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公开(公告)号:CN103022095B
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201210369374.1
申请日:2012-09-27
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L29/40
CPC classification number: H01L29/7394 , H01L21/765 , H01L29/0696 , H01L29/0834 , H01L29/404 , H01L29/405 , H01L29/41725 , H01L29/8611 , H01L29/868
Abstract: 本发明公开了一种具有横向元件(7,8)的半导体器件,该半导体器件包括半导体衬底(11,60)、所述衬底(11,60)上的第一和第二电极(19,32,20,33)、以及从所述第一电极(19,32)延伸至所述第二电极(20,33)的电阻性场板(21,34)。所述横向元件(7,8)传送所述第一与第二电极(19,32,20,33)之间的电流。施加至所述第二电极(20,33)的电压小于施加至所述第一电极(19,32)的电压。所述电阻性场板(21,34)具有第一端部和与所述第一端部相对的第二端部。所述第二端部设置得比所述第一端部更靠近所述第二电极(20,33)。所述第二端部中的杂质浓度等于或大于1×1018cm-3。
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公开(公告)号:CN102332468B
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201110154131.1
申请日:2011-06-03
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L29/739 , H01L27/12 , H01L29/06 , H01L29/40 , H01L23/58
CPC classification number: H01L27/1203 , G01R19/0092 , H01L21/76283 , H01L23/585 , H01L29/0696 , H01L29/405 , H01L29/7394 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开一种电流传感器、逆变器电路以及具有其的半导体器件。该具有横向半导体元件的半导体器件,包括半导体衬底(1,21)、位于衬底(1,21)上的第一电极(12,29)、位于衬底(1,21)上的第二电极(13,28)以及位于衬底(1,21)中以将衬底(1,21)划分为第一岛和与该第一岛电绝缘的第二岛的隔离结构(1d,21d,56)。横向半导体元件包括位于第一岛中的主单元以及位于第二岛中的感测单元。主单元使第一电流在第一电极(12,29)和第二电极(13,28)之间流动以使得第一电流沿着衬底(1,21)的表面在横向方向上流动。通过检测流经感测单元的第二电流来检测该第一电流。
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公开(公告)号:CN102034876A
公开(公告)日:2011-04-27
申请号:CN201010503591.6
申请日:2010-09-30
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L29/861 , H01L29/06 , H01L21/329
CPC classification number: H01L27/1203 , H01L21/76264 , H01L21/84 , H01L29/0634 , H01L29/0657 , H01L29/0692 , H01L29/1608 , H01L29/404 , H01L29/405 , H01L29/407 , H01L29/408 , H01L29/66128 , H01L29/7394 , H01L29/7824 , H01L29/8611
Abstract: 一种半导体装置,包括:SOI衬底(1);具有布置在SOI衬底(1)的活性层(3)中的第一和第二杂质层(5,6,71,77,81,88)的半导体元件(5,6,71,77,81,88),其中第二杂质层(6,71,81)围绕第一杂质层(5,77,88);和布置在活性层(3)中邻近SOI衬底(1)的嵌入绝缘薄膜(4)的部分中的多个第一和第二导电型区域(10,11)。第一和第二导电型区域(10,11)交替地布置。第一和第二导电型区域(10,11)具有对应于半导体元件(5,6,71,77,81,88)的布局。
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公开(公告)号:CN102403341B
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201110274680.2
申请日:2011-09-09
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L29/47 , H01L29/739
CPC classification number: H01L29/7394 , H01L29/0696 , H01L29/0834 , H01L29/1095 , H01L29/405 , H01L29/43 , H01L29/7397
Abstract: 一种N沟道横向绝缘栅双极晶体管,包括半导体衬底(1、30、40)、漂移层(2)、集电极区域(4)、沟道层(6)、发射极区域(7)、栅极绝缘膜(10)、栅电极(11)、集电极电极(12)、发射极电极(13)。集电极区域(4)包括具有高杂质浓度的高杂质浓度区域(4a)和杂质浓度比高杂质浓度区域(4a)低的低杂质浓度区域(4b)。集电极电极(12)与高杂质浓度区域(4a)欧姆接触并且与低杂质浓度区域(4b)肖特基接触。
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公开(公告)号:CN103022095A
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN201210369374.1
申请日:2012-09-27
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L29/40
CPC classification number: H01L29/7394 , H01L21/765 , H01L29/0696 , H01L29/0834 , H01L29/404 , H01L29/405 , H01L29/41725 , H01L29/8611 , H01L29/868
Abstract: 本发明公开了一种具有横向元件(7,8)的半导体器件,该半导体器件包括半导体衬底(11,60)、所述衬底(11,60)上的第一和第二电极(19,32,20,33)、以及从所述第一电极(19,32)延伸至所述第二电极(20,33)的电阻性场板(21,34)。所述横向元件(7,8)传送所述第一与第二电极(19,32,20,33)之间的电流。施加至所述第二电极(20,33)的电压小于施加至所述第一电极(19,32)的电压。所述电阻性场板(21,34)具有第一端部和与所述第一端部相对的第二端部。所述第二端部设置得比所述第一端部更靠近所述第二电极(20,33)。所述第二端部中的杂质浓度等于或大于1×1018cm-3。
