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公开(公告)号：CN118610161A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410911694.8
申请日：2024-07-09
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学 , 武汉工程大学
IPC: H01L21/768 , H01L23/532 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/04
Abstract: 本发明公开了一种铜互连集成电路的扩散阻挡层及其制备方法，提出新型非晶夹结晶三层结构扩散阻挡层，首先在Si或low‑K衬底上沉积一层非晶态二元合金层，其次在非晶态合金层上沉积结晶态合金层，最后在结晶态合金层上再沉积一层非晶态合金层，进而制备成三层结构的扩散阻挡层。本发明的一种铜互连集成电路的扩散阻挡层采用二元合金构建，相较于传统的氮化物陶瓷阻挡层来说与Cu的热膨胀系数更适配，且粘附性好，结合力强，无需再沉积金属粘附层；其制备方法采用双靶磁控溅射系统沉积扩散阻挡层，只需要调控双靶的溅射功率调控溅射元素的成分比以制备不同结晶形态的二元合金薄膜，沉积过程无需对系统中的原料进行更换调整，工艺简单，操作便捷。
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公开(公告)号：CN118374767A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410609892.9
申请日：2024-05-16
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供了一种用于大长径比管材的磁控溅射装置及其镀膜方法。磁控溅射装置包括管材、电动滑轨、键钮、进气管道、环形靶系统、滑轨传动装置以及真空系统：管材具有腔体；电动滑轨位于腔体内，开设有多个通孔；键钮填充于通孔中；进气管道与电动滑轨内连通；环形靶系统与电动滑轨滑动连接；滑轨传动装置位于管材的一端与电动滑轨传动连接；真空系统位于管材的另一端。本申请实施例通过在电动滑轨上设置键钮填充通孔，环形靶系统按压键钮即时连通并释放气体，其他键钮保持密封，提高了不同区域气体浓度的均匀性，解决了镀膜均匀性、稳定性不足的问题；设备结构简单，各系统之间相互独立，仪器的维修和查错方便。
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公开(公告)号：CN117051304A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311080095.8
申请日：2023-08-25
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学 , 武汉工程大学
Abstract: 本发明公开了一种高强韧铸态多主元合金及其制备方法，所述多主元合金由元素Al、Mo、Ta、Nb、Ti、Zr与Cr组成，通过备料、制备CrAl合金以及制备多主元合金等步骤，最终制得成分为Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZrCrx的高强韧铸态多主元合金。本发明的一种高强韧铸态多主元合金及其制备方法通过添加Cr的方法改善Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZr多主元合金的性能，Cr与原始合金Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZr具有同样的体心立方结构，且与其它组成元素相比，Cr具有原子半径较小、密度较低的特点，其能有效固溶至原有多主元合金晶格之中，降低原有体系的价电子浓度，从而提升其强度、硬度和极限应变，并降低其密度，实现轻质高强高韧，制备工艺简单。
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公开(公告)号：CN116103610A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211672173.9
申请日：2022-12-26
Applicant: 武汉理工大学 , 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 广东翔鹭钨业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高温稳定TiAlN梯度硬质涂层材料及其制备方法，所述TiAlN梯度硬质涂层材料从底部到表面Al含量均匀连续梯度增加，Ti含量均匀连续梯度减少。本发明提供的TiAlN梯度硬质涂层材料具有优异的高温稳定性能，结合力强，硬度高，能够延长刀具使用寿命，满足现代机械加工高效率、高精度、高可靠性的要求。
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公开(公告)号：CN222250936U
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202421069999.0
申请日：2024-05-16
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学
Abstract: 本实用新型提供了一种用于大长径比管材的磁控溅射装置。用于大长径比管材的磁控溅射装置包括管材、电动滑轨、键钮、进气管道、环形靶系统、滑轨传动装置以及真空系统：管材具有腔体；电动滑轨位于腔体内，开设有多个通孔；键钮填充于通孔中；进气管道与电动滑轨内连通；环形靶系统与电动滑轨滑动连接；滑轨传动装置位于管材的一端与电动滑轨传动连接；真空系统位于管材的另一端。本申请实施例通过在电动滑轨上设置键钮填充通孔，环形靶系统按压键钮即时连通并释放气体，其他键钮保持密封，提高了不同区域气体浓度的均匀性，解决了镀膜均匀性、稳定性不足的问题；设备结构简单，各系统之间相互独立，仪器的维修和查错方便。
