公开(公告)号：CN105593740A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201480052528.1

申请日：2014-08-14

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： D·W·肖特 ,  S·R·兰格 ,  M·德斯泰恩 ,  K·P·格罗斯 ,  赵伟 ,  里亚·贝泽尔 ,  A·谢梅利宁

IPC: G02B21/06

Abstract: 本发明揭示使用来自激光维持等离子体的VUV光进行样本的检验，其包含：产生包含第一所选择波长或波长范围的泵浦照明；容纳适用于等离子体产生的一定体积的气体；通过将所述泵浦照明聚焦到所述一定体积的气体中而在所述一定体积的气体内形成等离子体来产生包含第二所选择波长或波长范围的宽带辐射；使用从所述等离子体发射的所述宽带辐射经由照明路径照明样本的表面；收集来自所述样本的表面的照明；将所述经收集照明经由收集路径聚焦到检测器上，以形成所述样本的所述表面的至少一部分的图像；以及使用所选择吹扫气体吹扫所述照明路径及/或所述收集路径。

公开(公告)号：CN105593740B

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201480052528.1

申请日：2014-08-14

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： D·W·肖特 ,  S·R·兰格 ,  M·德斯泰恩 ,  K·P·格罗斯 ,  赵伟 ,  里亚·贝泽尔 ,  A·谢梅利宁

IPC: G02B21/06

Abstract: 本发明揭示使用来自激光维持等离子体的VUV光进行样本的检验，其包含：产生包含第一所选择波长或波长范围的泵浦照明；容纳适用于等离子体产生的一定体积的气体；通过将所述泵浦照明聚焦到所述一定体积的气体中而在所述一定体积的气体内形成等离子体来产生包含第二所选择波长或波长范围的宽带辐射；使用从所述等离子体发射的所述宽带辐射经由照明路径照明样本的表面；收集来自所述样本的表面的照明；将所述经收集照明经由收集路径聚焦到检测器上，以形成所述样本的所述表面的至少一部分的图像；以及使用所选择吹扫气体吹扫所述照明路径及/或所述收集路径。