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公开(公告)号：CN118610161A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410911694.8
申请日：2024-07-09
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学 , 武汉工程大学
IPC: H01L21/768 , H01L23/532 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/04
Abstract: 本发明公开了一种铜互连集成电路的扩散阻挡层及其制备方法，提出新型非晶夹结晶三层结构扩散阻挡层，首先在Si或low‑K衬底上沉积一层非晶态二元合金层，其次在非晶态合金层上沉积结晶态合金层，最后在结晶态合金层上再沉积一层非晶态合金层，进而制备成三层结构的扩散阻挡层。本发明的一种铜互连集成电路的扩散阻挡层采用二元合金构建，相较于传统的氮化物陶瓷阻挡层来说与Cu的热膨胀系数更适配，且粘附性好，结合力强，无需再沉积金属粘附层；其制备方法采用双靶磁控溅射系统沉积扩散阻挡层，只需要调控双靶的溅射功率调控溅射元素的成分比以制备不同结晶形态的二元合金薄膜，沉积过程无需对系统中的原料进行更换调整，工艺简单，操作便捷。
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公开(公告)号：CN118374767A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410609892.9
申请日：2024-05-16
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供了一种用于大长径比管材的磁控溅射装置及其镀膜方法。磁控溅射装置包括管材、电动滑轨、键钮、进气管道、环形靶系统、滑轨传动装置以及真空系统：管材具有腔体；电动滑轨位于腔体内，开设有多个通孔；键钮填充于通孔中；进气管道与电动滑轨内连通；环形靶系统与电动滑轨滑动连接；滑轨传动装置位于管材的一端与电动滑轨传动连接；真空系统位于管材的另一端。本申请实施例通过在电动滑轨上设置键钮填充通孔，环形靶系统按压键钮即时连通并释放气体，其他键钮保持密封，提高了不同区域气体浓度的均匀性，解决了镀膜均匀性、稳定性不足的问题；设备结构简单，各系统之间相互独立，仪器的维修和查错方便。
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公开(公告)号：CN117051304A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311080095.8
申请日：2023-08-25
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学 , 武汉工程大学
Abstract: 本发明公开了一种高强韧铸态多主元合金及其制备方法，所述多主元合金由元素Al、Mo、Ta、Nb、Ti、Zr与Cr组成，通过备料、制备CrAl合金以及制备多主元合金等步骤，最终制得成分为Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZrCrx的高强韧铸态多主元合金。本发明的一种高强韧铸态多主元合金及其制备方法通过添加Cr的方法改善Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZr多主元合金的性能，Cr与原始合金Al0.5Mo0.5NbTa0.5TiZr具有同样的体心立方结构，且与其它组成元素相比，Cr具有原子半径较小、密度较低的特点，其能有效固溶至原有多主元合金晶格之中，降低原有体系的价电子浓度，从而提升其强度、硬度和极限应变，并降低其密度，实现轻质高强高韧，制备工艺简单。
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公开(公告)号：CN222250936U
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202421069999.0
申请日：2024-05-16
Applicant: 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 , 武汉理工大学
Abstract: 本实用新型提供了一种用于大长径比管材的磁控溅射装置。用于大长径比管材的磁控溅射装置包括管材、电动滑轨、键钮、进气管道、环形靶系统、滑轨传动装置以及真空系统：管材具有腔体；电动滑轨位于腔体内，开设有多个通孔；键钮填充于通孔中；进气管道与电动滑轨内连通；环形靶系统与电动滑轨滑动连接；滑轨传动装置位于管材的一端与电动滑轨传动连接；真空系统位于管材的另一端。本申请实施例通过在电动滑轨上设置键钮填充通孔，环形靶系统按压键钮即时连通并释放气体，其他键钮保持密封，提高了不同区域气体浓度的均匀性，解决了镀膜均匀性、稳定性不足的问题；设备结构简单，各系统之间相互独立，仪器的维修和查错方便。
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公开(公告)号：CN119753606A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411971220.9
申请日：2024-12-30
