公开(公告)号：CN113050394B

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202011526977.9

申请日：2020-12-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤正裕 ,  畑智康 ,  有井俊郎 ,  草柳博一

IPC: G03F9/00

Abstract: 本公开涉及曝光装置以及物品制造方法。曝光装置具备：照明系统，对配置于被照明面的掩模进行照明；投影光学系统，将掩模的图像投影到基板；基板载置台，支承基板；传感器，搭载于基板载置台；以及控制部，控制传感器。控制部实施多次检测处理，检测处理是使用传感器检测从配置于被照明面的多个标志选择的至少2个标志的成像位置的处理，在检测处理与检测处理之间，实施使搭载有传感器的基板载置台移动的移动处理。以使在移动处理之前的检测处理中从所述多个标志选择的至少2个标志的一部分和在移动处理之后的检测处理中从所述多个标志选择的至少2个标志的一部分共同的方式，实施移动处理中的基板载置台的移动。

公开(公告)号：CN113296366A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202110140238.4

申请日：2021-02-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 朝仓康伸 ,  畑智康 ,  森川宽 ,  伊藤正裕 ,  诸冈祐平 ,  猪股裕也 ,  石井祐二 ,  桥本拓海 ,  有井俊郎

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供有利于降低对象物体的振动的技术。提供控制对象物体的振动的振动控制装置。振动控制装置具有：传感器，检测所述对象物体的位移、速度、加速度中的至少1个物理量；自适应滤波器，根据由所述传感器检测到的所述物理量，生成用于降低所述振动的控制信号；以及扬声器，输出与所述控制信号对应的控制音。

公开(公告)号：CN113050394A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN202011526977.9

申请日：2020-12-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤正裕 ,  畑智康 ,  有井俊郎 ,  草柳博一

IPC: G03F9/00

Abstract: 本公开涉及曝光装置以及物品制造方法。曝光装置具备：照明系统，对配置于被照明面的掩模进行照明；投影光学系统，将掩模的图像投影到基板；基板载置台，支承基板；传感器，搭载于基板载置台；以及控制部，控制传感器。控制部实施多次检测处理，检测处理是使用传感器检测从配置于被照明面的多个标志选择的至少2个标志的成像位置的处理，在检测处理与检测处理之间，实施使搭载有传感器的基板载置台移动的移动处理。以使在移动处理之前的检测处理中从所述多个标志选择的至少2个标志的一部分和在移动处理之后的检测处理中从所述多个标志选择的至少2个标志的一部分共同的方式，实施移动处理中的基板载置台的移动。