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公开(公告)号:CN111902920A
公开(公告)日:2020-11-06
申请号:CN201980021326.3
申请日:2019-02-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/338 , H01L21/28 , H01L21/337 , H01L29/06 , H01L29/41 , H01L29/778 , H01L29/80 , H01L29/808 , H01L29/812
Abstract: 氮化物半导体装置(10)具备依次被设置的基板(12);漂移层(14);第1基础层(16);到达漂移层(14)的栅极开口部(22);沿着栅极开口部(22)的内表面设置的电子传输层(24)和电子供给层(26);以覆盖栅极开口部(22)的方式设置的栅极电极(30);延伸到第1基础层(16)的源极开口部(32);被设置在源极开口部(32)并且与第1基础层(16)连接的源极电极(34);被设置在基板(12)的背面侧的漏极电极(36);在基板(12)的最外周部(48),贯通电子传输层(24)和电子供给层(26)并延伸到第1基础层(16)的外周开口部(38);被设置在外周开口部(38),与第1基础层(16)连接,不与电子传输层(24)和电子供给层(26)接触的电位固定电极(40)。
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公开(公告)号:CN102341895A
公开(公告)日:2012-02-01
申请号:CN201080010283.8
申请日:2010-02-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/3205 , H01L21/822 , H01L23/52 , H01L27/04 , H01P3/08 , H01P11/00
CPC classification number: H01L23/5222 , H01L23/3114 , H01L23/5221 , H01L23/5225 , H01L23/525 , H01L23/5329 , H01L24/03 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/14 , H01L24/16 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/81 , H01L2224/0231 , H01L2224/0401 , H01L2224/05567 , H01L2224/05571 , H01L2224/061 , H01L2224/13021 , H01L2224/13022 , H01L2224/13024 , H01L2224/141 , H01L2224/45015 , H01L2224/451 , H01L2224/48227 , H01L2224/81191 , H01L2924/00014 , H01L2924/0002 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01029 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/04953 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/12041 , H01L2924/1305 , H01L2924/13091 , H01L2924/14 , H01L2924/1423 , H01L2924/20752 , H01L2924/30107 , H01L2924/3011 , H01L2924/3025 , H01P3/085 , H01P11/003 , H01L2924/00 , H01L2224/05552 , H01L2224/45099 , H01L2924/00015 , H01L2224/05599
Abstract: 提供一种半导体芯片,是将Si类半导体作为基板的MMIC等半导体芯片,具有低损耗的传送线路,容易连接到安装用电路基板上,且能够确保稳定的GND电位。该半导体芯片是倒装的半导体芯片(10),具备:Si基板(11);形成在Si基板(11)的主面上的集成电路(12);形成在集成电路(12)上方的介质膜(16);以及形成在介质膜(16)上表面的接地用导体膜(17),集成电路(12)包括由用于传送该集成电路(12)中的信号的信号线(15)构成的布线层(13a),由信号线(15)、介质膜(16)及导体膜(17)构成微带线。
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公开(公告)号:CN110168745A
公开(公告)日:2019-08-23
申请号:CN201780082127.4
申请日:2017-12-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L31/12
Abstract: 半导体继电器(10)具备发光元件(20)、以及与发光元件(20)相对而置受光元件(30)。受光元件(30)具备:衬底(31);被形成在衬底(31)上且具有半绝缘性的直接跃迁型半导体层(32);以至少一部分与半导体层(32)接触的方式而形成的第1电极(33);以及在与第1电极(33)相离的位置上以至少一部分与半导体层(32)接触的方式而形成的第2电极(34)。半导体层(32)通过吸收来自发光元件(20)的光而成为低电阻状态。
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公开(公告)号:CN102341895B
公开(公告)日:2014-01-29
申请号:CN201080010283.8
申请日:2010-02-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/3205 , H01L21/822 , H01L23/52 , H01L27/04 , H01P3/08 , H01P11/00
CPC classification number: H01L23/5222 , H01L23/3114 , H01L23/5221 , H01L23/5225 , H01L23/525 , H01L23/5329 , H01L24/03 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/14 , H01L24/16 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/81 , H01L2224/0231 , H01L2224/0401 , H01L2224/05567 , H01L2224/05571 , H01L2224/061 , H01L2224/13021 , H01L2224/13022 , H01L2224/13024 , H01L2224/141 , H01L2224/45015 , H01L2224/451 , H01L2224/48227 , H01L2224/81191 , H01L2924/00014 , H01L2924/0002 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01029 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/04953 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/12041 , H01L2924/1305 , H01L2924/13091 , H01L2924/14 , H01L2924/1423 , H01L2924/20752 , H01L2924/30107 , H01L2924/3011 , H01L2924/3025 , H01P3/085 , H01P11/003 , H01L2924/00 , H01L2224/05552 , H01L2224/45099 , H01L2924/00015 , H01L2224/05599
Abstract: 提供一种半导体芯片,是将Si类半导体作为基板的MMIC等半导体芯片,具有低损耗的传送线路,容易连接到安装用电路基板上,且能够确保稳定的GND电位。该半导体芯片是倒装的半导体芯片(10),具备:Si基板(11);形成在Si基板(11)的主面上的集成电路(12);形成在集成电路(12)上方的介质膜(16);以及形成在介质膜(16)上表面的接地用导体膜(17),集成电路(12)包括由用于传送该集成电路(12)中的信号的信号线(15)构成的布线层(13a),由信号线(15)、介质膜(16)及导体膜(17)构成微带线。
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