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公开(公告)号：CN109478191B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN201780043375.8
申请日：2017-06-06
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 在文本分析步骤(S109～S110)中，对从被输入的文本数据中提取出的字词进行阶层式集群分析。在画面生成步骤(S111)中，根据群组数(m)与群组内的最多数据数(n)，从文本分析步骤的分析结果求得(m)个集群，生成用于在画面中显示包含(n)个以下的属于集群所的字词的群组的画面数据。在分析结果显示步骤(S112)中，根据所生成的画面数据来显示画面。通过这样，将阶层式集群分析的结果以使用者可直观地理解的方式显示于画面。
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公开(公告)号：CN110134077B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN201910096735.1
申请日：2019-01-31
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: G06F11/00
Abstract: 本发明提供一种能够在异常发生前获取详细的数据的数据处理方法。数据处理方法包括：采样步骤(S103)，基于基板处理装置(20)的物理量的测定结果来求取时序数据7；评价值计算步骤(S105)，将时序数据(7)与基准数据(8)进行来求取时序数据(7)的评价值；以及采样周期控制步骤，对每个时序数据(7)控制在采样步骤中利用的采样周期。在采样周期控制步骤中，在初始状态下将所有采样周期控制为正常周期(S101)，在时序数据(7)的评价值为异常时，将求取时序数据(7)时的采样周期控制为比正常周期短的异常周期(S113)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110134077A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910096735.1
申请日：2019-01-31
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明提供一种能够在异常发生前获取详细的数据的数据处理方法。数据处理方法包括：采样步骤(S103)，基于基板处理装置(20)的物理量的测定结果来求取时序数据7；评价值计算步骤(S105)，将时序数据(7)与基准数据(8)进行来求取时序数据(7)的评价值；以及采样周期控制步骤，对每个时序数据(7)控制在采样步骤中利用的采样周期。在采样周期控制步骤中，在初始状态下将所有采样周期控制为正常周期(S101)，在时序数据(7)的评价值为异常时，将求取时序数据(7)时的采样周期控制为比正常周期短的异常周期(S113)。
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公开(公告)号：CN109478191A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780043375.8
申请日：2017-06-06
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: G06F16/35 , G06F3/0482 , G06F3/0484
Abstract: 在文本分析步骤(S109～S110)中，对从被输入的文本数据中提取出的字词进行阶层式集群分析。在画面生成步骤(S111)中，根据群组数(m)与群组内的最多数据数(n)，从文本分析步骤的分析结果求得(m)个集群，生成用于在画面中显示包含(n)个以下的属于集群所的字词的群组的画面数据。在分析结果显示步骤(S112)中，根据所生成的画面数据来显示画面。通过这样，将阶层式集群分析的结果以使用者可直观地理解的方式显示于画面。
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公开(公告)号：CN309239715S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430284375.X
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，请求保护的部分用于显示发生警报、执行作业的履历、统计结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
公开(公告)号：CN309239716S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430284377.9
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.因无设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，请求保护的部分用于显示发生警报、执行作业的履历、统计结果等信息。
7.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化，另外，通过选择配置于主视图的中央的多个矩形框中的一个（例如第一行第一个），能够进入变化状态图，即进入显示所选择的项目的详细信息的界面。
8.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。-
公开(公告)号：CN309239710S
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202430283827.2
申请日：2024-05-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的晶片清洗设定及运转状况显示图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1主视图。
5.因无设计要点，省略设计1后视图、设计1左视图、设计1右视图、设计1俯视图、设计1仰视图、设计2后视图、设计2左视图、设计2右视图、设计2俯视图、设计2仰视图。
6.指定设计1为基本设计。
7.图形用户界面的用途：设计1的图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，设计1的请求保护的部分用于显示警报的发生数量、种类、发生部位、等级、发生时间等信息；设计2的图形用户界面用于监视晶片清洗装置的设定及运转状况，设计2的请求保护的部分用于显示装置故障的发生数量、发生部位、等级、发生时间等信息。
8.图形用户界面的人机交互方式：图形用户界面中的信息随着晶片清洗装置的设定及运转状况的变化而变化。
9.其他需要说明的情形其他说明：请求保护本外观设计产品的部分外观设计，不请求保护的部分在外观设计图片中以虚线表示。
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