公开(公告)号：CN115453830A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202210627110.5

申请日：2022-06-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 诸冈祐平 ,  原佑辅 ,  小林威宣 ,  麦仓裕次 ,  鸟波祐记

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供测量装置、光刻装置和物品的制造方法，该测量装置测量物体的位置，其特征在于，具有：摄像部，对设置于所述物体的标记进行拍摄，获取包括所述标记的像在内的光学像的模拟数据；以及处理部，求出所述标记的位置，所述处理部将由所述摄像部获取的所述模拟数据变换为包括所述光学像的亮度在内的数字数据，在所述数字数据中，调整包括所述标记的像在内的标记区域的亮度与除了所述标记区域以外的区域的亮度之差，基于调整了所述差的所述数字数据，求出所述标记的位置。

公开(公告)号：CN113296366A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202110140238.4

申请日：2021-02-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 朝仓康伸 ,  畑智康 ,  森川宽 ,  伊藤正裕 ,  诸冈祐平 ,  猪股裕也 ,  石井祐二 ,  桥本拓海 ,  有井俊郎

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供有利于降低对象物体的振动的技术。提供控制对象物体的振动的振动控制装置。振动控制装置具有：传感器，检测所述对象物体的位移、速度、加速度中的至少1个物理量；自适应滤波器，根据由所述传感器检测到的所述物理量，生成用于降低所述振动的控制信号；以及扬声器，输出与所述控制信号对应的控制音。