液体吐出装置、物品制造方法、控制方法、以及存储介质

    公开(公告)号:CN119159913A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202410764249.3

    申请日:2024-06-14

    Inventor: 猪股裕也

    Abstract: 本公开涉及液体吐出装置、物品制造方法、控制方法、以及存储介质。液体吐出装置具备:多个吐出部,分别具有包括吐出孔的液室、和对液室内施加压力而使液滴从吐出孔吐出的压电元件;检测部,关于多个吐出部各个,检测表示起因于使压电元件动作而产生的液室内的振动的信号;以及控制部,控制多个吐出部各个,在多个吐出部中,由检测部检测的信号相互不同,并且根据该信号的差异而液滴的吐出状态相互不同,控制部根据与信号和吐出状态的组有关的多个吐出部之间的差异,事先生成信号和吐出状态的相关信息,在多个吐出部中共同地使用相关信息,根据检测部的检测结果,针对每个吐出部推测由于经时劣化而变化的吐出状态。

    排出装置、基板处理装置以及物品制造方法

    公开(公告)号:CN118238513A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202311748628.5

    申请日:2023-12-19

    Inventor: 猪股裕也

    Abstract: 本发明提供排出装置、基板处理装置以及物品制造方法。处理部通过将选择多个波形信息中的第1波形信息的第1选择信息提供给驱动电路,由驱动电路按照第1波形信息分别驱动组合所含的喷嘴,针对目标区域多次进行排出液体的动作而进行排出处理,在正进行排出处理的期间,在从组合所含的喷嘴检测到液体的排出不良的不良喷嘴的场合,将向驱动电路提供的选择信息从第1选择信息改写为选择补充不良喷嘴应排出的液体的排出量的第2波形信息的第2选择信息,以便按照第2波形信息驱动组合所含的喷嘴中的与不良喷嘴不同的其他喷嘴而针对目标区域进行排出液体的动作。

    控制装置、调节方法、光刻装置和物品制造方法

    公开(公告)号:CN116648773A

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202180082084.6

    申请日:2021-12-07

    Abstract: 一种被配置成生成用于对控制目标进行控制的控制信号的控制装置,包括:第一补偿单元,被配置成基于控制目标的控制偏差来生成第一信号;校正设备,被配置成使用多个调节单元中的一个调节单元来校正控制偏差,每个调节单元被配置成通过根据如下的计算公式校正控制偏差来生成校正信号,所述计算公式的一个或更多个系数能够被调节;第二补偿单元,被配置成基于校正信号、通过使用神经网络来生成第二信号;以及计算单元,被配置成基于第一信号和第二信号来生成控制信号。

Patent Agency Ranking