具有横向双极和BiCMOS的单片集成光子器件

    公开(公告)号:CN105990391A

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:CN201610159010.9

    申请日:2016-03-18

    Abstract: 在形成延伸通过顶部半导体层以及隐埋绝缘体层并且延伸到绝缘体上半导体(SOI)衬底的处理衬底中的第一沟槽之后,在第一沟槽内形成电介质波导材料堆叠,该电介质波导材料堆叠包括下电介质包覆层、核心层以及上电介质包覆层。接下来,在顶部半导体层的剩余部分中形成至少一个横向双极结型晶体管(BJT),其可以是PNP BJT、NPN BJT或者一对互补的PNP BJT和NPN BJT。在形成延伸通过电介质波导材料堆叠的第二沟槽以重新暴露第一沟槽的底部表面的一部分之后,在第二沟槽中形成激光二极管。

    互补双极型反相器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103563066A

    公开(公告)日:2014-02-05

    申请号:CN201280026281.7

    申请日:2012-04-15

    CPC classification number: H01L27/1203 H01L21/8228 H01L21/84 H01L27/082

    Abstract: 示例实施例是一种互补晶体管反相器电路。所述电路包括:绝缘体上半导体(SOI)衬底、被制造在所述SOI衬底上的横向PNP双极型晶体管和被制造在所述SOI衬底上的横向NPN双极型晶体管。横向PNP双极型晶体管包括PNP基极、PNP发射极和PNP集电极。横向NPN双极型晶体管包括NPN基极、NPN发射极和NPN集电极。PNP基极、PNP发射极、PNP集电极、NPN基极、NPN发射极和NPN集电极毗邻SOI衬底的掩埋绝缘体。

    具有多数载流子累积层作为子集电极的双极晶体管

    公开(公告)号:CN1258229C

    公开(公告)日:2006-05-31

    申请号:CN200310123110.9

    申请日:2003-12-17

    CPC classification number: H01L29/66265 H01L29/0821 H01L29/7317

    Abstract: 本发明公开了一种具有多数载流子累积层作为子集电极的双极晶体管。电子电路中包括的双极晶体管包括一个导电的背面电极、在该导电的背面电极上的绝缘层,以及在该绝缘层上的n型或者p型材料的半导体层。该半导体层包括用作集电极的掺杂区,以及与该掺杂区交界,用作所述绝缘层和集电极接点电极之间的透过区的重掺杂区。通过向背面电极施加偏压,在集电极的掺杂区中邻近绝缘层产生多数载流子累积层。

    半导体器件以及制造半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN101908561A

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN201010192411.7

    申请日:2010-05-27

    Abstract: 本发明涉及半导体器件以及制造半导体器件的方法。公开了一种半导体器件,其包括绝缘体上半导体衬底,所述绝缘体上半导体衬底包括掩埋的绝缘体层和上覆的半导体层。源极扩展区和漏极扩展区被形成在所述半导体层中。深漏极区和深源极区被形成在所述半导体层中。漏极金属-半导体合金接触位于所述深漏极区的上部上且端接所述漏极扩展区。源极金属-半导体合金接触端接所述源极扩展区。所述深源极区位于所述源极合金接触的第一部分之下且与其接触。所述深源极区不位于所述源极合金接触的第二部分之下且不与其接触,从而所述源极合金接触的所述第二部分是直接接触所述半导体层的内部体接触。

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