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公开(公告)号:CN102034876B
公开(公告)日:2013-02-13
申请号:CN201010503591.6
申请日:2010-09-30
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L29/861 , H01L29/06 , H01L21/329
CPC classification number: H01L27/1203 , H01L21/76264 , H01L21/84 , H01L29/0634 , H01L29/0657 , H01L29/0692 , H01L29/1608 , H01L29/404 , H01L29/405 , H01L29/407 , H01L29/408 , H01L29/66128 , H01L29/7394 , H01L29/7824 , H01L29/8611
Abstract: 一种半导体装置,包括:SOI衬底(1);具有布置在SOI衬底(1)的活性层(3)中的第一和第二杂质层(5,6,71,77,81,88)的半导体元件(5,6,71,77,81,88),其中第二杂质层(6,71,81)围绕第一杂质层(5,77,88);和布置在活性层(3)中邻近SOI衬底(1)的嵌入绝缘薄膜(4)的部分中的多个第一和第二导电型区域(10,11)。第一和第二导电型区域(10,11)交替地布置。第一和第二导电型区域(10,11)具有对应于半导体元件(5,6,71,77,81,88)的布局。
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公开(公告)号:CN102403341A
公开(公告)日:2012-04-04
申请号:CN201110274680.2
申请日:2011-09-09
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L29/47 , H01L29/739
CPC classification number: H01L29/7394 , H01L29/0696 , H01L29/0834 , H01L29/1095 , H01L29/405 , H01L29/43 , H01L29/7397
Abstract: 一种N沟道横向绝缘栅双极晶体管,包括半导体衬底(1、30、40)、漂移层(2)、集电极区域(4)、沟道层(6)、发射极区域(7)、栅极绝缘膜(10)、栅电极(11)、集电极电极(12)、发射极电极(13)。集电极区域(4)包括具有高杂质浓度的高杂质浓度区域(4a)和杂质浓度比高杂质浓度区域(4a)低的低杂质浓度区域(4b)。集电极电极(12)与高杂质浓度区域(4a)欧姆接触并且与低杂质浓度区域(4b)肖特基接触。
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公开(公告)号:CN103745979A
公开(公告)日:2014-04-23
申请号:CN201410009511.X
申请日:2011-06-03
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L27/12 , H01L29/06 , H01L29/739 , H01L23/58 , H02M7/537
CPC classification number: H01L27/1203 , G01R19/0092 , H01L21/76283 , H01L23/585 , H01L29/0696 , H01L29/405 , H01L29/7394 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开一种电流传感器、逆变器电路以及具有其的半导体器件。该具有横向半导体元件的半导体器件,包括半导体衬底(1,21)、位于衬底(1,21)上的第一电极(12,29)、位于衬底(1,21)上的第二电极(13,28)以及位于衬底(1,21)中以将衬底(1,21)划分为第一岛和与该第一岛电绝缘的第二岛的隔离结构(1d,21d,56)。横向半导体元件包括位于第一岛中的主单元以及位于第二岛中的感测单元。主单元使第一电流在第一电极(12,29)和第二电极(13,28)之间流动以使得第一电流沿着衬底(1,21)的表面在横向方向上流动。通过检测流经感测单元的第二电流来检测该第一电流。
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公开(公告)号:CN103548147A
公开(公告)日:2014-01-29
申请号:CN201280023653.0
申请日:2012-05-10
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L29/861 , H01L21/329 , H01L29/06 , H01L29/868
CPC classification number: H01L29/063 , H01L29/0692 , H01L29/402 , H01L29/404 , H01L29/405 , H01L29/861
Abstract: 一种横向半导体器件包括半导体层(16)、绝缘层(37)以及电阻性场板(30)。所述半导体层(16)包括表面部分处的第二半导体区(23)和第一半导体区(28),所述第二半导体区(23)构成所述第一半导体区(28)周围的电路。所述绝缘层(37)形成在所述半导体层(16)的表面上并且布置在所述第一半导体区和所述第二半导体区(28,23)之间。所述电阻性场板(30)形成在所述绝缘层(37)的表面上。在所述第一半导体区和所述第二半导体区(28,23)之间,第一部分和第二部分沿着所述第一半导体区(28)周围的外周方向彼此相邻。所述电阻性场板(30)包括分别形成在所述第一部分和第二部分中的第一和第二电阻性场板部分(34),并且所述第一和第二电阻性场板部分(34)彼此分离。
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公开(公告)号:CN103187440A
公开(公告)日:2013-07-03
申请号:CN201210585132.6
申请日:2012-12-28
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L29/739 , H01L29/06
CPC classification number: H01L29/7394 , H01L29/0653 , H01L29/0696 , H01L29/405 , H01L29/42368 , H01L29/47 , H01L29/66325 , H01L29/7393
Abstract: 一种具有横向绝缘栅双极晶体管的半导体器件包括:第一导电类型漂移层(2)、在所述漂移层(2)的表面部分中形成的第二导电类型集电极区(4)、在所述漂移层(2)的表面部分中形成的第二导电类型沟道层(6)、在所述沟道层(6)的表面部分中形成的第一导电类型发射极区(7)、以及在所述漂移层(2)中形成并定位于所述集电极区(4)和所述发射极区(7)之间的空穴截断区(14)。空穴从所述集电极区(4)注入所述漂移层(2)中,并且通过空穴路径向所述发射极区(7)流动。所述空穴截断区(14)阻挡空穴流并使所述空穴路径变窄以使空穴聚集。
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