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公开(公告)号:CN112881341B
公开(公告)日:2023-02-14
申请号:CN202110056243.7
申请日:2021-01-15
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种确定有机薄膜光学常数和厚度的方法。所述方法的实现过程如下:在光学抛光的透明平面基板的一个表面制备有机薄膜,利用分光光度计测量基板表面有机薄膜的透射率光谱曲线和反射率光谱曲线;确定测量波长范围内有机薄膜的折射率和消光系数的色散模型,以色散模型中的常数、折射率非均匀性、有机薄膜的厚度、单色仪的狭缝宽度等作为参数,对测量光谱进行多参数拟合,确定薄膜的折射率和消光系数。本发明公开的一种确定有机薄膜的光学常数和厚度的方法,通过将单色仪的狭缝宽度等参数引入多参数拟合测量光谱的过程,实现了利用分光光度精确测量有机薄膜的光学参数的方法。
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公开(公告)号:CN110082073B
公开(公告)日:2022-08-23
申请号:CN201910428976.1
申请日:2019-05-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种在子孔径拼接检测光学系统透射波前中调整平面反射镜倾斜的装置和方法,组合使用干涉仪与光电自准直仪,以调整透射波前检测中平面镜倾斜角度。该系统包括干涉仪,标准镜头,被测光学系统,双面平面反射镜,光电自准直仪,隔振台,五维调整台,支撑台,平移台,升降架,倾斜调整装置,显示控制器,利用干涉仪条纹在中间子孔径位置处调整平面镜,建立干涉仪、被测系统和平面镜平行的基准点,光电自准直仪角度清零,然后再在其它子孔径位置处,以自准直仪为基准调整平面镜的倾斜量,从而减小子孔径面形中的倾斜误差,提高子孔径拼接检测光学系统透射波前的精度。
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公开(公告)号:CN111006854B
公开(公告)日:2022-04-19
申请号:CN201911351518.9
申请日:2019-12-25
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供了一种微纳结构透镜衍射效率测试装置与方法,包括:激光光束经过扩束准直系统形成平行光束;分光单元将平行光束分为两束,一束进入参考探测系统,一束垂直入射待测微纳结构透镜;测试探测系统设置在待测透镜焦面位置,采集衍射光能量;为提高测量精度,采用双光路方式,利用参考探测系统采集的信号实时修正测试光束的光能量,抑制光源功率波动的影响。将扩束准直系统、分束单元集成在电控二维运动机构的光学台面上,使出射光束随光学台面移动对待测微纳结构透镜进行扫描,满足对微纳结构透镜全口径范围的衍射效率测试。
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公开(公告)号:CN113403601A
公开(公告)日:2021-09-17
申请号:CN202110685733.3
申请日:2021-06-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种镀膜厚度光学控制装置和方法,所述的装置包括一个及以上不同波长的激光器、用于不同波长激光分束和合束的分光光学元件、散射板、驱动电机、透镜、多模光纤、光功率计、光控测试片、以及镀膜夹具。激光经过受驱动电机驱动而旋转的散射板转化为准相干光,准相干光经透镜聚焦进入多模光纤,传输至镀膜机,并经透镜准直后入射至光控测试片,透射光经透镜聚焦后进入第二多模光纤,在光纤出口经准直和分光,利用光功率计分别测量不同波长的出射光的功率,监控光控测试片上不同波长光的透射率,实现镀膜厚度的控制。薄膜厚度光学控制装置具有结构简单,安装方便,监控光源线宽窄的特征,可实现高精度光学薄膜镀膜过程的厚度控制。
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公开(公告)号:CN113376716A
公开(公告)日:2021-09-10
申请号:CN202110687482.2