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公开(公告)号：CN119753643A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411750285.0
申请日：2024-12-02
Applicant: 武汉理工大学
IPC: C23C16/511 , C23C16/02 , C23C16/32 , C23C16/27
Abstract: 本发明涉及金刚石涂层技术领域，提出了一种碳化物过渡层‑金刚石层的复合层结构及其制备方法。所述碳化物过渡层‑金刚石层的复合层结构包括：钽基体；沉积于所述钽基体表面的碳化物梯度层，所述碳化物梯度层中C原子含量向所述钽基体方向逐渐减少；沉积于所述碳化物梯度层表面的金刚石层。本发明通过对钽基体进行等离子体碳化处理，在基体表面制备出成分梯度分布和结构平稳过渡的碳化物层，碳化物层的表层提供能与金刚石层原子级紧密结合的C‑C键，从而实现基体材料与金刚石层的高结合强度。同时由于碳化物层的热膨胀系数处于膜基热膨胀系数之间，表现出梯度变化，能够起到减低膜基内应力的作用。
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公开(公告)号：CN117721423A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311667918.7
申请日：2023-12-05
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明公开一种高致密度难熔金属多主元合金靶材及其制备与应用，包括以下步骤：S1.将高熔点金属粉体加入至有机溶剂中，再加入分散剂及粘接剂后，球磨，得有机浆料；高熔点金属粉体的熔点大于等于1907℃，高熔点金属粉体中的元素种类大于等于4种；S2.将有机浆料进行带式浇筑、烘干定型后，切片，得到薄膜片；S3.将薄膜片进行排胶，得到排胶薄膜；S4.在真空气氛下，将排胶薄膜利用放电等离子烧结技术进行致密化，即得高致密度难熔金属多主元合金靶材；采用球磨、带式浇筑、放电等离子烧结的工艺流程，有效提升难熔金属多主元合金靶材的致密度及纯度，其制备过程中实现化学计量比准确可控的特点。
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公开(公告)号：CN115611242B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202211220580.6
申请日：2022-10-08
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明涉及金属氮化物技术领域，尤其涉及一种难熔金属高熵氮化物粉体及其制备方法。这种制备方法，包括以下步骤：使用电弧熔炼的方法将原料熔炼，制得难熔金属高熵合金块体；所述原料包括至少四种难熔金属；对所述难熔金属高熵合金块体进行氮化处理，得到难熔金属高熵氮化物粉体。本申请能够获得单一物相的难熔金属高熵氮化物粉体，而非二元或者三元氮化物的混合物，且各元素分布均匀，纯度高。
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公开(公告)号：CN112853139B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202110063393.0
申请日：2021-01-18
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供一种铁铝系金属间化合物多孔材料的制备方法，利用粉末烧结及由此引起的原位多重去合金效应制备。该方法以铁粉、铝镁合金粉和镁粉为原料，通过对压坯进行多段升温和保温，协同利用以下两种方法在高真空环境中制备：1）铝镁合金粉在烧结过程中形成的低温瞬时液相与元素铁粉反应，实现铁铝系金属间化合物的低温形成，同时产生原位液相脱合金造孔效应；2）镁组元升华或挥发引发的气相脱合金造孔。铝镁合金粉末在低温形成的瞬时液相与铁产生的脱合金效应加速了铁铝金属间化合物的形成，缩短了烧结周期，且可避免传统造孔剂对铁铝金属间化合物成分的污染。制得的多孔材料孔径在10~100μm之间，开孔隙率和总孔隙率分别可达50%和60%以上。
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公开(公告)号：CN111804917A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010474658.1
申请日：2020-05-29
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于元素反应/扩散原理的提升“金属升华造孔法”造孔效率的方法，包括有以下步骤：a.待造孔样品在制备过程中加入一定比例的一种或多种易升华金属造孔元素，制备完成后，将其放进高真空炉的炉膛内；b.在烧结室内安装蒸气吸收载物台，在蒸气吸收载物台上添加压制好的可与升华金属元素反应的反应物；c.在具有高真空度的烧结炉中对样品进行烧结，使样品内部和表面形成孔洞；升华出的金属蒸汽与蒸气吸收载物台上的反应物进行反应，加速反应进程，提高孔隙形成效率，获得高孔隙率的多孔材料。该方法具有工艺过程简单，成本低廉，通用性强等特点，可广泛应用于利用易升华金属元素造孔制备多孔材料领域。
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