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公开(公告)号：CN101908599B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201010198700.8
申请日：2010-06-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B41J2/155 , B41J2/2139 , B41J2/2146 , B41J2202/09 , H01L51/0005
Abstract: 本发明提供一种即使在喷墨装置的喷嘴中产生不喷出喷嘴也不会降低生产性且能够形成均匀的涂敷膜的功能膜制造方法。在该功能膜制造方法中，在对被具有疏液性的划分区域(3)所包围的形成功能膜的喷出区域、通过一次扫描从多个喷嘴(6)喷出功能液(9)的液滴来进行涂敷的步骤中，当对一个喷出区域进行涂敷的多个喷嘴中存在不喷出喷嘴时，与不存在不喷出喷嘴时相比，增加从对该喷出区域进行涂敷的其他喷出喷嘴所喷出的所述功能液的液滴量。
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公开(公告)号：CN1411920A
公开(公告)日：2003-04-23
申请号：CN02147241.6
申请日：2002-10-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B08B11/00 , H01L21/306
CPC classification number: H01J37/32733 , H01J37/32082 , H01J37/32706 , H01L24/48 , H01L24/85 , H01L2224/48 , H01L2224/85013 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01033 , H01L2924/01056 , H01L2924/01059 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/01087 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2224/45099
Abstract: 本发明提供了一种可提高生产能力、有效地防止薄膜污染、容易进行薄膜管理的负压等离子体处理装置及方法。该方法是将薄膜基板(2)从等离子体处理装置主体(10)外搬入等离子体处理装置主体内的基板搬入位置(B)；将处于基板搬入位置的薄膜基板搬入处理室(8)内；一边让处理室排气一边导入反应气体，在负压下外加高频电以产生等离子体，进行从薄膜基板除去有机物的等离子体处理；从处理室取出经所述等离子体处理的薄膜基板，使之位于等离子体处理装置主体内的基板搬出位置(C)，将之搬出于等离子体处理装置主体外。
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公开(公告)号：CN102351435B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201110147535.8
申请日：2011-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 铃木直树
Abstract: 本发明提供对于大面积基板中的每一批次尺寸误差或热膨胀造成的尺寸误差，能够高精度滴落的功能膜的涂覆方法。在通过对具有像素区域和配置在所述像素区域外侧的斥液部的基板，从喷嘴喷出墨液滴，而在所述像素区域形成功能膜的方法中，使墨液滴不仅落在所述像素区域，而且落在所述斥液部，并根据墨液滴落在所述斥液部的落点位置和墨液滴原本应落入的落点位置之差，校正墨从所述喷嘴喷出的喷出定时后，再进行涂覆。
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公开(公告)号：CN101908599A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010198700.8
申请日：2010-06-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B41J2/155 , B41J2/2139 , B41J2/2146 , B41J2202/09 , H01L51/0005
Abstract: 本发明提供一种即使在喷墨装置的喷嘴中产生不喷出喷嘴也不会降低生产性且能够形成均匀的涂敷膜的功能膜制造方法。在该功能膜制造方法中，在对被具有疏液性的划分区域(3)所包围的形成功能膜的喷出区域、通过一次扫描从多个喷嘴(6)喷出功能液(9)的液滴来进行涂敷的步骤中，当对一个喷出区域进行涂敷的多个喷嘴中存在不喷出喷嘴时，与不存在不喷出喷嘴时相比，增加从对该喷出区域进行涂敷的其他喷出喷嘴所喷出的所述功能液的液滴量。
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公开(公告)号：CN101766058A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200980100050.4
申请日：2009-05-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L51/0005 , H01L27/3211 , H01L27/3246 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供了在包含通过喷墨法涂敷形成的有机发光层的有机EL显示器中，抑制发光的条纹不均的方法。本发明的有机EL显示器的制造工序包括以下步骤：准备显示器基板，所述显示器基板具有相互平行的两个以上的线状隔堤以及配置在所述线状隔堤之间的区域内的两个以上的像素区域；配置喷墨头，使喷嘴的排列方向与所述线状隔堤的线方向平行；以及使喷墨头沿与所述线状隔堤的线方向垂直的方向相对移动，并对每个由所述线状隔堤规定的区域，从所述喷嘴滴出所述墨来进行涂敷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100450329C
