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公开(公告)号：CN102507442B
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201110303881.0
申请日：2011-09-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种无气泡折射液涂抹装置及无气泡折射液的涂抹方法，该装置由真空泵、多段气管、过滤器、抽滤瓶、真空吸盘、贴置板及待测件组成，由多段气管将真空泵、过滤器、抽滤瓶和真空吸盘串联连接；真空吸盘的吸附口与贴置板外表面的小孔自然贴合；待测件的两个表面分别与两块置板的内表面贴合形成缝隙；滴管位于待测件及贴置板圆周缝隙上方，通过滴管在所述缝隙边缘不断滴加折射液，使折射液被吸入贴置板与待测件之间的缝隙内。所述方法为：涂抹折射液时，启动真空泵，使贴置板与待测件间的缝隙内形成负压并在缝隙边缘处间不断滴加折射液，使之被吸入缝隙内，直到全部缝隙充满折射液即可完成折射液的涂抹。
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公开(公告)号：CN101936699A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010266710.0
申请日：2010-08-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种摆臂式三维轮廓仪，该轮廓仪包括：测头系统、横臂、立柱、配重、被测平面元件、工件转台和横臂转台，立柱的一端部位于横臂转台的安装孔中并固定连接，横臂位于立柱的另一端部安装孔中；在横臂的一端部设置有配重，在横臂的另一端部设置有测头系统；工件转台上置有被测平面元件；测头系统的探测端与被测平面元件接触；所述的横臂和立柱，用于完成测头系统的旋转运动；所述的配重用于平衡测头系统和横臂以保证横臂转台保持平稳的旋转。本发明的检测仪可用于大口径、高精度平面元件三维表面轮廓的测量和分析，可测量的参数有三维形貌图、二维形貌图、PV、RMS、三维形貌体积。
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公开(公告)号：CN101344377B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810119123.1
申请日：2008-08-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种同心球面镜组定位红外卡塞格伦平行光管共轭焦点的方法，其特征在于如下步骤：(1)在对心器上对固定球面镜和校准球面镜进行对心，使固定球面镜和校准球面镜的两个工作面同轴、共心；(2)将对心后的同心球面镜组置于红外光路中，并调整红外探测器和红外激光器的位置，直到红外探测器与红外激光器同轴共轭，在红外探测器上产生同心的零条纹；(3)取下校准球面镜将红外卡塞格伦平行光管置于红外光路中的此位置，并调整红外卡塞格伦平行光管的位置直到红外探测器上产生与步骤(2)相同的干涉图像；则红外探测器的位置即为红外卡塞格伦平行光管的共轭焦点的位置。
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公开(公告)号：CN104677280B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201510105353.2
申请日：2015-03-11
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种摆臂式轮廓仪旋转轴空间状态标定方法，该标定方法利用三边测量原理结合4台激光跟踪仪冗余自标定技术实现对摆臂式轮廓仪旋转轴空间状态的标定。在轮廓仪横臂(工件转台)上安装靶球(猫眼)，固定四站激光跟踪仪的位置使其处于最优测量位置。横臂(工件转台)旋转一定角度，四站激光跟踪仪跟踪靶球(猫眼)进行扫描测量，通过获得的高精度旋转弧线上点的三维坐标，拟合出横臂旋转圆面(工件转台旋转圆面)，得到过圆心的法向量，通过计算出两条法线之间的空间状态关系，就可以得到摆臂式轮廓仪旋转轴空间状态关系。本发明可以高精度的标定空间轴线的状态关系。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103344195A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310274806.5
申请日：2013-07-02
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种传感器旋转的摆臂式轮廓仪测头对心校准装置，由轮廓仪测头、轮廓仪测头微调机构、横臂、立柱、配重、横臂转台、工件转台和光学测头组成；光学测头固定于工件转台上绕轮廓仪测头进行旋转运动，获得轮廓仪测头的外轮廓数据，通过数据处理算法求出轮廓仪测头的中心位置信息，通过调整轮廓仪测头微调机构实现轮廓仪测头与工件转台的对心调整。本发明实现轮廓仪测头与工件转台的对心调整，为摆臂式轮廓仪在光学加工现场的在位测量提供实用化的解决方案。
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公开(公告)号：CN101936699B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201010266710.0
申请日：2010-08-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种摆臂式三维轮廓仪，该轮廓仪包括：测头系统、横臂、立柱、配重、被测平面元件、工件转台和横臂转台，立柱的一端部位于横臂转台的安装孔中并固定连接，横臂位于立柱的另一端部安装孔中；在横臂的一端部设置有配重，在横臂的另一端部设置有测头系统；工件转台上置有被测平面元件；测头系统的探测端与被测平面元件接触；所述的横臂和立柱，用于完成测头系统的旋转运动；所述的配重用于平衡测头系统和横臂以保证横臂转台保持平稳的旋转。本发明的检测仪可用于大口径、高精度平面元件三维表面轮廓的测量和分析，可测量的参数有三维形貌图、二维形貌图、PV、RMS、三维形貌体积。
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公开(公告)号：CN101446485A
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200810119125.0
申请日：2008-08-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种可见与红外光波光轴平行度检测的检测仪，包含红外光部分和可见光部分；首先采用可见光进行对准操作，可见光源发出的可见光经过十字分划板照亮十字丝，在可见光CCD上形成出射的可见十字丝像，出射的可见光经红外分光镜、次镜、主镜、标准平面镜反射后，再经上述光学器件又反回到可见光CCD形成返回的十字丝像，调整系统使出射的可见十字丝像与返回的十字丝像重合，完成仪器对准；然后利用红外检测，红外激光器发出的红外激光经过一系列红外光部分的光学元件，用测量软件提取红外CCD上的出射红外光斑和返回的红外光斑，采用公式计算便可得到平行度误差值；本发明的检测仪采用可见光对准，红外探测平行度误差的方法；降低了实验风险，同时提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN104215186B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201410528758.2
申请日：2014-10-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明公开了一种摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置和方法，该装置摆臂式轮廓仪测头系统包括接触式传感器夹具、接触式传感器、第一靶球和第二靶球，多功能测量显微镜包括多功能测量显微镜立柱头、多功能测量显微镜立柱和多功能测量显微镜工作台面。通过控制多功能测量显微镜工作台面实现X、Y方向的移动，控制多功能测量显微镜立柱头实现Z方向的移动，分别使第一靶球、第二靶球和接触式传感器测头通过点源显微镜CCD成像并且在计算机窗口上显示对应光斑最小，此时多功能测量显微镜的坐标即是第一靶球的球心、第二靶球的球心和接触式传感器的测头的球心对应测量的空间位置坐标。本发明精度较高，同时可以方便快捷的实现。
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公开(公告)号：CN104677280A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510105353.2
申请日：2015-03-11
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种摆臂式轮廓仪旋转轴空间状态标定方法，该标定方法利用三边测量原理结合4台激光跟踪仪冗余自标定技术实现对摆臂式轮廓仪旋转轴空间状态的标定。在轮廓仪横臂(工件转台)上安装靶球(猫眼)，固定四站激光跟踪仪的位置使其处于最优测量位置。横臂(工件转台)旋转一定角度，四站激光跟踪仪跟踪靶球(猫眼)进行扫描测量，通过获得的高精度旋转弧线上点的三维坐标，拟合出横臂旋转圆面(工件转台旋转圆面)，得到过圆心的法向量，通过计算出两条法线之间的空间状态关系，就可以得到摆臂式轮廓仪旋转轴空间状态关系。本发明可以高精度的标定空间轴线的状态关系。
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