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公开(公告)号：CN114019653A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111301759.X
申请日：2021-11-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜，其光轴方向包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、中间像面、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、后焦面。其中孔径光阑位置处放置被测衍射光学元件，第一透镜具有正光焦度，第二透镜具有负光焦度，第一透镜和第二透镜构成成像前组，将孔径光阑的出射光聚焦至中间像面，中间像面用于对所成的光斑进行处理，第三透镜至第六透镜具有正光焦度，其构成成像后组，将中间像面成像至所述傅里叶变换物镜的后焦面处，后焦面为探测器的光敏面，孔径光阑位于所述傅里叶变换物镜的前焦面，后焦面上所有视场点的主光线与光轴平行，形成像方远心光路，后焦面为孔径光阑的傅里叶频谱面，满足正弦条件。
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公开(公告)号：CN103439868A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310390028.6
申请日：2013-09-01
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种投影物镜数值孔径的测量装置及方法，包括：物面上放置的小孔阵列，像面上放置的一个可以在xyz向的高精度步进工件台，在工件台上安装波像差测量装置。测量方法包括如下步骤：将小孔阵列放置在物面上；将波前探测器放置在物镜像面位置；设置物镜NA使用照明光束照明掩模；使测试台在Z方向运动，使用波前探测器找到波像差最小的位置；记录下此时的波像差值及坐标位置；改变测试台位置和照明光束，重复前述两步，直到所有视场点的最小WFE值及坐标均被测得；计算投影物镜的数值孔径。使用本发明的一种原位测量投影物镜数值孔径的方法，实现了物镜数值孔径的原位与在线测量，同时测量方法简单、方便。
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公开(公告)号：CN102955371A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210264944.0
申请日：2012-07-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统，包括：聚光镜组，位于照明系统的照明光路上，负责将光会聚到指定位置；匀光棒，位于系统所述聚光镜组的光路上，聚光镜组会聚的光经由匀光棒的入射端入射并经由出射端出射；控制装置，用来固定多根不同口径比的匀光棒，装置有平行于照明系统光轴的旋转轴，装置绕此轴旋转调整匀光棒的位置，使指定的匀光棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子；所述控制装置由高精度旋转台驱动；中继透镜位于所述匀光棒的出射光路上；照明场，位于所述中继透镜的出光光路上。本发明能用简单的方法调节系统的相干因子，或者简化变焦透镜的设计复杂度，达到简化结构降低成本的目的。
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公开(公告)号：CN102620680A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210087949.0
申请日：2012-03-29
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明是一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法，激光器发射的光经过空间滤波器、分光镜、准直光学组件、第一夹持架上平面后产生参考光，第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜组收集到CCD探测器接收。移相器用来产生移相。转台用来控制第二夹持架上的平面旋转。通过计算机控制插入转像组件可以用来产生第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面不同维度方向的检测结果，再通过第二夹持架上的平面的旋转来解出平面的绝对面形，在原有的三平面测量的奇偶函数法的基础上，解决了奇奇函数求取的问题，同时减少了求取高频分量所需的测量次数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101799640B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201010121649.0
申请日：2010-03-10
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种确定光刻机最佳焦面位置的测量装置以及方法，所述装置包括照明光源系统、投影物镜成像系统、用于支撑并固定掩模板的掩模台、用于支撑并固定晶片的工作台、波像差传感器以及用于精确定位的干涉仪。所述方法推导了离焦和其他偶像差的转换关系，并用波像差传感器检测不同离焦位置时光学成像系统的波像差，根据测量结果计算可得光刻机光学系统最佳焦面位置。通过本发明的测量装置和方法，可以测量光刻机最佳焦面。
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公开(公告)号：CN108415171A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810183042.1
申请日：2018-03-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种光学准直扩束系统，解决了高NA光刻技术中激光光束在不同传输距离时，光束口径和发散角不能满足使用需求的问题。所述光学准直扩束系统由两块球面镜和四块柱面镜组成，其中两块柱面镜光焦度为y方向，另外两块柱面镜光焦度为x方向，单片球面镜与不同光焦度方向柱面镜组成一组准直扩束器，该系统共两组准直扩束器，第一组准直扩束器先对激光光束进行扩束，然后使激光在5米～20米范围内传输，再用第二组准直扩束器对激光光束进行准直，保证x方向光束和y方向光束均能口径和发散角要求。该光学准直扩束系统结构简单，易于加工装调，在不同传输距离时无动件，易于机械控制。
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公开(公告)号：CN102620680B
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201210087949.0
申请日：2012-03-29
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明是一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法，激光器发射的光经过空间滤波器、分光镜、准直光学组件、第一夹持架上平面后产生参考光，第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜组收集到CCD探测器接收。移相器用来产生移相。转台用来控制第二夹持架上的平面旋转。通过计算机控制插入转像组件可以用来产生第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面不同维度方向的检测结果，再通过第二夹持架上的平面的旋转来解出平面的绝对面形，在原有的三平面测量的奇偶函数法的基础上，解决了奇奇函数求取的问题，同时减少了求取高频分量所需的测量次数。
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公开(公告)号：CN103105284A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310013193.X
申请日：2013-01-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种光刻机中照明系统各光学组件透过率的测量装置及测量方法，该测量装置包括光源，能量衰减装置，光路分离元件，光路调整元件，待测光学组件，光束接收与探测单元，数据处理和控制系统。用分光镜将准分子激光光源的光束分为测试光路和参考光路；将待测光学组件移出光路中，记录空测时两个通道的测量数据；将待测光学组件移入光路中，用光路调整元件调整入射到待测光学组件上的光束入射角度，记录实测时两个通道的测量数据；将空测和实测时的测量数据进行处理,计算出待测光学组件的透过率。本发明用该装置和方法测量光刻机中照明系统各待测光学组件的透过率，具有较高的测量精度和测量多功能性。
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