公开(公告)号：CN115132616A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202210303673.9

申请日：2022-03-24

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 北岸大一 ,  堀口博司

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置、示教信息生成方法、示教套件和基板夹具。在基板处理装置中，以利用位于基板保持部上方的手来保持下表面设置有以非直线状配置的三个光电传感器的基板夹具的状态，通过基板旋转机构使基板保持部进行旋转，从而形成预先设置在基板保持部上的标记的圆周状的旋转轨迹。示教部基于由三个光电传感器各自得到的相对于旋转轨迹的相对位置，算出手相对于基板保持部的俯视下的相对位置，生成表示手和基板保持部的俯视下的相对位置关系的水平示教信息。由此，能够简化示教信息的生成处理。

公开(公告)号：CN110121683B

公开(公告)日：2023-01-10

申请号：CN201780081168.1

申请日：2017-11-15

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 北岸大一 ,  酒井康将

IPC: G05B23/02

Abstract: 一种参数管理装置，其管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群。参数管理装置包含：登记单元，其登记上述参数群；参数编辑单元，其变更上述参数的值；变更履历存储单元，其存储上述参数的变更履历信息；取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；选择输入单元，其被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数选择是否反映变更；确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群登记于上述登记单元。

公开(公告)号：CN115910823A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211142052.3

申请日：2022-09-20

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山本哲也 ,  平藤祐美子 ,  佐野雄大 ,  北岸大一

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 提供一种基板处理装置、异常检测方法及存储有异常检测程序的计算机可读介质。在基板处理装置中，进行使用处理液的基板的处理。第1动作构件及第2动作构件用于基板的处理。利用动作值获取部获取第1动作构件的第1动作值和第2动作构件的第2动作值。利用异常判断部基于由动作值获取部获取到的第1动作值与第2动作值的相关性来判断是否发生了异常。

公开(公告)号：CN110121683A

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201780081168.1

申请日：2017-11-15

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 北岸大一 ,  酒井康将

IPC: G05B23/02

Abstract: 一种参数管理装置，其管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群。参数管理装置包含：登记单元，其登记上述参数群；参数编辑单元，其变更上述参数的值；变更履历存储单元，其存储上述参数的变更履历信息；取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；选择输入单元，其被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数选择是否反映变更；确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群登记于上述登记单元。