-
公开(公告)号：CN109581827B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201910026093.8
申请日：2019-01-10
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本公开提供了一种光刻投影物镜最佳焦面检测装置及方法，其装置包括：照明装置、分光装置、透镜阵列、掩模板、反射器件、光电探测装置和控制器；照明装置产生准直的光束，经分光装置透射，透镜阵列聚焦至掩模板进行空间滤波至光刻投影物镜，反射器件反射通过光刻投影物镜的聚焦光束；光电探测装置，探测所述反射器件反射光束经所述掩模板空间滤波后的光束强度并发出光束强度信号；控制器连接所述工件台和所述光电探测装置，控制所述工件台运动和/或采集所述光电探测装置探测的光束强度信号。本公开利用反射器件在光刻投影物镜光轴方向的移动，根据各个视场反射光强的变化，得到光刻投影物镜的最佳焦面位置。
-
公开(公告)号：CN108415171A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810183042.1
申请日：2018-03-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种光学准直扩束系统，解决了高NA光刻技术中激光光束在不同传输距离时，光束口径和发散角不能满足使用需求的问题。所述光学准直扩束系统由两块球面镜和四块柱面镜组成，其中两块柱面镜光焦度为y方向，另外两块柱面镜光焦度为x方向，单片球面镜与不同光焦度方向柱面镜组成一组准直扩束器，该系统共两组准直扩束器，第一组准直扩束器先对激光光束进行扩束，然后使激光在5米～20米范围内传输，再用第二组准直扩束器对激光光束进行准直，保证x方向光束和y方向光束均能口径和发散角要求。该光学准直扩束系统结构简单，易于加工装调，在不同传输距离时无动件，易于机械控制。
-
公开(公告)号：CN106596491A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611206859.3
申请日：2016-12-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/64 , G01N21/6402
Abstract: 本发明公开了一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法，紫外级熔石英材料在深紫外激光照射下激发荧光，而荧光的强度与羟基含量有密切关系，利用该特性实现紫外级熔石英材料内羟基含量的测量，该装置结构简单，成本低，而且是非接触、非破坏性测量，不影响光学材料的使用。在光学材料性能分析中应用该方法，可以实现材料内羟基含量的实时测量，对分析材料性能具有重要参考价值。
-
公开(公告)号：CN103984094B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410219068.9
申请日：2014-05-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种光学系统的热性能仿真方法，该方法根据光线在光学系统中的传播路径及光学元件对光能的吸收机理将光学元件的热源分为表面热源和体热源，准确仿真光学系统各元件的热源分布，对光学系统进行准确的热性能仿真。其关键在于提出准确的表面热源和体热源加载方法及相应的光学系统元件热性能分析网格模型划分方法，实现对光学系统热源的准确仿真，进而实现了更为准确的光学系统热性能仿真。该方法对分析高精度光学系统的热像差分析及热像差补偿研究提供重要依据。
-
公开(公告)号：CN103954235B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201410199400.X
申请日：2014-05-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种光学凸球面面形的检测装置及方法，该装置中，光源发出波长可变的线偏振准单色光，经滤波孔、第一扩束镜、空间滤波器、第二扩束镜、λ/4波片和第一聚焦透镜聚焦于小孔中心。一部分小孔衍射波经第二聚焦透镜照射到被测凸球面表面，经过反射后形成检测光束，经第二聚焦透镜聚焦于小孔附近，在小孔衍射板背面反射，再与另一部分作为参考光束的小孔衍射波发生干涉。将被测凸球面换为一随机球，其球心与被测凸球面球心位置重合，通过多次测量标定第二聚焦透镜引入的聚焦系统误差。本发明利用接近理想球面的小孔衍射波作为参考波，采用随机球法多次测量标定聚焦系统误差，能够实现对光学凸球面面形的高精度测量。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103499877B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201310470645.7
申请日：2013-10-10
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种大数值孔径的投影光学系统，用于将物平面上的图案经过一定比例的缩放后投射到像平面上，所述的投影光学系统从物面到像面依次有五个镜组，其中，第一个镜组为平板玻璃，它充当系统的保护玻璃；第二个镜组为纯折射镜组，它的作用是将物平面上的图案投射到第一中间像平面上；第三个镜组包含了至少一个凹面反射镜，它的作用是将第一中间像平面上的图案投射到第二中间像平面上；第四镜组和第五镜组都为纯折射镜组，它们的作用是将第二中间像平面上的图案投射到像平面上。采用本发明的浸没式投影光学系统，除了可实现数值孔径大于1之外，能有效地降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度。
-
-
公开(公告)号：CN103278912B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201310244143.2
申请日：2013-06-19
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明一种折反式紫外光刻物镜，以物平面输入光束传播方向为系统光轴，在系统光轴上依次放置第一透射组、反射组件和第二透射组，第一透射组具有正光焦度，反射组具有负光焦度，第二透射组具有正光焦度；其中第一透射组包括第一正透镜、第一负透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四正透镜、第二负透镜、第五正透镜、第六正透镜、第三负透镜、第七正透镜、第八正透镜；反射组包括第一反射镜、第二反射镜；第二透射组包括第九正透镜、第四负透镜、第十正透镜、第五负透镜、第十一正透镜、第十二正透镜、第十三正透镜、第十四正透镜、第十五正透镜、第十六正透镜、第十七正透镜、第十八正透镜、第十九正透镜。本发明数值孔径大、成像质量好等优点。
-
公开(公告)号：CN104539188A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201510001927.1
申请日：2015-01-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种高精度压力驱动装置，所述装置包括压电陶瓷(1)、方向导槽(2)、弹性簧片(3)、微位移探测器(4)和安装底座(5)，其中压电陶瓷放置于方向导槽中，方向导槽上端存在一个开孔，压电陶瓷的上端可从开孔中部分伸出，方向导槽下端也存在一个开孔，用于与安装底座连接。压电陶瓷的作用在于实现超微量超快速的位移动作；弹性簧片的作用在于承受压电陶瓷的作用力，并产生相应的弹性形变。所述装置可在作用力输出端存在不断变化的微小位移的情形下，精确快速地输出恒定的作用力。由于本发明装置的直接输出为作用力，且物体形变与作用力成线性关系，因而本装置能够对被控制面进行线性控制，更准确地控制面形。
-
公开(公告)号：CN102981249B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201210360715.9
申请日：2012-09-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种投影光学系统，沿投影光学系统光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组并处于同一光轴；第一透镜组和第三透镜组具有负光焦度；第二透镜组、第四透镜组和第五透镜组具有正光焦度；第一透镜组接收输入光束并输出第一发散光束；第二透镜组接收第一发散光束并输出第二发散光束；第三透镜组接收第二发散光束并输出第一会聚光束；第四透镜组接收第一会聚光束并输出第三发散光束；第五透镜组接收第三发散光束并输出第二会聚光束，将第二会聚光束会聚到像面。本发明在高分辨率和大数值孔径的条件下，有效地减少镜片数量、降低系统的加工、检测、装调成本，同时也能提供较大的物方和像方工作距。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
165
records
(took 0.036 seconds)
