口中,其中,过孔是导电的。
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公开(公告)号:CN120072800A
公开(公告)日:2025-05-30
申请号:CN202411533447.5
申请日:2024-10-30
Applicant: 英特尔公司
Inventor: 单博涵 , M·默罕默迪加勒尼 , J·斯泰西 , E·扎马尼 , A·坎达代 , J·韦霍恩斯基 , D·万德拉 , M·帕赫 , S·V·R·皮耶塔姆巴拉姆 , 段刚 , J·埃克顿 , B·C·马林 , O·厄兹坎 , V·贝朱加姆 , D·帕塔达尔 , A·哈西卜 , N·黑恩 , M·沃森 , S·塔马拉贾赫 , J·M·甘巴 , 李语沁 , A·特里帕蒂 , M·M·拉赫曼 , H·哈里里 , S·卡维亚尼 , L·迈尔斯 , D·杜鲁伊契奇 , E·塔瓦科利 , W·布雷克斯 , D·塞纳维拉特纳 , B·安古阿 , P·A·库拉加马 , 冯红霞 , K·J·阿林顿 , 聂白 , J·韦敏 , R·卡拉左尼 , 陈昊博 , 徐定颖 , 林子寅 , Y·白 , 郭晓莹 , 穆斌 , T·S·希顿 , R·N·马内帕利
IPC: H01L23/538 , H01L23/498
Abstract: 本文公开了具有玻璃芯中的贯穿玻璃过孔应力减轻的微电子组件。公开了用于减轻(例如,缓解或减少)玻璃芯材料与沉积在贯穿玻璃过孔(TGV)中的导电材料之间的应力的各种技术以及相关装置和方法。在一个方面中,微电子组件包括玻璃芯,玻璃芯具有第一面和与第一面相对的第二面,以及在第一面与第二面之间延伸穿过玻璃芯的TGV,其中,TGV包括导电材料和位于导电材料与玻璃芯之间的缓冲层,其中,缓冲层的CTE小于导电材料的CTE。
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