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公开(公告)号：CN118459219A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410657117.0
申请日：2024-05-25
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学
IPC: C04B35/468 , C04B35/626 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种单分散、晶相可控的纳米级钛酸钡粉体的制备方法，采用微波辅助水热方法制备，能够可控合成不同晶相的纳米级钛酸钡粉体。本发明的一种单分散、晶相可控的纳米级钛酸钡粉体的制备方法利用柠檬酸和油酸的协同作用，可以实现单分散、不同晶相且纳米级（200nm以下）的钛酸钡粉体的可控合成，且整体制备流程简单、原料易获取、设备要求不高且成本低廉，能够满足工业生产需求。
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公开(公告)号：CN118610161A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410911694.8
申请日：2024-07-09
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学 , 武汉工程大学
IPC: H01L21/768 , H01L23/532 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/04
Abstract: 本发明公开了一种铜互连集成电路的扩散阻挡层及其制备方法，提出新型非晶夹结晶三层结构扩散阻挡层，首先在Si或low‑K衬底上沉积一层非晶态二元合金层，其次在非晶态合金层上沉积结晶态合金层，最后在结晶态合金层上再沉积一层非晶态合金层，进而制备成三层结构的扩散阻挡层。本发明的一种铜互连集成电路的扩散阻挡层采用二元合金构建，相较于传统的氮化物陶瓷阻挡层来说与Cu的热膨胀系数更适配，且粘附性好，结合力强，无需再沉积金属粘附层；其制备方法采用双靶磁控溅射系统沉积扩散阻挡层，只需要调控双靶的溅射功率调控溅射元素的成分比以制备不同结晶形态的二元合金薄膜，沉积过程无需对系统中的原料进行更换调整，工艺简单，操作便捷。
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公开(公告)号：CN118374767A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410609892.9
申请日：2024-05-16
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供了一种用于大长径比管材的磁控溅射装置及其镀膜方法。磁控溅射装置包括管材、电动滑轨、键钮、进气管道、环形靶系统、滑轨传动装置以及真空系统：管材具有腔体；电动滑轨位于腔体内，开设有多个通孔；键钮填充于通孔中；进气管道与电动滑轨内连通；环形靶系统与电动滑轨滑动连接；滑轨传动装置位于管材的一端与电动滑轨传动连接；真空系统位于管材的另一端。本申请实施例通过在电动滑轨上设置键钮填充通孔，环形靶系统按压键钮即时连通并释放气体，其他键钮保持密封，提高了不同区域气体浓度的均匀性，解决了镀膜均匀性、稳定性不足的问题；设备结构简单，各系统之间相互独立，仪器的维修和查错方便。
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公开(公告)号：CN117051304A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311080095.8
申请日：2023-08-25
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学 , 武汉工程大学
Abstract: 本发明公开了一种高强韧铸态多主元合金及其制备方法，所述多主元合金由元素Al、Mo、Ta、Nb、Ti、Zr与Cr组成，通过备料、制备CrAl合金以及制备多主元合金等步骤，最终制得成分为Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZrCrx的高强韧铸态多主元合金。本发明的一种高强韧铸态多主元合金及其制备方法通过添加Cr的方法改善Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZr多主元合金的性能，Cr与原始合金Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZr具有同样的体心立方结构，且与其它组成元素相比，Cr具有原子半径较小、密度较低的特点，其能有效固溶至原有多主元合金晶格之中，降低原有体系的价电子浓度，从而提升其强度、硬度和极限应变，并降低其密度，实现轻质高强高韧，制备工艺简单。
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公开(公告)号：CN116103610A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211672173.9
申请日：2022-12-26
