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公开(公告)号：CN115831808A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211117934.4
申请日：2022-09-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供处理装置群管理系统、处理装置群管理方法及记录程序的存储介质。处理装置群管理系统对多个基板处理装置的集合即处理装置群的运转状态进行管理。处理装置群管理系统具备信息存储部、显示器及显示控制部。信息存储部存储多个基板处理装置固有的信息即装置固有信息、从多个基板处理装置持续发送的与多个基板处理装置的运转状态相关的装置运转信息。显示控制部根据多个基板处理装置的装置固有信息和装置运转信息，使显示器显示该多个基板处理装置各自的运转状态作为运转状态表。运转状态表的多个显示项目包括分别识别多个基板处理装置的装置识别符和各基板处理装置中异常的处理停止的发生次数。由此能统一管理多个基板处理装置的运转状态。
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公开(公告)号：CN115132615A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210303607.1
申请日：2022-03-24
Applicant: 株式会社斯库林集团
Inventor： 山本慎司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及基板处理装置、解析方法、显示装置及程序。信息存储部存储与包含装载端口组、处理单元组和搬运机构的运转部组的运转相关的信息即运转信息。运转信息包含表示基板处理装置中的基板的处理结果的处理结果信息、表示基板处理装置的运转状态的时间明细及运转部组中包含的运转部的运转状态的时间明细的运转状态信息。显示控制部在对从包含基板处理装置的任意的运转期间的预定的整理项目组中选择出的整理项目整理了处理结果信息的状态下，将处理结果信息显示于显示器。显示控制部将运转状态信息分别分类为多个大区分运转状态和多个小区分运转状态并显示于显示器。由此，操作员能够将运转部的详细运转状态与基板的处理结果关联起来而易于识别。
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公开(公告)号：CN119895533A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202380066690.8
申请日：2023-09-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种能够抑制源动力的使用量的基板处理系统。基板处理系统(1000)包含基板处理装置(200)、及控制装置(300)。控制装置(300)建立基板处理装置(200)的动作的排程(SK)。控制装置(300)包含存储部(303)、及控制部(304)。存储部(303)存储用于建立源动力的使用量互不相同的复数个排程(SK)的复数个已学习模型。控制部(304)可基于复数个已学习模型而建立复数个排程(SK)。复数个已学习模型分别基于学习时输入数据执行强化学习而被建构。学习时输入数据包含片数信息、制程条件信息、及源动力信息(RS)。源动力信息(RS)表示在基板处理装置(200)的动作的步骤中所含的各移动中使用的源动力的使用量。
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公开(公告)号：CN112437977B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN201980047542.5
申请日：2019-06-28
Applicant: 株式会社斯库林集团
Inventor： 山本慎司
IPC: H01L21/677 , H01L21/304
Abstract: 第一及第二反转部(41a、41b)分别具备送出槽、取入槽及反转机构。反转机构一体地反转送出槽及取入槽，由此切换将送出槽配置于下侧的送出姿势与将取入槽配置于下侧的取入姿势。分度器机械手(3)将未处理的基板(9)插入于送出姿势的第一反转部或第二反转部的送出槽；中央机械手(5)将处理完毕的基板插入于取入姿势的第一反转部或第二反转部的取入槽。由此，可抑制处理完毕的基板受污染。在高运转状态中，将在送出槽及取入槽未插入基板且处于取入姿势的第一反转部或第二反转部设为送出姿势，将未处理的基板插入于该反转部的送出槽。由此可高效地处理多个基板。
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公开(公告)号：CN112437977A
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201980047542.5
申请日：2019-06-28
Applicant: 株式会社斯库林集团
Inventor： 山本慎司
IPC: H01L21/677 , H01L21/304
Abstract: 第一及第二反转部(41a、41b)分别具备送出槽、取入槽及反转机构。反转机构一体地反转送出槽及取入槽，由此切换将送出槽配置于下侧的送出姿势与将取入槽配置于下侧的取入姿势。分度器机械手(3)将未处理的基板(9)插入于送出姿势的第一反转部或第二反转部的送出槽；中央机械手(5)将处理完毕的基板插入于取入姿势的第一反转部或第二反转部的取入槽。由此，可抑制处理完毕的基板受污染。在高运转状态中，将在送出槽及取入槽未插入基板且处于取入姿势的第一反转部或第二反转部设为送出姿势，将未处理的基板插入于该反转部的送出槽。由此可高效地处理多个基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN309239715S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430284375.X
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，请求保护的部分用于显示发生警报、执行作业的履历、统计结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
公开(公告)号：CN309239717S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430284379.8
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1主视图。
5.因无设计要点，省略设计1后视图、设计1左视图、设计1右视图、设计1俯视图、设计1仰视图、设计2后视图、设计2左视图、设计2右视图、设计2俯视图、设计2仰视图。
6.指定设计1为基本设计。
7.图形用户界面的用途：设计1的图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，设计1的请求保护的部分用于显示利用装置处理完的晶片片数、每单位时间的处理片数、以星期为单位的处理片数、每个型号的处理片数等信息；设计2的图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，设计2的请求保护的部分用于显示利用装置处理完的晶片片数、每单位时间的处理片数、以星期为单位的处理片数、使用的清洗用药剂的每个规程的处理枚数、每个型号的处理片数等信息。
8.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化。
9.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
公开(公告)号：CN309239713S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430284371.1
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗用药剂评分结果显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的运转状况，请求保护的部分用于显示使用的清洗用药剂的评分结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
公开(公告)号：CN309239711S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430284369.4
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗用药剂评分结果显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的运转状况，请求保护的部分用于显示使用的清洗用药剂的评分结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
公开(公告)号：CN309239709S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430283825.3
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，请求保护的部分用于显示装置的名称、发生的警报数量、警告数量等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。
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