公开(公告)号：CN117763212A

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202311183995.5

申请日：2023-09-14

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 池内崇 ,  佐野雄大

IPC: G06F16/9035 ,  H01L21/67 ,  G06N20/00

Abstract: 本发明提供一种支援装置、支援方法、基板处理系统及存储介质。支援装置(200)支援基板处理装置(100)的参数的值(X2)的调整。参数包含被检测对应的物理量(Z1)的检测对象参数。支援装置的运算处理部(201)使第1机器学习模型(M1)学习品质数据(Y)及与物理量相关的检测数据(Z2)来构建预测模型(PM)。运算处理部基于预测模型、采集函数(AF)、搜索范围(SW)执行贝叶斯优化，获取检测数据推荐值(Z3)。运算处理部使第2机器学习模型(M2)学习参数的值和检测数据。运算处理部将检测数据推荐值输入至学习后的第2机器学习模型，输出参数推荐值(RX1)。

公开(公告)号：CN115910823A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211142052.3

申请日：2022-09-20

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山本哲也 ,  平藤祐美子 ,  佐野雄大 ,  北岸大一

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 提供一种基板处理装置、异常检测方法及存储有异常检测程序的计算机可读介质。在基板处理装置中，进行使用处理液的基板的处理。第1动作构件及第2动作构件用于基板的处理。利用动作值获取部获取第1动作构件的第1动作值和第2动作构件的第2动作值。利用异常判断部基于由动作值获取部获取到的第1动作值与第2动作值的相关性来判断是否发生了异常。