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN03107731.5
申请日：2003-03-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H05K3/26
CPC classification number: H01L21/6838 , H01L21/6831 , H05K3/3489 , H05K3/381 , Y10S414/135 , Y10S414/139
Abstract: 提供一种将膜基板稳妥地放置到静电吸附式操作台上的膜基板处理装置。在该膜基板处理装置中，其将膜基板放置到静电吸附式操作台上的第1吸附部上设有吸附垫和将膜基板的端部区域朝操作台挤压的挤压部件。由此，可稳稳地将膜基板吸附于操作台上，在减压气氛下稳妥地对膜基板进行处理。
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公开(公告)号：CN1247322C
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN02145714.X
申请日：2002-10-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H05K3/26 , B08B7/0035 , H05K2203/095 , Y10S438/906 , Y10T156/14 , Y10T156/17
Abstract: 一种零件安装方法，是在腔室内干洗树脂系基板上的接合部位，然后在树脂基板上安装电子零件的方法，其特征在于，通过向上述腔室内的至少所述接合部位供给从含氢元素的气体和含氟元素的气体中选择的一种或二种气体，在被供给的气体中生成等离子体，并利用由生成的等离子体所产生的自由基或离子在上述腔室内洗涤上述基板的所述接合部位，在上述洗涤后向上述腔室内导入惰性气体，把上述基板的周围置换成惰性气体气氛，然后在上述洗涤后的接合部位上安装上述零件。本发明还涉及零件安装装置。
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公开(公告)号：CN1449234A
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：CN03107731.5
申请日：2003-03-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H05K3/26
CPC classification number: H01L21/6838 , H01L21/6831 , H05K3/3489 , H05K3/381 , Y10S414/135 , Y10S414/139
Abstract: 提供一种将膜基板稳妥地放置到静电吸附式操作台上的膜基板处理装置。在该膜基板处理装置中，其将膜基板放置到静电吸附式操作台上的第1吸附部上设有吸附垫和将膜基板的端部区域朝操作台挤压的挤压部件。由此，可稳稳地将膜基板吸附于操作台上，在减压气氛下稳妥地对膜基板进行处理。
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公开(公告)号：CN101766058B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200980100050.4
申请日：2009-05-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L51/0005 , H01L27/3211 , H01L27/3246 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供了在包含通过喷墨法涂敷形成的有机发光层的有机EL显示器中，抑制发光的条纹不均的方法。本发明的有机EL显示器的制造工序包括以下步骤：准备显示器基板，所述显示器基板具有相互平行的两个以上的线状隔堤以及配置在所述线状隔堤之间的区域内的两个以上的像素区域；配置喷墨头，使喷嘴的排列方向与所述线状隔堤的线方向平行；以及使喷墨头沿与所述线状隔堤的线方向垂直的方向相对移动，并对每个由所述线状隔堤规定的区域，从所述喷嘴滴出所述墨来进行涂敷。
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公开(公告)号：CN102351435A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110147535.8
申请日：2011-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 铃木直树
Abstract: 本发明提供对于大面积基板中的每一批次尺寸误差或热膨胀造成的尺寸误差，能够高精度滴落的功能膜的涂覆方法。在通过对具有像素区域和配置在所述像素区域外侧的斥液部的基板，从喷嘴喷出墨液滴，而在所述像素区域形成功能膜的方法中，使墨液滴不仅落在所述像素区域，而且落在所述斥液部，并根据墨液滴落在所述斥液部的落点位置和墨液滴原本应落入的落点位置之差，校正墨从所述喷嘴喷出的喷出定时后，再进行涂覆。
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