非易失性存储器件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114975627A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202111001524.9

    申请日:2021-08-30

    Abstract: 本发明的实施方式涉及非易失性存储器件。本发明所要解决的技术问题在于提供一种能够高精度化的非易失性存储器件。实施方式的非易失性存储器件具有分别是场效应型且具有栅极电极的多个晶体管。栅极电极包括隧道绝缘膜、第一集电体膜、离子传导体膜、第一电极膜、第二电极膜和第二集电体膜。隧道绝缘膜覆盖沟道区域。第一集电体膜相对于隧道绝缘膜被配置于沟道区域的相反侧。离子传导体膜配置于隧道绝缘膜与第一集电体膜之间。第一电极膜配置于隧道绝缘膜与离子传导体膜之间。第一电极膜与离子传导体膜接触。第二电极膜配置于离子传导体膜与第一集电体膜之间。第二电极膜与离子传导体膜接触。第二集电体膜配置于隧道绝缘膜与第二电极膜之间。

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