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公开(公告)号：CN100552421C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200710065395.3
申请日：2007-04-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种光子晶体表面周期性结构的检测方法，属于平面结构检测、光测力学技术领域。本发明以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线为参考栅，光子晶体表面周期性结构为试件栅，通过使两栅发生干涉形成清晰的LSCM云纹，再通过提取云纹条纹方程，将其代入推导的反演公式求解试件栅方程，进而既可求出物体表面微纳米尺度的周期性结构尺寸、又可反映其在大范围内的整体结构特征。此方法综合了云纹法灵敏度高、测量视场大，及激光共聚焦显微镜分辨率高、无需真空环境、标本制备简单、对样品无损伤、空间定位方便等优点，测量精度高，操作简单，可进行全场测试，检测成本低，对表面存在多种取向周期性结构的光子晶体试样有独特的测量优势。
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公开(公告)号：CN1333271C
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200610011471.8
申请日：2006-03-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种高密度光栅的制作方法，属于光学器件的制造、光测力学技术领域。本发明是在成熟商品仪器激光扫描共聚焦显微镜的操作环境中，利用其照明光源所发出的波长在光刻胶感光敏感波长范围内的聚焦激光点，对光栅基底材料表面的光刻胶进行扫描曝光，通过调整激光扫描共聚焦显微镜目镜的放大倍数、扫描线数、扫描次数以及扫描方向，能制作出可变密度、可变深度的单向光栅、正交光栅或应变花光栅；该方法的光栅制作原理清晰，操作简单，不需要人为布置光路，以及精确调整激光束的入射角度等重要参数；无需专业设备投资，制作成本低。
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公开(公告)号：CN101042325A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710065395.3
申请日：2007-04-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种光子晶体表面周期性结构的检测方法，属于平面结构检测、光测力学技术领域。本发明以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线为参考栅，光子晶体表面周期性结构为试件栅，通过使两栅发生干涉形成清晰的LSCM云纹，再通过提取云纹条纹方程，将其代入推导的反演公式求解试件栅方程，进而既可求出物体表面微纳米尺度的周期性结构尺寸、又可反映其在大范围内的整体结构特征。此方法综合了云纹法灵敏度高、测量视场大，及激光共聚焦显微镜分辫率高、无需真空环境、标本制备简单、对样品无损伤、空间定位方便等优点，测量精度高，操作简单，可进行全场测试，检测成本低，对表面存在多种取向周期性结构的光子晶体试样有独特的测量优势。
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公开(公告)号：CN1815274A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200610011471.8
申请日：2006-03-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种高密度光栅的制作方法，属于光学器件的制造、光测力学技术领域。本发明是在成熟商品仪器激光扫描共聚焦显微镜的操作环境中，利用其照明光源所发出的波长在光刻胶感光敏感波长范围内的聚焦激光点，对光栅基底材料表面的光刻胶进行扫描曝光，通过调整激光扫描共聚焦显微镜目镜的放大倍数、扫描线数、扫描次数以及扫描方向，能制作出可变密度、可变深度的单向光栅、正交光栅或应变花光栅；该方法的光栅制作原理清晰，操作简单，不需要人为布置光路，以及精确调整激光束的入射角度等重要参数；无需专业设备投资，制作成本低。
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