基于平面基板加工双面微米级定位标记的简易装置及方法

    公开(公告)号:CN114563934B

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202210197015.6

    申请日:2022-03-01

    Abstract: 本发明提供了一种基于平面基板加工双面微米级定位标记的简易装置及方法。基于融石英材料加工测杆标记衬底,使其具备光学级表面光洁度和面形要求,利用光刻、刻蚀技术在其表面加工微浮雕标记形成测杆标记。利用光学镜片胶合技术将测杆标记衬底连接到千分尺测杆端面固定,在测杆标记表面涂覆色素,转动旋钮使测杆标记和千分尺测砧端面接触完成标记预压印将色素转移形成测砧标记。分离测杆标记和测砧标记并补充测杆标记的色素,插入平面基板并使其反面靠近测砧标记,转动旋钮使测杆标记和测砧标记同时接触平面基板正反面完成标记双面压印,获得基板正面标记和基板反面标记。实现在厚平面基板正反面加工定位标记,且双面标记的对准精度达微米级。

    一种单片式宽波段衍射计算成像方法

    公开(公告)号:CN114647079A

    公开(公告)日:2022-06-21

    申请号:CN202210256490.6

    申请日:2022-03-16

    Abstract: 本发明公开了一种单片式宽波段衍射计算成像方法,解决了应用传统衍射元件成像时成像系统结构复杂、成本高、波段窄的问题。本发明提供的衍射计算成像方法,可以在仅使用单片衍射镜片的情况下,实现可见光波段下高色彩保真度的清晰成像。本发明涉及光学设计与图像处理领域,包括如下步骤:根据应用需求对传统衍射元件进行消色差优化设计,根据消色差优化后的衍射元件的点扩散函数设计复原算法,使用该算法对消色差衍射透镜的成像图像进行复原,最终实现可见光波段下单片衍射元件的计算成像,具有低成本、轻量化、宽波段等优势,同时保持高色彩保真度的清晰成像。

    一种工作在红外波段的大视场衍射透镜的设计方法

    公开(公告)号:CN114624877A

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202210257098.3

    申请日:2022-03-16

    Abstract: 本发明公开了一种工作在红外波段的大视场衍射透镜的设计方法,不同于目前通过反算相位或者优化方法得到近似的微结构高度,而是直接对微结构进行计算,并提供了一种可以被光学设计软件加载的自定义面型,这种自定义面型可以得到目前光学设计软件中没有的,类似于菲涅尔透镜的突变结构。并且得到的微结构可以使用光线追迹法做进一步处理,比如计算离焦,PSF等数据还可以进行图像分析及处理等操作。本发明可以直接通过光学设计中所需波长以及材料折射率对微结构高度进行直接计算以及模拟,在可见光以及红外波段中均适用。

    一种曲面基底微纳米结构的高精度制备方法

    公开(公告)号:CN118744963A

    公开(公告)日:2024-10-08

    申请号:CN202411000509.6

    申请日:2024-07-25

    Abstract: 本发明公开了一种曲面基底微纳米结构的高精度制备方法,属于微纳光学技术领域,主要步骤如下:首先,结合传统光刻技术和有机玻璃的可控面形热弯工艺,制备曲面基底掩膜板;然后,利用接近式紫外曝光技术和等离子刻蚀技术,将微纳米结构传递到曲面基底材料表面;最后,通过测量多个位置微纳米结构的位置偏差和尺寸偏差,校正用于制备曲面基底掩膜板过程中的平面掩膜板图形,提高加工精度;多次重复上述校正步骤,可以实现曲面基底微纳米结构的高精度制备。该方法降低了制备曲面基底表面微纳米结构的技术复杂度和加工成本,提高了加工精度和效率。

    一种基于稀疏先验的光学合成孔径系统成像增强方法

    公开(公告)号:CN114663304B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202210257107.9

    申请日:2022-03-16

    Abstract: 本发明公开了一种基于稀疏先验的光学合成孔径系统成像增强方法。用来解决光学合成孔径系统由于阵列结构和共相误差影响下导致的成像退化问题。方法特点为将暗通道和图像梯度先验做为稀疏先验设计成像增强模型,方法流程为首先计算合成孔径系统阵列结构下的点扩散函数做为初始糢糊核输入,然后通过半二次分裂法对稀疏先验进行求解,求解模型估计最终的糢糊核和成像增强后的图像。本发明利用合成孔径系统固有的先验理论,具有适用范围广、实现简单以及增强效果好等优点。

