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公开(公告)号：CN104885186B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380049073.3
申请日：2013-08-08
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/16 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/32165 , H01J37/32422 , H01J2237/0817 , H01J2237/31706
Abstract: 一种宽离子束源(10)包括多个射频窗(26，18，30)，以预设关系布置；单一等离子体腔体线(20，22，24)，每一多个射频天线配置在各别的每一多个射频窗的第二侧，而且第二侧相对于第一侧；以及多个射频源(14，16，18)，每一多个射频源耦接于各别的每一多个射频天线，其中藉由耦接于第一射频天线的第一射频源产生的第一射频信号及藉由耦接于与第一射频天线相邻的一射频天线的第二射频源产生的第二射频信号之间的频率差异大于10千赫兹。本发明提供的射频离子源，能促进多重、空间重叠等离子体的运(12)，配置在多个射频窗的第一侧；多个射频天
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公开(公告)号：CN105340052B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201480036223.1
申请日：2014-05-27
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/1477 , H01J37/3171
Abstract: 本发明提供一种静电扫描器、离子注入系统以及用于处理离子束的方法，该静电扫描器用以在离子注入机中扫描离子束。静电扫描器可以包含第一扫描板，第一扫描板具有面向离子束的第一内表面，第一内表面在垂直于离子束传播方向的第一平面中具有凹面形状；以及与第一扫描板相对的第二扫描板，第一扫描板与第二扫描板以间隙间隔开以容纳离子束，第二扫描板具有面向离子束的第二内表面并且在第一平面中具有凸面形状，第一扫描板以及第二扫描板经配置以在间隙中生成静电场，从而沿着垂直于离子束传播方向的水平方向来回扫描离子束。该静电扫描器可以减小由传统设备产生的离子束的垂直角展度。
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公开(公告)号：CN111627788B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202010528406.2
申请日：2017-08-28
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/08 , H01J37/04
Abstract: 一种弯曲的后扫描电极的离子植入机系统设备，包括：后扫描电极，以扇形束包络的形式接收及传输经扫描束，其中所述经扫描束界定视在扫描原点，其中所述后扫描电极的至少一部分具有弯曲形状以实质上维持所述视在扫描原点的位置。通过使用具有与扇形束包络线传播方向垂直的形状(例如，弯曲形状)的后扫描电极，可有利地避免视在扫描原点相比于扫描原点的折射移位。使用具有弯曲形状或弧形状的后扫描电极使得能够在扫描板以及后扫描电极上使用与传统扫描系统中使用的电压相比显著更高的电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104885186A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201380049073.3
申请日：2013-08-08
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/16 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/32165 , H01J37/32422 , H01J2237/0817 , H01J2237/31706
Abstract: 一种宽离子束源(10)包括多个射频窗(26，18，30)，以预设关系布置；单一等离子体腔体(12)，配置在多个射频窗的第一侧；多个射频天线(20，22，24)，每一多个射频天线配置在各别的每一多个射频窗的第二侧，而且第二侧相对于第一侧；以及多个射频源(14，16，18)，每一多个射频源耦接于各别的每一多个射频天线，其中藉由耦接于第一射频天线的第一射频源产生的第一射频信号及藉由耦接于与第一射频天线相邻的一射频天线的第二射频源产生的第二射频信号之间的频率差异大于10千赫兹。
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公开(公告)号：CN111627788A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010528406.2
申请日：2017-08-28
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/08 , H01J37/04
Abstract: 一种弯曲的后扫描电极的离子植入机系统设备，包括：后扫描电极，以扇形束包络的形式接收及传输经扫描束，其中所述经扫描束界定视在扫描原点，其中所述后扫描电极的至少一部分具有弯曲形状以实质上维持所述视在扫描原点的位置。通过使用具有与扇形束包络线传播方向垂直的形状(例如，弯曲形状)的后扫描电极，可有利地避免视在扫描原点相比于扫描原点的折射移位。使用具有弯曲形状或弧形状的后扫描电极使得能够在扫描板以及后扫描电极上使用与传统扫描系统中使用的电压相比显著更高的电压。
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公开(公告)号：CN105340052A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480036223.1
申请日：2014-05-27
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/1477 , H01J37/3171
Abstract: 一种用以在离子注入机中扫描离子束的静电扫描器。静电扫描器可以包含第一扫描板，第一扫描板具有面向离子束的第一内表面，第一内表面在垂直于离子束传播方向的第一平面中具有凹面形状；以及与第一扫描板相对的第二扫描板，第一扫描板与第二扫描板以间隙间隔开以容纳离子束，第二扫描板具有面向离子束的第二内表面并且在第一平面中具有凸面形状，第一扫描板以及第二扫描板经配置以在间隙中生成静电场，从而沿着垂直于离子束传播方向的水平方向来回扫描离子束。
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公开(公告)号：CN115910729A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202310097928.5
申请日：2017-08-28
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/04 , H01J37/08 , H01J37/317 , H01J37/147
Abstract: 一种离子植入机系统设备及离子植入方法，所述离子植入机系统设备包括离子束产生器，产生离子束；扫描系统，接收所述离子束并产生经扫描束；以及电极，接收所述经扫描束。所述电极的至少一部分垂直于所述经扫描束的传播方向。所述电极的垂直于所述经扫描束的所述传播方向的所述部分可具有弯曲形状。通过使用具有与扇形束包络线传播方向垂直的形状(例如，弯曲形状)的后扫描电极，可有利地避免视在扫描原点相比于扫描原点的折射移位。使用具有弯曲形状或弧形状的后扫描电极使得能够在扫描板以及后扫描电极上使用与传统扫描系统中使用的电压相比显著更高的电压。
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公开(公告)号：CN109863572A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201780064062.0
申请日：2017-08-28
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/04 , H01J37/317
Abstract: 一种设备用于提供离子束的离子束产生器。扫描系统可接收所述离子束并提供经扫描束。电极可接收所述经扫描束。所述电极的至少一部分垂直于所述经扫描束的传播方向。所述电极的垂直于所述传播方向所述扫描束的所述部分可具有弯曲形状。
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