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公开(公告)号：CN115910823A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211142052.3
申请日：2022-09-20
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 提供一种基板处理装置、异常检测方法及存储有异常检测程序的计算机可读介质。在基板处理装置中，进行使用处理液的基板的处理。第1动作构件及第2动作构件用于基板的处理。利用动作值获取部获取第1动作构件的第1动作值和第2动作构件的第2动作值。利用异常判断部基于由动作值获取部获取到的第1动作值与第2动作值的相关性来判断是否发生了异常。
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公开(公告)号：CN108511366B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201810095001.7
申请日：2018-01-31
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法。处理液供给装置向多个处理部供给处理液。处理液供给装置包括：处理液供给源，供给进行了加热或者冷却的处理液；多个循环配管，多个所述循环配管分别与多个所述处理部对应地设置，分别使所述处理液供给源所供给的处理液循环；供给配管，与各所述循环配管分支连接，向对应的所述处理部供给处理液；流量调整阀，安装于各所述循环配管，调整该循环配管内的处理液的流量；以及，温度检测单元，安装于各所述循环配管，检测在该循环配管内流动的处理液的温度。
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公开(公告)号：CN118248583A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202311769183.9
申请日：2023-12-21
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67 , H01L21/306 , H01L21/02 , B08B3/02 , B08B3/10
Abstract: 本发明提供一种处理液供给装置及基板处理装置。处理液供给装置(200)具备储液箱(210)、泵(220)和第1连接配管(410)。储液箱(210)收纳处理基板(W)的处理液。泵(220)配置在储液箱(210)的正下方。第1连接配管(410)沿上下方向延伸，并且将储液箱(210)的流出口(214)和泵(220)的流入口(222)连接。第1连接配管(410)使处理液从储液箱(210)向泵(220)流通。
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公开(公告)号：CN108511366A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810095001.7
申请日：2018-01-31
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法。处理液供给装置向多个处理部供给处理液。处理液供给装置包括：处理液供给源，供给进行了加热或者冷却的处理液；多个循环配管，多个所述循环配管分别与多个所述处理部对应地设置，分别使所述处理液供给源所供给的处理液循环；供给配管，与各所述循环配管分支连接，向对应的所述处理部供给处理液；流量调整阀，安装于各所述循环配管，调整该循环配管内的处理液的流量；以及，温度检测单元，安装于各所述循环配管，检测在该循环配管内流动的处理液的温度。
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公开(公告)号：CN309239717S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430284379.8
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1主视图。
5.因无设计要点，省略设计1后视图、设计1左视图、设计1右视图、设计1俯视图、设计1仰视图、设计2后视图、设计2左视图、设计2右视图、设计2俯视图、设计2仰视图。
6.指定设计1为基本设计。
7.图形用户界面的用途：设计1的图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，设计1的请求保护的部分用于显示利用装置处理完的晶片片数、每单位时间的处理片数、以星期为单位的处理片数、每个型号的处理片数等信息；设计2的图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，设计2的请求保护的部分用于显示利用装置处理完的晶片片数、每单位时间的处理片数、以星期为单位的处理片数、使用的清洗用药剂的每个规程的处理枚数、每个型号的处理片数等信息。
8.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化。
9.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN309239713S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430284371.1
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗用药剂评分结果显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的运转状况，请求保护的部分用于显示使用的清洗用药剂的评分结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
公开(公告)号：CN309239716S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430284377.9
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，请求保护的部分用于显示发生警报、执行作业的履历、统计结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化，另外，通过选择配置于主视图的中央的多个矩形框中的一个（例如第一行第一个），能够进入变化状态图，即进入显示所选择的项目的详细信息的界面。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
公开(公告)号：CN309239710S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430283827.2
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1主视图。
5.因无设计要点，省略设计1后视图、设计1左视图、设计1右视图、设计1俯视图、设计1仰视图、设计2后视图、设计2左视图、设计2右视图、设计2俯视图、设计2仰视图。
6.指定设计1为基本设计。
7.图形用户界面的用途：设计1的图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，设计1的请求保护的部分用于显示警报的发生数量、种类、发生部位、等级、发生时间等信息；设计2的图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，设计2的请求保护的部分用于显示装置故障的发生数量、发生部位、等级、发生时间等信息。
8.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化。
9.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
公开(公告)号：CN309239708S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430283824.9
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，请求保护的部分用于显示装置内的气缸的动作状况等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
公开(公告)号：CN309239711S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430284369.4
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗用药剂评分结果显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的运转状况，请求保护的部分用于显示使用的清洗用药剂的评分结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。
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