-
公开(公告)号：CN118507413A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410949016.0
申请日：2024-07-16
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供了一种用于晶圆精密定位的三自由度平面柔性机构及微动台，属于半导体制造装备技术领域，包括：动子，动子包括转动部以及平动部，转动部的内部设置有第一中空区域，平动部的内部设置有第二中空区域，平动部设置于第一中空区域内；定子设置于第二中空区域内；平动驱动单元设置于定子的外缘并与平动部的内缘连接，平动驱动单元的数量为四个并且呈中心对称设置；转动驱动单元，转动驱动单元设置于平动部并与转动部连接，转动驱动单元的数量为两个并且呈对称设置；本发明的有益效果为：提供了一种三轴运动解耦的平面柔性机构，且本机构采用了外动子设计可以承载大尺寸晶圆进行定位作业。
-
公开(公告)号：CN114635920B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202011480241.2
申请日：2020-12-15
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种悬浮轴承、其控制方法及应用。所述悬浮轴承包括相互配合的第一环形件和第二环形件，所述第一环形件上形成有环形凹陷部，所述第二环形件上形成有环形凸起部，所述环形凸起部与环形凹陷部之间配合形成半封闭的环形轴承腔，当所述轴承腔内的流体压力达到设定值时，所述第一环形件与第二环形件至少在轴向上悬浮分离。与现有技术相比，本发明实施例提供的悬浮轴承结构简单，便于安装，在使用时摩擦阻力小，运转效率高，且能显著增强轴承和电机的散热能力，提高系统运转的可靠性，并具有减振降噪作用，对于船舶推进节能有着重要意义，在民用市场和军用领域拥有广阔前景。
-
公开(公告)号：CN117856566B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410266549.9
申请日：2024-03-08
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明提供了一种晶圆检测设备用无铁芯直线电机，包括：电机定子，电机定子包括两个外侧铁轭和一中间铁轭，两个外侧铁轭和中间铁轭之间分别通过第一固定件固定连接，两个外侧铁轭和中间铁轭之间分别留有气隙，两个外侧铁轭的内表面以及中间铁轭的两侧表面上分别设有多个永磁体，且位于同一表面上的各永磁体均沿中间铁轭的长度方向间隔排布；电机动子，电机动子包括一动子连接件和两块PCB板，两块PCB板的顶端与动子连接件的底端固定连接，以使两块PCB板分别插入至两处气隙内时动子连接件的底端与两个外侧铁轭的顶端相抵接，两块PCB板均采用变截面式绕组。有益效果是本发明的直线电机结构简单紧凑、整体重量轻、推力密度大且推力波动小。
-
公开(公告)号：CN118133489A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202311749046.9
申请日：2023-12-19
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明涉及一种计算永磁电机电磁振动的无磁网格化方法，包括：基于精确子域法建立表贴式永磁电机气隙磁场计算模型，求解得到气隙磁密径向分量和切向分量；采用麦克斯韦张量法计算得到离散的气隙电磁力密度径向分量结果；计算每个离散点域内的电磁力，并转化为径向集中齿力和力矩；对集中齿力和力矩进行FFT分解得到xyz坐标下集中齿力和力矩分量，分离实部和虚部得到一共12类参数；通过脚本文件，将12类参数导入到CAE仿真软件中，将力和力矩信息加载到定子齿面，利用模态叠加法进行电磁振动计算。本发明忽略了电磁力计算受有限元磁网格质量的影响，将无磁网格的电磁力结果直接与有限元振动计算模块进行联合，保证精度的同时加快电磁振动计算。
-
公开(公告)号：CN113335486B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202110748655.7
申请日：2021-07-02
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种射流推进装置及其测试系统。所述射流推进装置包括腔体和位于腔体内且可在腔体内往复移动的活塞，腔体包括外壳和设置于外壳内壁的多个环形线圈，活塞包括内部中空的活塞本体和设置于活塞本体外壁上的多个环形磁钢，环形磁钢与活塞本体一体设置，且环形磁钢和环形线圈配合形成交流永磁同步直线电机。本发明采用交流永磁同步电机直接驱动活塞的方式运行，驱动电流小、电机峰值推力可达数百牛，传动效率高、射流速度快，且驱动部件与活塞一体化设计，结构紧凑。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115384739B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211083855.6