    一种检测与调整衍架导轨平行度的方法

    公开(公告)号:CN114608486A

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202210295309.2

    申请日:2022-03-24

    Abstract: 本发明公开了一种检测与调整衍架导轨平行度的方法,提高了这种分节桁架导轨在空间位置上平行度的检测精度。本发明借助激光跟踪仪首先调整了中间那根分节桁架导轨的直线度,然后以它的一端作为坐标原点建立空间坐标系,进而根据空间坐标调整左右两根分节桁架导轨各自的直线度和与中间那根的平行度,最后再重新复测三根分节桁架导轨的平行度。本发明借助激光跟踪仪的高精度,进而提高分节桁架导轨在空间位置上平行度的检测精度,而且操作简单,大大节约了时间成本。

    一种量子通信地面站望远镜光轴实时修正方法

    公开(公告)号:CN104393932B

    公开(公告)日:2017-02-01

    申请号:CN201410670381.4

    申请日:2014-11-20

    Abstract: 本发明公开了一种量子通信地面站望远镜光轴实时修正方法,电动偏转反射镜作为地面站望远镜的第三镜;单色光源作为参考光光源并固定在主镜筒上,参考光方向与主次镜光轴方向一致;光电探测器作为探测器,与量子光接收模块和信标光接收模块一起固定在望远镜俯仰支架上,不随望远镜俯仰轴转动。参考光经主、次镜反射后入射到电动偏转反射镜上,接着经第一分光镜将参考光和量子光分离出来,量子光反射进入量子光接收模块,透射的参考光进一步通过第二分光镜完成参考光和信标光的分离,信标光反射进入信标光接收模块,透射的参考光最后聚焦到光电探测器上。

    一种量子通信地面站望远镜光学系统

    公开(公告)号:CN103840890A

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201410096430.8

    申请日:2014-03-17

    Abstract: 本发明公开了一种量子通信地面站望远镜光学系统,由主镜、次镜、电动偏转反射镜、分光棱镜、量子通信模块和精跟踪探测器构成。其中在接收光的光束线上依次放置主镜,在主镜的反射光线上放置次镜,在次镜的反射光线上放置电动偏转反射镜,在电动偏转反射镜的反射光线上放置分光棱镜,在分光棱镜的透射光线上放置量子通信模块,在分光棱镜的反射光线上放置精跟踪探测器。整个光学系统的光路传输仅需要四块折转镜就到达量子通信模块,最大限度保证了系统的光学传输效率和偏振对比度。另外,精跟踪探测器直接放置于地面站望远镜光学系统的一次焦点处,无须额外的成像镜头便可以实现信标光光轴位置的探测。该光学系统可以应用于地平式或极轴式地面站望远镜中。

    一种工作在红外波段的大视场衍射透镜的设计方法

    公开(公告)号:CN114624877B

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202210257098.3

    申请日:2022-03-16

    Abstract: 本发明公开了一种工作在红外波段的大视场衍射透镜的设计方法,不同于目前通过反算相位或者优化方法得到近似的微结构高度,而是直接对微结构进行计算,并提供了一种可以被光学设计软件加载的自定义面型,这种自定义面型可以得到目前光学设计软件中没有的,类似于菲涅尔透镜的突变结构。并且得到的微结构可以使用光线追迹法做进一步处理,比如计算离焦,PSF等数据还可以进行图像分析及处理等操作。本发明可以直接通过光学设计中所需波长以及材料折射率对微结构高度进行直接计算以及模拟,在可见光以及红外波段中均适用。

    一种电场分布可调的低温等离子体发生装置

    公开(公告)号:CN114521040A

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN202210157226.7

    申请日:2022-02-21

    Abstract: 本发明提供了一种电场分布可调的低温等离子体发生装置,包括上接地板、可升降阵列电极、下接地板、接地板支撑机构、阵列电极固定器、阵列电极升降柱和阵列电极柔性电缆。所述的上接地板和下接地板通过接地板支撑机构连接并整体调节其间距,可升降阵列电极通过阵列电极升降柱和阵列电极固定器与上接地板相连,可升降阵列电极之间通过阵列电极柔性电缆相连。根据待加工曲面器件的面形特点,通过独立调节单个可升降阵列电极的高度,实现对曲面器件表面电场强度分布的调控,引入RF射频电源配合真空系统和工艺气体产生电场分布可调的低温等离子体。本发明相比现有Ar离子束发生装置具有加工口径大、加工效率高、对光学表面损伤小等优点。

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