微波等离子体处理装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1029992C

    公开(公告)日:1995-10-11

    申请号:CN89103425.0

    申请日:1989-05-25

    CPC classification number: H01J37/32357 H05H1/46

    Abstract: 一种微波等离子体处理装置包括真空容器,靠微波传输电路把微波导入该容器的装置,向容器内供给原料气体的装置,将容器抽空的装置和样品支架,微波传输电路中设置有与两个匹配电路成一体的空腔谐振器,谐振器外侧设有磁场产生器。该装置的主要特点是:用调节谐振器长度的塞子和圆筒形滑动隔膜、E-H或三短截线式调谐器使匹配容易进行;谐振器内设一钟罩以激励TM模式;在谐振器外安装磁场产生器以提供高磁通密度区域。

    微波等离子体处理装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1038673A

    公开(公告)日:1990-01-10

    申请号:CN89103425.0

    申请日:1989-05-25

    CPC classification number: H01J37/32357 H05H1/46

    Abstract: 一种微波等离子体处理装置包括真空容器、靠微波传输电路把微波导入该容器的装置、向容器内供给原料气体的装置、将容器抽空的装置和样品支架,微波传输电路中设置有与两个匹配电路成一体的空腔谐振器,谐振器外侧设有磁场产生器。该装置的主要特点是:用调节谐振器长度的塞子和圆筒形滑动隔膜、E-H或三短截线式调谐器使匹配容易进行;谐振器内设一钟罩以激励TM模式;在谐振器外安装磁场产生器以提供高磁通密度区域。

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