申请日:2021-06-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B1/115 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种衍射光学器件表面增透膜的镀膜方法,通过优化原子层沉积镀膜参数,获得衍射光学器件微结构表面共形生长的膜层镀膜工艺;以优化的镀膜参数,在光学抛光的测试基板上分别镀制高折射率膜层和低折射率膜层,利用椭圆偏振光谱方法确定膜层的光学常数和厚度,确定膜层厚度和原子层沉积镀膜周期的关系;根据膜层的光学常数设计增透膜,计算增透膜中每个膜层的原子层沉积镀膜周期数;根据增透膜的结构优化设计衍射光学器件微结构,并制备衍射光学器件基板;按照增透膜中膜层从基板到空气的排列顺序,依次在衍射光学器件表面镀制各个膜层,制备增透膜。本发明提出的镀膜方法,可以有效提高衍射光学器件的光学透过率。
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公开(公告)号:CN110082073A
公开(公告)日:2019-08-02
申请号:CN201910428976.1
申请日:2019-05-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种在子孔径拼接检测光学系统透射波前中调整平面反射镜倾斜的装置和方法,组合使用干涉仪与光电自准直仪,以调整透射波前检测中平面镜倾斜角度。该系统包括干涉仪,标准镜头,被测光学系统,双面平面反射镜,光电自准直仪,隔振台,五维调整台,支撑台,平移台,升降架,倾斜调整装置,显示控制器,利用干涉仪条纹在中间子孔径位置处调整平面镜,建立干涉仪、被测系统和平面镜平行的基准点,光电自准直仪角度清零,然后再在其它子孔径位置处,以自准直仪为基准调整平面镜的倾斜量,从而减小子孔径面形中的倾斜误差,提高子孔径拼接检测光学系统透射波前的精度。
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公开(公告)号:CN105719704B
公开(公告)日:2018-08-03
申请号:CN201610229216.4
申请日:2016-04-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及种空间大角度精密切换及锁定装置,铰链座固定在角度支座的斜面上,翻转螺杆中心穿过螺杆转轴座,与固定在连轴套上的螺纹套组成滑动螺旋机构。铰链座、上连杆A、上连杆B与支撑架及铰链座、下连杆A、下连杆B与支撑架组成两组平行铰链四杆机构。翻转螺杆螺旋运动带动上下连杆运动,而连杆运动带动支撑架进行张开或收缩翻转运动,实现装置角度位置的变换。弧形锁定座的定位基面安装在支撑架基面上,与支撑架起绕轴线旋转,锁紧螺钉在弧形锁定座圆弧线上滑动,实现锁紧与解锁。本发明集成螺旋机构与铰链四杆机构实现空间角度切换功能,结构紧凑、角度范围大、精度高;运动到位后三重锁紧结构,稳定性好。
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公开(公告)号:CN106595713A
公开(公告)日:2017-04-26
申请号:CN201611197362.X
申请日:2016-12-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种复杂背景模拟装置,包括照明系统、背景胶片及准直系统,所述背景胶片上的图案为实际拍摄的背景图案,所述照明系统包括点光源、准直透镜、复眼阵列和第一会聚镜;所述点光源发出的光线经过所述准直透镜准直后入射至所述复眼阵列,所述复眼阵列对准直后的光线进行匀化后经由所述第一会聚镜会聚到所述背景胶片上,从所述背景胶片出射的光线经所述准直系统准直后生成模拟复杂背景。本发明实施例提供的复杂背景模拟装置,背景胶片上的图案为实际拍摄的背景图案,可模拟生成更复杂更真实的背景,用于目标跟踪测试时,可以提高测试精度。
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公开(公告)号:CN104176686A
公开(公告)日:2014-12-03
申请号:CN201410357512.3
申请日:2014-07-25
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B66F13/00
Abstract: 本发明涉及一种基于差动螺旋传动与摇杆滑块传动的连杆升降及翻转装置,差动螺杆中心穿过丝杆轴座,差动螺杆两端头与左右两个轴承组件配合装配,差动螺杆的左右两段螺纹分别旋入左驱动螺母、右驱动螺母,组成差动螺旋机构。升降滑动导轨的上台面与滑块的下台面配合装配。轴组件连接滑块与翻转架,翻转连杆一端与翻转架固定,另一端与支撑架用固定销轴及销卡板固定或解脱。连杆、滑块与支撑架组成摇杆滑块机构,摇杆摆动带动滑块沿着升降滑动导轨上下运动。滑块、翻转架、翻转连杆与支撑架组成摇杆滑块机构,滑块上下直线运动带动翻转架进行翻转运动。本发明同时实现升降与翻转两种功能,结构更紧凑,节省有限空间,操作方便,稳定性好。
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