申请日：2022-09-06
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种低温升水下推进器，包括导管及位于导管内的永磁电机、轮辋块和螺旋桨，永磁电机包括定子和位于定子内的转子，转子与定子之间形成有第一间隙；轮辋块与转子相连，且轮辋块与导管内壁之间形成有第二间隙，第二间隙与第一间隙相连通形成包裹住定子的端部和外侧表面的且供冷却液流动的间隙流道；螺旋桨位于转子内部且与转子相连。本发明可以极大的降低电机的整体温度，均衡推进器整体温度，提高水下推进器的整体可靠性，可在大功率民用船和军用船上产生较好的预期效果。
-
公开(公告)号：CN113911884A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111297602.4
申请日：2021-11-04
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波甬磁科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种直驱式电梯轿门装置，包括第一直线驱动单元、第二导向机构、门刀机构、左侧轿门挂板、右侧轿门挂板、第一导向机构和同步机构。第一直线驱动单元通过第二导向机构与门刀机构相连；门刀机构固定在左侧轿门挂板上；左侧轿门挂板、右侧轿门挂板通过同步机构相连，在第一直线驱动单元的驱动下沿着第一导向机构同步相向或背向运动。本发明通过一直线驱动单元与一同步装置配合同步驱动左侧门板和右侧门板的开合，结构简单，传动效率高，精度高，可靠性高。
-
公开(公告)号：CN113023534B
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110340157.9
申请日：2021-03-30
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供了一种基于双直线电机的门机系统及其同步运动控制方法。所述门机系统包括左、右侧直线电机，左、右侧门板，位置传感器以及控制系统等。本发明采用左、右侧直线电机分别直接驱动门机的左、右侧门板进行开合，具有传动结构简单、效率高、精度高、可靠性高、节省空间、维修方便等优点。进一步的，本发明在运动控制方面，还在现有双电机由各自控制器独立控制的基础上，增加了同步控制器，将双直线电机的同步位置误差信号作为该同步控制器的输入，再将输出信号送入到双直线电机的主通道进行调节，从而有利于保证双直线电机的同步运行并提高抗干扰能力。
-
公开(公告)号：CN112214857B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011375034.0
申请日：2020-12-01
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: G06F30/17 , G06F30/20 , H02K41/03 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种双边模块化低定位力永磁同步直线电机及其性能优化方法。所述直线电机主要由上、下定子模块和动子模块组成。该上、下定子模块的定子铁芯槽口有大、小两种类型，且相对应的各槽口中心对齐，一个定子铁芯左、右两侧可以设置不等宽的边端齿。在设定三维坐标系中，该动子模块所含的磁钢设置有x向、z向充磁两种类型，边端配置有z向充磁磁体。其中通过优化边端齿的宽度等，可以调制出与齿槽力相位相同但方向相反的边端合力，从而有效削弱定位力。本发明的直线电机具有推力密度高、波动小、可消除法向吸力且易模块化加工等优势，可显著提高执行器的操作精度。
-
公开(公告)号：CN112066863B
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011243041.5
申请日：2020-11-10
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种动圈式直线电机位置校准装置及方法，所述位置校准装置包括位移测量传感器和位置校准检测电路，所述位移测量传感器采用光栅或磁栅测量传感器，所述光栅或磁栅测量传感器的光栅或磁栅尺设置在直线电机定子上，光栅或磁栅读数头设置在直线电机动子上，所述位置校准检测电路设置在直线电机动子上，所述位置校准检测电路以光栅或磁栅测量传感器为基准，对线性霍尔传感器采集的电机位置信号进行校准。较之现有技术，本发明可以有效的对基于线性霍尔反馈的直线电机位置信号进行校准检测，得到的校准表在降低电机传感器设计成本的同时，提升位置反馈系统的精度和可靠性，可广泛适用于数控机床、自动化装备等工业领域应用场合。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
113
records
(took 0.066 seconds)