Applicant: 武汉理工大学 , 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 广东翔鹭钨业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高温稳定TiAlN梯度硬质涂层材料及其制备方法，所述TiAlN梯度硬质涂层材料从底部到表面Al含量均匀连续梯度增加，Ti含量均匀连续梯度减少。本发明提供的TiAlN梯度硬质涂层材料具有优异的高温稳定性能，结合力强，硬度高，能够延长刀具使用寿命，满足现代机械加工高效率、高精度、高可靠性的要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113603478A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110950743.5
申请日：2021-08-18
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心
IPC: C04B35/468 , C04B35/622
Abstract: 本发明公开了一种介电常数宽温稳定的钛酸钡基介电陶瓷，该介电陶瓷由基质组分和掺杂组分组成，基质组分的化学分子式为(1‑x)BaTi1‑yCayO3‑y‑xBi(Mg0.5Ti0.5)O3，x＝0.1～0.3，y＝0.04～0.05，掺杂组分的化学分子式为zNb2O5，z为以重量计为基质组分的1％～3％。本发明还提供了一种制备上述介电常数宽温稳定的钛酸钡基介电陶瓷的制备方法。本发明利用Ca2+的B位掺杂和Nb2O5两者的共同掺杂的作用，使得Bi(Mg1/2Ti1/2)O3‑BaTiO3体系具有高介电常数，且其低温段性能得到了很好的改善，拥有了宽的温度稳定性范围，也达到了X8R型电容器的要求，所得介电陶瓷有望作为陶瓷材料应用于新一代环境友好的介电常数宽温稳定的陶瓷。
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公开(公告)号：CN113603135A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110945194.2
申请日：2021-08-17
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心
IPC: C01G23/00
Abstract: 本发明公开了一种钇掺杂小尺寸钛酸钡纳米粉体的制备方法，具体步骤为：首先将钛酸四丁酯与油酸、短链醇类混合制得钛酸四丁酯溶液，将钡盐与无机碱、去离子水混合制得强碱性钡盐溶液，将硝酸钇溶解在去离子水中制得硝酸钇溶液。本发明的一种钇掺杂小尺寸钛酸钡纳米粉体的制备方法基于水热法，分别采用钛酸四丁酯作为固定钛源和氢氧化钡、硝酸钡等作为钡源，利用硝酸钇溶液提供的钇离子，并用油酸作表面活性剂制备出钇掺杂钛酸钡纳米颗粒。
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公开(公告)号：CN113511673A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110956384.4
申请日：2021-08-19
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心
IPC: C01G23/00
Abstract: 本发明公开了一种高轴率、高分散钛酸钡粉体的制备方法，包括如下步骤：制备钛溶胶；制备钡溶液；制备前驱体；封釜；水热反应；沉淀；离心；烘干，最终获得高轴率、高分散钛酸钡粉体。本发明的一种高轴率、高分散钛酸钡粉体的制备方法合成的粉体结晶好，分散性好，形貌规整，羟基缺陷少，不需要再烧过程即可获得高轴率钛酸钡粉体。不需要昂贵的设备，能耗低、工艺条件容易控制、成本低廉，易于工业化生产，在微电子器件、电光器件、高介材料等领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN222250936U
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202421069999.0
申请日：2024-05-16
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学
Abstract: 本实用新型提供了一种用于大长径比管材的磁控溅射装置。用于大长径比管材的磁控溅射装置包括管材、电动滑轨、键钮、进气管道、环形靶系统、滑轨传动装置以及真空系统：管材具有腔体；电动滑轨位于腔体内，开设有多个通孔；键钮填充于通孔中；进气管道与电动滑轨内连通；环形靶系统与电动滑轨滑动连接；滑轨传动装置位于管材的一端与电动滑轨传动连接；真空系统位于管材的另一端。本申请实施例通过在电动滑轨上设置键钮填充通孔，环形靶系统按压键钮即时连通并释放气体，其他键钮保持密封，提高了不同区域气体浓度的均匀性，解决了镀膜均匀性、稳定性不足的问题；设备结构简单，各系统之间相互独立，仪器的维修和查错方便。
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公开(公告)号：CN120057918A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202510215817.9
申请日：2025-02-26
Applicant: 武汉理工大学
IPC: C01B32/28 , C01B32/963
Abstract: 本发明提供了一种用熔盐法在金刚石表面低温生成碳化硅层的方法，通过以Mg2Si为硅源，在熔盐体系中低温生成均匀的碳化硅层，有效解决了现有技术中反应温度高、设备要求高的问题。该方法生成的碳化硅层均匀致密，显著改善了以金刚石为增强相复合材料的界面结合性，具有重要的应用前景。
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