一种电喷雾推力器发射极的飞秒激光加工系统及方法

    公开(公告)号:CN119489275A

    公开(公告)日:2025-02-21

    申请号:CN202411576615.9

    申请日:2024-11-06

    Abstract: 本发明涉及一种电喷雾推力器发射极的飞秒激光加工系统及方法,包括:搭建飞秒激光加工系统;通过程控计算机调节精密三轴位移台,使得飞秒脉冲激光经聚焦物镜聚焦至多孔陶瓷加工样品表面;进行发射极结构粗加工,通过程控计算机控制振镜和精密三轴位移台,实现飞秒脉冲激光在多孔陶瓷加工样品表面联动扫描;进行发射极结构精加工,通过振镜实现飞秒脉冲激光在多孔陶瓷加工样品表面往复扫描,扫描过程中同时控制机械快门,实现锥形发射极结构区域免烧蚀;重复粗加工和精加工,对锥形发射极结构进行阵列化拓展;进行超声清洗。本发明克服了传统机械加工精度低,对于陶瓷材料存在崩边以及毛孔堵塞的问题,提高了电喷雾推力器工作寿命及比冲。

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