公开(公告)号：CN1247322C

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN02145714.X

申请日：2002-10-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 铃木直树 ,  中村洋一 ,  富田和之

IPC: B08B5/00 ,  B08B7/00 ,  B08B11/00

CPC classification number: H05K3/26 ,  B08B7/0035 ,  H05K2203/095 ,  Y10S438/906 ,  Y10T156/14 ,  Y10T156/17

Abstract: 一种零件安装方法，是在腔室内干洗树脂系基板上的接合部位，然后在树脂基板上安装电子零件的方法，其特征在于，通过向上述腔室内的至少所述接合部位供给从含氢元素的气体和含氟元素的气体中选择的一种或二种气体，在被供给的气体中生成等离子体，并利用由生成的等离子体所产生的自由基或离子在上述腔室内洗涤上述基板的所述接合部位，在上述洗涤后向上述腔室内导入惰性气体，把上述基板的周围置换成惰性气体气氛，然后在上述洗涤后的接合部位上安装上述零件。本发明还涉及零件安装装置。

公开(公告)号：CN1410174A

公开(公告)日：2003-04-16

申请号：CN02145714.X

申请日：2002-10-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 铃木直树 ,  中村洋一 ,  富田和之

IPC: B08B5/00 ,  B08B11/00

CPC classification number: H05K3/26 ,  B08B7/0035 ,  H05K2203/095 ,  Y10S438/906 ,  Y10T156/14 ,  Y10T156/17

Abstract: 一种在腔室内干洗树脂系基板上的接合部位的基板洗涤方法，其特征是，至少向上述腔室内的所述接合部位供给一种以上的选自含有氢元素的气体和含有氟元素的气体中的气体，在被供给的气体中生成等离子体，并利用由生成的等离子体所产生的自由基或离子在上述腔室内洗涤上述基板。本发明还涉及基板洗涤装置以及零件的安装方法。