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公开(公告)号：CN107636449A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680028562.4
申请日：2016-05-16
Applicant: 科磊股份有限公司
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8845 , G03F7/7065
Abstract: 本发明揭示一种用于以经光谱滤波的照明源来照明样本的系统，所述系统包含经配置以产生具有第一组波长的照明光束的照明源。此外，所述系统包含波长滤波子系统、样本载台、照明子系统、检测器，及用以聚焦来自一或多个样本的表面的照明且将所述聚集的照明聚焦到所述检测器的物镜。此外，所述波长滤波子系统包含：经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件、空间滤波器元件，及经定位以从所述光束中移除空间色散的一或多个色散元件。所述空间滤波器元件经进一步定位以传递所述光束的包含第二组波长的至少一部分，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组。
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公开(公告)号：CN105593740A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201480052528.1
申请日：2014-08-14
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G02B21/06
Abstract: 本发明揭示使用来自激光维持等离子体的VUV光进行样本的检验，其包含：产生包含第一所选择波长或波长范围的泵浦照明；容纳适用于等离子体产生的一定体积的气体；通过将所述泵浦照明聚焦到所述一定体积的气体中而在所述一定体积的气体内形成等离子体来产生包含第二所选择波长或波长范围的宽带辐射；使用从所述等离子体发射的所述宽带辐射经由照明路径照明样本的表面；收集来自所述样本的表面的照明；将所述经收集照明经由收集路径聚焦到检测器上，以形成所述样本的所述表面的至少一部分的图像；以及使用所选择吹扫气体吹扫所述照明路径及/或所述收集路径。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115060650A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210656062.2
申请日：2016-05-16
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明涉及用于以由空间选择性波长滤波器所修改的照明源将样本成像的系统及方法。所述系统包含波长滤波子系统、样本载台、照明子系统、检测器，及用以聚集来自一或多个样本的表面的照明且将所述聚集的照明聚焦到所述检测器的物镜。此外，所述波长滤波子系统包含：经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件、空间滤波器元件，及经定位以从所述光束中移除空间色散的一或多个第二色散元件。所述空间滤波器元件经进一步定位以传递所述光束的包含第二组波长的至少一部分，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组。
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公开(公告)号：CN107407644A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013333.5
申请日：2016-03-04
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/95
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/8845 , G02B13/143 , G02B17/0652 , G03F1/84 , G03F7/7065
Abstract: 本发明揭示用于将从目标衬底反射的红外到真空紫外VUV光反射朝向传感器的方法及设备。所述系统包含：第一镜，其经布置以接收且反射从所述目标衬底反射的所述红外到VUV光；及第二镜，其经布置以接收且反射由所述第一镜反射的红外到VUV光。所述第一镜及所述第二镜经布置且经塑形以将来自所述目标衬底的红外到VUV光反射朝向所述设备的光轴。在另一实施例中，所述设备还可包含：第三镜，其经布置以接收且反射由所述第二镜反射的所述红外到VUV光；及第四镜，其经布置以接收由所述第三镜反射的此照明光，且将所述照明光反射朝向所述传感器。在又一实施例中，使用反射或折射光学器件，将通过上述光学器件的图像中继到所述传感器；通过调整所述中间图像与所述中继光学器件之间的距离来实现各种放大率。
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公开(公告)号：CN116917721A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202280017885.9
申请日：2022-05-11
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 一种系统包含通信地耦合到光学晶片特征化系统的检测器阵列的处理单元。所述处理单元经配置以执行包含以下步骤的方法或过程的一或多个步骤：从所述检测器阵列获取晶片上的目标位置的一或多个目标图像；将去噪滤波器应用到至少所述一或多个目标图像；从一或多个参考图像及所述一或多个目标图像确定一或多个差异图像；及上取样所述一或多个差异图像以产生一或多个经上取样图像。可在所述一或多个差异图像或所述经上取样图像中检测一或多个晶片缺陷。
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公开(公告)号：CN107407644B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201680013333.5
申请日：2016-03-04
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明揭示用于将从目标衬底反射的红外到真空紫外VUV光反射朝向传感器的方法及设备。所述系统包含：第一镜，其经布置以接收且反射从所述目标衬底反射的所述红外到VUV光；及第二镜，其经布置以接收且反射由所述第一镜反射的红外到VUV光。所述第一镜及所述第二镜经布置且经塑形以将来自所述目标衬底的红外到VUV光反射朝向所述设备的光轴。在另一实施例中，所述设备还可包含：第三镜，其经布置以接收且反射由所述第二镜反射的所述红外到VUV光；及第四镜，其经布置以接收由所述第三镜反射的此照明光，且将所述照明光反射朝向所述传感器。在又一实施例中，使用反射或折射光学器件，将通过上述光学器件的图像中继到所述传感器；通过调整所述中间图像与所述中继光学器件之间的距离来实现各种放大率。
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公开(公告)号：CN105593740B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201480052528.1
申请日：2014-08-14
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G02B21/06
Abstract: 本发明揭示使用来自激光维持等离子体的VUV光进行样本的检验，其包含：产生包含第一所选择波长或波长范围的泵浦照明；容纳适用于等离子体产生的一定体积的气体；通过将所述泵浦照明聚焦到所述一定体积的气体中而在所述一定体积的气体内形成等离子体来产生包含第二所选择波长或波长范围的宽带辐射；使用从所述等离子体发射的所述宽带辐射经由照明路径照明样本的表面；收集来自所述样本的表面的照明；将所述经收集照明经由收集路径聚焦到检测器上，以形成所述样本的所述表面的至少一部分的图像；以及使用所选择吹扫气体吹扫所述照明路径及/或所述收集路径。
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