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公开(公告)号：CN101042325A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710065395.3
申请日：2007-04-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种光子晶体表面周期性结构的检测方法，属于平面结构检测、光测力学技术领域。本发明以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线为参考栅，光子晶体表面周期性结构为试件栅，通过使两栅发生干涉形成清晰的LSCM云纹，再通过提取云纹条纹方程，将其代入推导的反演公式求解试件栅方程，进而既可求出物体表面微纳米尺度的周期性结构尺寸、又可反映其在大范围内的整体结构特征。此方法综合了云纹法灵敏度高、测量视场大，及激光共聚焦显微镜分辫率高、无需真空环境、标本制备简单、对样品无损伤、空间定位方便等优点，测量精度高，操作简单，可进行全场测试，检测成本低，对表面存在多种取向周期性结构的光子晶体试样有独特的测量优势。
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公开(公告)号：CN100552421C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200710065395.3
申请日：2007-04-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种光子晶体表面周期性结构的检测方法，属于平面结构检测、光测力学技术领域。本发明以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线为参考栅，光子晶体表面周期性结构为试件栅，通过使两栅发生干涉形成清晰的LSCM云纹，再通过提取云纹条纹方程，将其代入推导的反演公式求解试件栅方程，进而既可求出物体表面微纳米尺度的周期性结构尺寸、又可反映其在大范围内的整体结构特征。此方法综合了云纹法灵敏度高、测量视场大，及激光共聚焦显微镜分辨率高、无需真空环境、标本制备简单、对样品无损伤、空间定位方便等优点，测量精度高，操作简单，可进行全场测试，检测成本低，对表面存在多种取向周期性结构的光子晶体试样有独特的测量优势。
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公开(公告)号：CN101592573B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200910086827.8
申请日：2009-06-08
Applicant: 清华大学
Abstract: 基于激光共聚焦显微镜的拉压及疲劳加载实验机，本发明提供一种适用于激光共聚焦显微镜平台的加载实验机，该实验机包括固定基板、电机驱动的拉压加载装置、压电陶瓷驱动的疲劳加载装置、力传感器、夹持装置和相移装置等部分。本发明可以实现对宏观尺度单轴向应力下的金属或非金属材料的典型试样、薄膜进行拉压和疲劳加载的测试，该装置为光学测试方法设计了相移装置，用于提高测试精度和自动化程度。该实验机结构紧凑，试件紧靠实验机下底面，能够实现在激光共聚焦显微镜平台下的加载，并使用该显微镜采集加载图像，通过光学方法处理图像得到试件材料的力学参数。系统测量灵敏度高，结果可靠，适用范围广。
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公开(公告)号：CN101839699A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201010178097.7
申请日：2010-05-14
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 一种测量微纳米金属互连线残余变形的方法，属于变形测量、光测力学领域。本发明在微纳米金属互连线表面通过聚焦离子束辐照制作散斑或利用聚焦离子束刻蚀单向光栅作为微纳米标记，之后通过聚焦离子束在微纳米标记区域刻蚀一条垂直于轴向的贯穿裂纹以释放轴向残余应力，分别采集裂纹刻蚀前后的微纳米标记图像，利用数字图像相关法计算微纳米金属互连线在裂纹附近由于残余应力释放引起的变形，即残余变形。该方法能原位制作微纳米标记、刻蚀裂纹、并采集图像，具有原位测量、定位准确、操作简单、非接触、数据处理方便、灵敏度高、测量精度高的优点。其中提出的聚焦离子束辐照法能快速制作散斑，工艺简单便捷。
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公开(公告)号：CN101592573A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200910086827.8
申请日：2009-06-08
Applicant: 清华大学
