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公开(公告)号：CN118374767A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410609892.9
申请日：2024-05-16
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供了一种用于大长径比管材的磁控溅射装置及其镀膜方法。磁控溅射装置包括管材、电动滑轨、键钮、进气管道、环形靶系统、滑轨传动装置以及真空系统：管材具有腔体；电动滑轨位于腔体内，开设有多个通孔；键钮填充于通孔中；进气管道与电动滑轨内连通；环形靶系统与电动滑轨滑动连接；滑轨传动装置位于管材的一端与电动滑轨传动连接；真空系统位于管材的另一端。本申请实施例通过在电动滑轨上设置键钮填充通孔，环形靶系统按压键钮即时连通并释放气体，其他键钮保持密封，提高了不同区域气体浓度的均匀性，解决了镀膜均匀性、稳定性不足的问题；设备结构简单，各系统之间相互独立，仪器的维修和查错方便。
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公开(公告)号：CN222250936U
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202421069999.0
申请日：2024-05-16
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学
Abstract: 本实用新型提供了一种用于大长径比管材的磁控溅射装置。用于大长径比管材的磁控溅射装置包括管材、电动滑轨、键钮、进气管道、环形靶系统、滑轨传动装置以及真空系统：管材具有腔体；电动滑轨位于腔体内，开设有多个通孔；键钮填充于通孔中；进气管道与电动滑轨内连通；环形靶系统与电动滑轨滑动连接；滑轨传动装置位于管材的一端与电动滑轨传动连接；真空系统位于管材的另一端。本申请实施例通过在电动滑轨上设置键钮填充通孔，环形靶系统按压键钮即时连通并释放气体，其他键钮保持密封，提高了不同区域气体浓度的均匀性，解决了镀膜均匀性、稳定性不足的问题；设备结构简单，各系统之间相互独立，仪器的维修和查错方便。
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公开(公告)号：CN119880992A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510155240.7
申请日：2025-02-12
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明公开了一种激光烧蚀行为测试系统，包括壳体、样品装载组件、激光发生组件以及测试组件，壳体形成有密闭的腔体，样品装载组件内置于壳体，并具有至少一个用于装载样品的装载位，激光发生组件的激光发射端朝向装载位设置，测试组件包括气体检测件、视频采集件及温度检测件，气体检测件的采集端与腔体的内部相连通，视频采集件的采集端朝向装载位设置，温度检测件连接于壳体，用于检测装载位的温度。本发明能有效的解决因烧蚀测试装置仅具有单一的功能性测试，从而导致难以满足高精度实验需求的问题。
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