公开(公告)号：CN110134916B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN201910096768.6

申请日：2019-01-31

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 犹原英司 ,  平藤祐美子

IPC: G06F17/18

Abstract: 本发明提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法。为了处理由具有多个处理单元(25)的基板处理装置(20)得到的时序数据(7)，数据处理方法包括：评价值计算步骤(S102)，通过将时序数据(7)与基准数据(8)进行比较，来求取时序数据(7)的分数(9)；以及结果显示步骤(S107)，显示评价结果画面(50)，评价结果画面(50)针对每个处理单元(25)包括圆图(53)，该圆图(53)用于表示分数(9)异常的基板的张数即分数错误件数(52)以及表示分数错误件数(52)在处理过的基板的张数中的比例。分数错误件数(52)与圆图(53)的显示尺寸根据分数错误件数(52)而变化。

公开(公告)号：CN115910823A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211142052.3

申请日：2022-09-20

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山本哲也 ,  平藤祐美子 ,  佐野雄大 ,  北岸大一

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 提供一种基板处理装置、异常检测方法及存储有异常检测程序的计算机可读介质。在基板处理装置中，进行使用处理液的基板的处理。第1动作构件及第2动作构件用于基板的处理。利用动作值获取部获取第1动作构件的第1动作值和第2动作构件的第2动作值。利用异常判断部基于由动作值获取部获取到的第1动作值与第2动作值的相关性来判断是否发生了异常。

公开(公告)号：CN110928250A

公开(公告)日：2020-03-27

申请号：CN201910752319.2

申请日：2019-08-15

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 犹原英司 ,  藤原友则 ,  平藤祐美子 ,  园田敦

IPC: G05B19/418

Abstract: 本发明的数据处理方法包括如下的步骤：为了对包括一个以上的处理单元的基板处理装置中所获得的时序数据进行处理，对时序数据与基准数据进行比较而求出时序数据的分数；将分数分类成多个等级；以及针对处理单元，显示评估结果画面，所述评估结果画面包括表示分数的各等级的产生比例的曲线图、各等级的产生次数、表示利用规定的方法对基板进行了处理时的分数的最差等级的产生次数的随时间的变化的曲线图。因此，提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法、数据处理装置及记录有数据处理程序的记录介质。

公开(公告)号：CN110134916A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910096768.6

申请日：2019-01-31

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 犹原英司 ,  平藤祐美子

IPC: G06F17/18

Abstract: 本发明提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法。为了处理由具有多个处理单元(25)的基板处理装置(20)得到的时序数据(7)，数据处理方法包括：评价值计算步骤(S102)，通过将时序数据(7)与基准数据(8)进行比较，来求取时序数据(7)的分数(9)；以及结果显示步骤(S107)，显示评价结果画面(50)，评价结果画面(50)针对每个处理单元(25)包括圆图(53)，该圆图(53)用于表示分数(9)异常的基板的张数即分数错误件数(52)以及表示分数错误件数(52)在处理过的基板的张数中的比例。分数错误件数(52)与圆图(53)的显示尺寸根据分数错误件数(52)而变化。

公开(公告)号：CN309239713S

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202430284371.1

申请日：2024-05-14

Applicant: 株式会社斯库林集团

Designer： 山本哲也 ,  山本慎司 ,  上田翔太 ,  叶安分 ,  平藤祐美子

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗用药剂评分结果显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的运转状况，请求保护的部分用于显示使用的清洗用药剂的评分结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。

公开(公告)号：CN309239708S

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202430283824.9

申请日：2024-05-14

Applicant: 株式会社斯库林集团

Designer： 山本哲也 ,  山本慎司 ,  上田翔太 ,  叶安分 ,  平藤祐美子

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，请求保护的部分用于显示装置内的气缸的动作状况等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。

公开(公告)号：CN309239714S

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202430284372.6

申请日：2024-05-14

Applicant: 株式会社斯库林集团

Designer： 山本哲也 ,  山本慎司 ,  上田翔太 ,  叶安分 ,  平藤祐美子

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，请求保护的部分用于显示每个单元的评分结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化,另外，通过选择配置于主视图的中央的多个单元（矩形框）中的一个（例如第一行第一个），能够进入变化状态图，即进入显示所选择的单元的详细信息的界面。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。

公开(公告)号：CN309239712S

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202430284370.7

申请日：2024-05-14

Applicant: 株式会社斯库林集团

Designer： 山本哲也 ,  山本慎司 ,  上田翔太 ,  叶安分 ,  平藤祐美子

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗用药剂评分结果显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的运转状况，请求保护的部分用于显示使用的清洗用药剂的评分结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。