公开(公告)号：CN113310626B

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：CN202110578312.0

申请日：2021-05-26

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  柏向春 ,  闫睿 ,  董云宁 ,  田虎林 ,  魏萌萌 ,  杨振

IPC: G01L27/00

Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。

公开(公告)号：CN113310626A

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN202110578312.0

申请日：2021-05-26

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  柏向春 ,  闫睿 ,  董云宁 ,  田虎林 ,  魏萌萌 ,  杨振

IPC: G01L27/00

Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。