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于中小口径深内孔细长管内壁的镀膜装置及方法，属于镀膜技术领域。该镀膜设备由控制单元和镀膜单元组成。控制单元包括真空室和进气系统，其中真空室用于安装及放置管并提供真空环境，进气系统则用于向真空室内注入工作气体。镀膜单元由靶材、磁线圈和驱动机构构成，靶材安装在管内部的中心轴线上。磁线圈为镀膜装置提供均匀的磁场环境，驱动机构的输出端与靶材以及磁线圈机械连接，确保靶材和磁线圈之间的同步传动控制。本发明特别适用于40mm及以下口径深内孔细长管内壁的快速、高效镀膜，且膜层质量优良。靶材中的磁芯外置，有利于减小靶材直径，简化拆卸与安装，降低制造难度和成本，进而提高经济效益。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119457068A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411460687.7
申请日：2024-10-18
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提出了一种圆形蜂窝芯结构及其制作方法，涉及蜂窝芯技术领域，所述制作方法包括如下操作步骤：S1、提供多个圆形金属管，并对每个金属管的外周壁同一位置均开设凹槽；S2、将多个金属管阵列排布成蜂窝状；S3、使用金属纤维缠绕在凹槽中将多个金属管彼此连接在一起，形成预成型品；S4、对所述预成型品进行烧结，使金属管连接处通过烧结固定在一起得到圆形蜂窝芯结构。本发明通过金属纤维缠绕和烧结的方式，摆脱了刚玉坩埚的限制，可以制作不同尺寸的圆形蜂窝芯，提升了生产的灵活性，减少了材料浪费和资源消耗，降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN114686803B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202210279445.2
申请日：2022-03-22
Applicant: 武汉理工大学
IPC: C23C12/00
Abstract: 本发明提供一种微波等离子体化学气相沉积制备的三元氮化物涂层及方法，属于涂层制备技术领域。一种微波等离子体化学气相沉积的三元氮化物涂层，所述三元氮化物涂层的分子形式为M1‑xDxNy。一种微波等离子体化学气相沉积制备三元氮化物涂层的方法，包括以下步骤；（1）基体清洗、预处理；（2）进行第一次微波等离子体化学气相沉积，金属基体表面形成固溶体和或金属间化合物；（3）进行第二次微波等离子体化学气相沉积，开始沉积三元氮化物涂层。本发明中的三元氮化物涂层中均匀分布微量固溶体或金属间化合物，起到弥散强化、增强涂层性能的作用，涂层表现出更优的高温服役特性；本发明中的方法具有更高的沉积效率，能获得较厚的三元氮化物涂层。
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公开(公告)号：CN113618063B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202110879873.4
申请日：2021-08-02
Applicant: 武汉理工大学
IPC: B22F3/11 , B22F3/02 , B22F3/10 , C22C1/08 , C22C14/00 , C22C19/03 , C22C21/06 , C22C27/04 , C22C38/02 , C22C38/06
Abstract: 本发明公开了一种通孔新型金属基复合泡沫材料及其制备方法，本方案中复合泡沫材料包括用以形成金属管阵列的金属管、填充于金属管间隙的粉末，其制备方法为：用纤维将金属管固定成为金属管阵列，将粉末与金属管阵列骨架交替叠加填充于模具中，压制成型；至少重复以上步骤两次，得到预制体压坯；真空烧结预制体压坯并保温，得通孔新型金属基复合泡沫材料，所制备的泡沫金属孔隙结构、孔隙分布、孔径大小可控，无需使用造孔剂进行造孔，泡沫金属的机械力学性能好。
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公开(公告)号：CN115007519A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210633650.4
申请日：2022-06-06
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明涉及机械加工技术领域，且公开了一种机械加工用机械零件去油装器及其使用方法，箱体的下端设置有四个支撑腿，且箱体的下端位于四个支撑腿之间的位置设置有电机，且箱体的上端设置有盖板，且箱体内部的四个方向的内壁上设置有喷水装置，且箱体的底端设置有滑油板，且滑油板的上端设置有旋转装置，且旋转装置的上端设置有四个清洁刷，盖板的内部设置有进水通道，且箱体的侧端开设有出油口，且箱体的侧端对应出油口的位置设置有集油箱，该机械加工用机械零件去油装置中的清洁刷，可以通过旋转圆盘的转动带动清洁刷进行旋转，对机械零件进行旋转刷洗，方便对机械零件上的油渍清洗的更加干净。
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公开(公告)号：CN112853139A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110063393.0
申请日：2021-01-18
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供一种铁铝系金属间化合物多孔材料的制备方法，利用粉末烧结及由此引起的原位多重去合金效应制备。该方法以铁粉、铝镁合金粉和镁粉为原料，通过对压坯进行多段升温和保温，协同利用以下两种方法在高真空环境中制备：1）铝镁合金粉在烧结过程中形成的低温瞬时液相与元素铁粉反应，实现铁铝系金属间化合物的低温形成，同时产生原位液相脱合金造孔效应；2）镁组元升华或挥发引发的气相脱合金造孔。铝镁合金粉末在低温形成的瞬时液相与铁产生的脱合金效应加速了铁铝金属间化合物的形成，缩短了烧结周期，且可避免传统造孔剂对铁铝金属间化合物成分的污染。制得的多孔材料孔径在10~100μm之间，开孔隙率和总孔隙率分别可达50%和60%以上。
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