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公开(公告)号：CN114616459A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202080075892.5
申请日：2020-10-27
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N23/201 , H05H1/24 , H01L21/66
Abstract: 本文中呈现用于从采用液膜喷射标靶的激光产生等离子体(LPP)产生X射线照明的方法及系统。将经高度聚焦短持续时间激光脉冲引导到液膜喷射标靶。所述经聚焦激光脉冲与所述膜喷射标靶的相互作用点燃等离子体。在一些实施例中，液膜喷射由会聚毛细管喷嘴或会聚平面腔喷嘴产生。在一些实施例中，标靶材料包含具有相对低原子序数的一或多种元素。在一些实施例中，液膜喷射LPP光源产生用于测量半导体结构的结构特性及材料特性的在软X射线(SXR)光谱范围中的多谱线照明或宽带X射线照明。在一些实施例中，用如本文中所描述的液膜喷射LPP照明源来执行反射小角度X射线散射测量。
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公开(公告)号：CN114641685A
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202080075446.4
申请日：2020-10-27
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N23/20008 , H01L21/66 , G01B15/00
Abstract: 本文中呈现用于从采用低原子序数低温标靶的激光生成等离子体(LPP)产生X射线照明的方法及系统。将经高度聚焦短持续时间激光脉冲引导到低原子序数经低温冻结标靶，从而点燃等离子体。在一些实施例中，标靶材料包含具有小于19的原子序数的一或多种元素。在一些实施例中，低原子序数低温标靶材料涂覆于经低温冷却桶的表面上，所述经低温冷却桶经配置以相对于入射激光而旋转及平移。在一些实施例中，低原子序数低温LPP光源产生用于测量半导体结构的结构特性及材料特性的在软X射线(SXR)光谱范围内的多谱线或宽带X射线照明。在一些实施例中，利用如本文中所描述的低原子序数低温LPP照明源来执行反射小角度X射线散射测量术测量。
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公开(公告)号：CN113366610B
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202080012279.9
申请日：2020-02-24
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 公开一种用于泵浦激光维持等离子体的系统。所述系统包含经配置以产生用于所述激光维持等离子体的相应泵照明脉冲的多个泵模块，其中至少一个泵模块经配置以产生在时间上与由所述多个泵模块中的至少一个其它泵模块产生的另一串泵脉冲交错的一串泵脉冲。所述系统进一步包含经配置以将来自所述多个泵模块的所述相应泵照明脉冲引导到所述激光维持等离子体的集光体积中的多个非共线照明路径。
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公开(公告)号：CN113366610A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080012279.9
申请日：2020-02-24
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 公开一种用于泵浦激光维持等离子体的系统。所述系统包含经配置以产生用于所述激光维持等离子体的相应泵照明脉冲的多个泵模块，其中至少一个泵模块经配置以产生在时间上与由所述多个泵模块中的至少一个其它泵模块产生的另一串泵脉冲交错的一串泵脉冲。所述系统进一步包含经配置以将来自所述多个泵模块的所述相应泵照明脉冲引导到所述激光维持等离子体的集光体积中的多个非共线照明路径。
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