Abstract: 基于激光共聚焦显微镜的拉压及疲劳加载实验机，本发明提供一种适用于激光共聚焦显微镜平台的加载实验机，该实验机包括固定基板、电机驱动的拉压加载装置、压电陶瓷驱动的疲劳加载装置、力传感器、夹持装置和相移装置等部分。本发明可以实现对宏观尺度单轴向应力下的金属或非金属材料的典型试样、薄膜进行拉压和疲劳加载的测试，该装置为光学测试方法设计了相移装置，用于提高测试精度和自动化程度。该实验机结构紧凑，试件紧靠实验机下底面，能够实现在激光共聚焦显微镜平台下的加载，并使用该显微镜采集加载图像，通过光学方法处理图像得到试件材料的力学参数。系统测量灵敏度高，结果可靠，适用范围广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116482079B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202310347785.9
申请日：2023-04-03
IPC: G01N21/71
Abstract: 本申请提供了基于激光诱导击穿光谱的检测方法及系统，该方法包括：以初始激光能量击打待检测样品，确定待检测样品的等离子体实际温度；根据等离子体实际温度和等离子体目标温度，将初始激光能量调整为目标激光能量；以目标激光能量多次击打待检测样品，获得待检测样品的多个光谱。该方法通过调整激光能量，使得待检测样品的等离子体温度保持一致，在无需增加设备成本、无需对样品进行复杂处理的基础上，降低基体效应的影响，提升检测结果的准确性。
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公开(公告)号：CN101245992B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200810102376.8
申请日：2008-03-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种测量金属互连线力/电耦合作用下表面变形的方法，属于变形检测、光测力学技术领域。本发明利用离子束刻蚀法或电子束刻蚀法在金属互连线表面制作光栅，通过力/电耦合加载系统进行加载，由光学显微镜及图像采集装置实时拍摄加载前及加载过程中的光栅图像，利用数字云纹法、小波变换及相移技术获得金属互连线表面的变形信息。该方法所制作的光栅质量高、频率形状可调，可对试样施加恒应力/变电流、恒电流/变应力、恒应力/恒电流疲劳等多种载荷，具有可实时原位测量、测量视场大、灵敏度高、无接触、操作简单、数据处理方便、及测量精度高的优点，对研究金属互连线的表面变形具有独特的优越性。
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公开(公告)号：CN101487695A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200910119932.7
申请日：2009-02-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种多灵敏度制栅云纹干涉仪，属于光测力学、变形检测技术领域。本发明由激光器、分光耦合器、干涉光路系统、图像采集系统、加载及六维调节装置五大部分组成。集光栅制作与变形测量为一体，可制作可转移光栅模板，也可在试样表面制作零厚度试件栅，通过四光束云纹干涉光路可实现实时变形测量，且光栅频率和测量灵敏度均可按需要调节。光路系统采用光纤技术以消除散斑噪声对光栅、图形质量的影响，位移测量灵敏度达波长量级。此外，本发明还具有结构紧凑、使用方便、光路原理简单、可制作单向栅或正交栅、制作的光栅不易被污染、可对试件实现六个自由度的调节等优点。
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公开(公告)号：CN117685552A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311707785.1
申请日：2023-12-12
Abstract: 本申请提供一种燃煤机组以及燃煤机组的运行控制方法，包括燃煤锅炉系统、熔盐系统以及凝汽器，燃煤机组还包括位于凝汽器下游的锅炉给水回热系统、熔盐给水回热系统，锅炉给水回热系统、熔盐给水回热系统并联设置；锅炉给水回热系统通过第一给水回路连通燃煤锅炉系统的给水入口，熔盐给水回热系统通过第二给水回路连通熔盐系统的给水入口；熔盐系统包括熔盐加热器，燃煤锅炉系统包括燃煤蒸汽回路，燃煤蒸汽回路连通熔盐加热器以加热熔盐，熔盐系统包括熔盐蒸汽回路，熔盐加热器的蒸汽出口通过熔盐蒸汽回路连通熔盐给水回热系统，以加热熔盐给水回热系统中的凝结水。可以提高变负荷速率，满足和新能源互补的灵活调峰要求。
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公开(公告)号：CN116482079A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310347785.9
申请日：2023-04-03
IPC: G01N21/71
Abstract: 本申请提供了基于激光诱导击穿光谱的检测方法及系统，该方法包括：以初始激光能量击打待检测样品，确定待检测样品的等离子体实际温度；根据等离子体实际温度和等离子体目标温度，将初始激光能量调整为目标激光能量；以目标激光能量多次击打待检测样品，获得待检测样品的多个光谱。该方法通过调整激光能量，使得待检测样品的等离子体温度保持一致，在无需增加设备成本、无需对样品进行复杂处理的基础上，降低基体效应的影响，提升检测结果的准确性。
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