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公开(公告)号：CN104885186B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380049073.3
申请日：2013-08-08
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/16 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/32165 , H01J37/32422 , H01J2237/0817 , H01J2237/31706
Abstract: 一种宽离子束源(10)包括多个射频窗(26，18，30)，以预设关系布置；单一等离子体腔体线(20，22，24)，每一多个射频天线配置在各别的每一多个射频窗的第二侧，而且第二侧相对于第一侧；以及多个射频源(14，16，18)，每一多个射频源耦接于各别的每一多个射频天线，其中藉由耦接于第一射频天线的第一射频源产生的第一射频信号及藉由耦接于与第一射频天线相邻的一射频天线的第二射频源产生的第二射频信号之间的频率差异大于10千赫兹。本发明提供的射频离子源，能促进多重、空间重叠等离子体的运(12)，配置在多个射频窗的第一侧；多个射频天
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公开(公告)号：CN104885186A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201380049073.3
申请日：2013-08-08
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/16 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/32165 , H01J37/32422 , H01J2237/0817 , H01J2237/31706
Abstract: 一种宽离子束源(10)包括多个射频窗(26，18，30)，以预设关系布置；单一等离子体腔体(12)，配置在多个射频窗的第一侧；多个射频天线(20，22，24)，每一多个射频天线配置在各别的每一多个射频窗的第二侧，而且第二侧相对于第一侧；以及多个射频源(14，16，18)，每一多个射频源耦接于各别的每一多个射频天线，其中藉由耦接于第一射频天线的第一射频源产生的第一射频信号及藉由耦接于与第一射频天线相邻的一射频天线的第二射频源产生的第二射频信号之间的频率差异大于10千赫兹。
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公开(公告)号：CN104335319B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380029154.7
申请日：2013-04-15
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/15
CPC classification number: H01J37/3007 , H01J37/15 , H01J2237/083 , H01J2237/1502 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供一种电极调整组件与调整电极的方法，用于工件制程。电极调整组件可包括具有第一端及第二端(126，128)的电极组件(124)。第一及第二机械手(130，132)可被耦接至第一端及第二端。机械手可被用以选择性地带动电极组件的第一和第二端部的移动以调整一或多个通过电极的离子束特性。第一及第二机械手可独立操纵使得电极的第一端及第二端可彼此独立地被调整。
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公开(公告)号：CN104335319A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201380029154.7
申请日：2013-04-15
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/15
CPC classification number: H01J37/3007 , H01J37/15 , H01J2237/083 , H01J2237/1502 , H01J2237/31701 , H01J37/317 , H01J37/3171
Abstract: 一种电极调整方法与装置被揭示以用于工件制程。组件可包括具有第一端及第二端(126，128)的电极组件(124)。第一及第二机械手(130，132)可被耦接至第一及第二端。机械手可被用以选择性地带动电极组件的第一和第二端部的移动以调整一或多个通过电极的离子束特性。第一及第二机械手可独立操纵使得电极的第一及第二端可彼此独立地被调整。使用本揭示装置的方法也被揭示。
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