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公开(公告)号：CN120003168A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202411604926.1
申请日：2024-11-12
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供液体排出装置、液体排出方法以及物品制造方法。液体排出装置对用于制造具有多个像素的显示器面板的基板排出液体，其特征在于，液体排出装置具有：排出头，排出液体；驱动机构，相对于排出头相对地驱动基板；以及控制部，控制排出头和驱动机构以便一边多次地进行使基板相对于排出头在第1方向相对地扫描的扫描驱动一边在各扫描驱动中向基板上成为像素区域的目标区域供给液体，排出头包括在与第1方向交叉的第2方向排列用以排出液体的多个喷嘴，控制部基于与目标区域的第1方向的宽度相关的宽度信息以及与多个喷嘴中能同时使用的喷嘴间的第2方向的距离相关的距离信息，确定应进行扫描驱动的扫描次数以便向目标区域供给预定量的液体。
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公开(公告)号：CN109932870A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201811521277.3
申请日：2018-12-13
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本公开涉及测量方法、测量装置、曝光装置以及物品制造方法。测量方法具有：第1工序，将把具有多个第1标记的第1图案转印到基板的拍摄区曝光，一边以不产生与相邻拍摄区的重复的方式在行方向以及列方向上分别错开一边进行多次，从而在行方向以及列方向上分别形成多个第1图案；第2工序，将把具有多个第2标记和位于该多个第2标记的周边的多个周边标记的第2图案转印到基板的拍摄区曝光，一边以使相邻拍摄区的一部分区域重复的方式在行方向以及列方向上分别错开一边进行多次，从而在行方向以及列方向上分别形成多个第2图案；以及第3工序，根据转印到基板的第1标记与第2标记的偏离量和一部分区域中的周边标记彼此的偏离量求出畸变。
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公开(公告)号：CN113050394B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202011526977.9
申请日：2020-12-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F9/00
Abstract: 本公开涉及曝光装置以及物品制造方法。曝光装置具备：照明系统，对配置于被照明面的掩模进行照明；投影光学系统，将掩模的图像投影到基板；基板载置台，支承基板；传感器，搭载于基板载置台；以及控制部，控制传感器。控制部实施多次检测处理，检测处理是使用传感器检测从配置于被照明面的多个标志选择的至少2个标志的成像位置的处理，在检测处理与检测处理之间，实施使搭载有传感器的基板载置台移动的移动处理。以使在移动处理之前的检测处理中从所述多个标志选择的至少2个标志的一部分和在移动处理之后的检测处理中从所述多个标志选择的至少2个标志的一部分共同的方式，实施移动处理中的基板载置台的移动。
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公开(公告)号：CN118190802A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202311686949.7
申请日：2023-12-08
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01N21/01 , G01N21/892 , G01B11/00
Abstract: 本发明涉及具备2个位置检测器的装置以及物品制造方法。装置具备：第1位置检测器，用于检测第1构件的第1检测对象的位置；以及第2位置检测器，用于检测与所述第1构件对置配置的第2构件的第2检测对象的位置。所述第1位置检测器能够包括第1图像传感器和在所述第1图像传感器的摄像面形成所述第1检测对象的像的第1光学系统。所述第2位置检测器能够包括第2图像传感器和在所述第2图像传感器的摄像面形成所述第2检测对象的像的第2光学系统。所述第1位置检测器和所述第2位置检测器能够构成为能利用所述第2图像传感器经由所述第1光学系统和所述第2光学系统拍摄所述第1图像传感器。
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公开(公告)号：CN116648773A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202180082084.6
申请日：2021-12-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/02
Abstract: 一种被配置成生成用于对控制目标进行控制的控制信号的控制装置，包括：第一补偿单元，被配置成基于控制目标的控制偏差来生成第一信号；校正设备，被配置成使用多个调节单元中的一个调节单元来校正控制偏差，每个调节单元被配置成通过根据如下的计算公式校正控制偏差来生成校正信号，所述计算公式的一个或更多个系数能够被调节；第二补偿单元，被配置成基于校正信号、通过使用神经网络来生成第二信号；以及计算单元，被配置成基于第一信号和第二信号来生成控制信号。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN109932870B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201811521277.3
申请日：2018-12-13
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本公开涉及测量方法、测量装置、曝光装置以及物品制造方法。测量方法具有：第1工序，将把具有多个第1标记的第1图案转印到基板的拍摄区曝光，一边以不产生与相邻拍摄区的重复的方式在行方向以及列方向上分别错开一边进行多次，从而在行方向以及列方向上分别形成多个第1图案；第2工序，将把具有多个第2标记和位于该多个第2标记的周边的多个周边标记的第2图案转印到基板的拍摄区曝光，一边以使相邻拍摄区的一部分区域重复的方式在行方向以及列方向上分别错开一边进行多次，从而在行方向以及列方向上分别形成多个第2图案；以及第3工序，根据转印到基板的第1标记与第2标记的偏离量和一部分区域中的周边标记彼此的偏离量求出畸变。
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公开(公告)号：CN113050394A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202011526977.9
申请日：2020-12-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F9/00
Abstract: 本公开涉及曝光装置以及物品制造方法。曝光装置具备：照明系统，对配置于被照明面的掩模进行照明；投影光学系统，将掩模的图像投影到基板；基板载置台，支承基板；传感器，搭载于基板载置台；以及控制部，控制传感器。控制部实施多次检测处理，检测处理是使用传感器检测从配置于被照明面的多个标志选择的至少2个标志的成像位置的处理，在检测处理与检测处理之间，实施使搭载有传感器的基板载置台移动的移动处理。以使在移动处理之前的检测处理中从所述多个标志选择的至少2个标志的一部分和在移动处理之后的检测处理中从所述多个标志选择的至少2个标志的一部分共同的方式，实施移动处理中的基板载置台的移动。
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公开(公告)号：CN118544691A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410186027.8
申请日：2024-02-20
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供液体供给装置、液体供给方法以及物品制造方法，提供了有利于高精度地向基板上供给液滴的技术。向基板上供给液体的液体供给装置具备：加热所述液体并将所述液体作为液滴喷出的喷出部；以及对一边使所述基板和所述喷出部相对地扫描一边使所述喷出部喷出所述液滴的处理进行控制的控制部，所述控制部控制所述处理，以便基于因所述喷出部的热的影响引起的所述基板的变形量，校正从所述喷出部喷出的所述液滴在所述基板上的附着位置的偏差。
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公开(公告)号：CN118181957A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202311714795.8
申请日：2023-12-14
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤正裕
Abstract: 本发明提供液体喷出装置、液体喷出方法、物品制造方法及数据结构。液体喷出装置具备：喷出头，具有喷出液体的多个喷嘴；驱动机构，使所述喷出头和所述基板相对地扫描；以及控制部，控制所述喷出头，以按照反复次数数据反复进行按照基本喷出数据从所述喷出头喷出液体的动作，所述基本喷出数据用于控制来自所述喷出头的液体相对于由包括第一目标区域和第二目标区域的多个目标区域构成的单位区域的喷出，所述多个喷嘴被配置成，相对于所述第一目标区域和所述第二目标区域中的每一个分配由至少2个喷嘴构成的喷嘴组，所述控制部控制所述喷嘴组，以使基于所述喷嘴组的液体的喷出图案在所述第一目标区域和所述第二目标区域不同。
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