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公开(公告)号：CN116544294A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310027692.8
申请日：2023-01-09
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/102 , H01L31/024 , H01L31/0296 , H01L31/02 , G05D23/24
Abstract: 本发明公开了一种可精确控温的垂直集成式制冷型碲镉汞探测器组件，其结构从下往上依次为三级半导体制冷器，环氧胶，锰钴镍氧热敏电阻，环氧胶，碲镉汞探测器；其中锰钴镍氧热敏电阻结构从下往上依次为蓝宝石衬底，锰钴镍氧薄膜，以及热敏薄膜表面两侧的镉/金复合电极；其中碲镉汞探测器结构从下往上依次为蓝宝石衬底，环氧胶，碲镉汞功能材料，阳极氧化层，ZnS增透层，以及碲镉汞材料表面两侧的铟/金复合电极。该探测器组件不仅能够准确测得探测器温度的实时变化，而且有效解决了常规工艺中将热敏电阻贴附在探测器侧壁上带来的温度漂移问题，使得碲镉汞探测器的精确控温成为可能，极大缓解了高精度应用场景中对探测器控温精度的要求。
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公开(公告)号：CN109238475A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810945362.6
申请日：2018-08-20
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/20
Abstract: 本发明公开了一种有弯曲支撑腿微桥结构的锰钴镍氧热敏电阻探测器及方法，包括一双抛蓝宝石衬底；磁控溅射法生长的SiO2桥墩；一锰钴镍氧薄膜材料；制作成弯曲腿结构的欧姆接触电极。弯曲腿与锰钴镍材料下方的牺牲层释放后，形成自支撑的悬空结构。该结构不仅降低了光敏面与下方衬底之间直接的热传导，而且有效降低了电极与衬底之间的热传导，使得热敏探测器的响应率大大提高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119789615A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411961754.3
申请日：2024-12-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种带有低温前置放大电路的碲镉汞探测器，在杜瓦冷头上依次有铟片、氮化铝陶瓷电路板、低温胶、碲镉汞探测器与铂电阻；氮化铝陶瓷电路板上有低温前置放大电路，该放大电路包含两个偏置支路，用来对探测器设置偏置电流，可外部选通的四个通道的反馈回路，用来设置放大增益，一个正反馈回路，用来调节强光照下输出信号的非线性，一串联电阻，用来抑制低温下放大电路振荡。本发明的探测器与前置放大电路贴近互联，工作在低温环境下，可有效降低耦合进入电路环路的电磁干扰；工作时置于金属杜瓦中，杜瓦的金属外壳对外界的电磁干扰可起到屏蔽作用，能进一步降低电磁干扰对放大电路的影响，有效提高整体信噪比。
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公开(公告)号：CN115747715B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202211520071.5
申请日：2022-11-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明提供一种支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件，属于红外探测器技术领域，其可至少部分解决现有的红外探测器窗口片金属化工艺中手工粘贴掩膜块导致的精度不准和效率低下的问题。本发明的一种支撑板具有第一开孔、第二开孔、第三开孔和凸台，凸台设于支撑板用于与定位板接触的表面上，且凸台用于与定位板开口卡合，用于掩膜块定位。
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公开(公告)号：CN115747715A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211520071.5
申请日：2022-11-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明提供一种支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件，属于红外探测器技术领域，其可至少部分解决现有的红外探测器窗口片金属化工艺中手工粘贴掩膜块导致的精度不准和效率低下的问题。本发明的一种支撑板具有第一开孔、第二开孔、第三开孔和凸台，凸台设于支撑板用于与定位板接触的表面上，且凸台用于与定位板开口卡合，用于掩膜块定位。
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公开(公告)号：CN102004002A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010276188.4
申请日：2010-09-08
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有参考元结构的碲镉汞红外光电导探测器，其参考元具有以下结构：衬底；环氧胶层；第一面碲镉汞氧化层；体材料碲镉汞层；第二面碲镉汞氧化层；二氧化硅绝缘层；负胶绝缘层；金属铟层；金属金层。该参考元特征在于：在边缘光敏面上覆盖双层绝缘层、红外光吸收层和红外光反射层。这种具有参考元的碲镉汞红外探测器的优点是：解决碲镉汞红外探测器温度飘移的问题，采用差分电路来取代温度补偿电路，这样不仅可以减少环境温度变化对于碲镉汞探测器准确性的影响，而且可以极大的简化电路结构；不仅可用于低速运动物体的温度测量，而且可用于高速运动物体的温度测量；响应速度快，具有自补偿功能。
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公开(公告)号：CN2663983Y
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN200320122773.4
申请日：2003-12-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01N21/35
Abstract: 本实用新型公开了一种主要用于红外气体分析仪器和红外气体报警的热电致冷型多波段红外探测器，该探测器包含：管座和带红外窗口的管帽构成中间充惰性气体的管壳，管座底有多个信号引出脚和一个抽气口，管帽外有一带汇聚透镜的套筒，管座内置有热电制冷器，其特征是：热电制冷器的冷面上置有多个探测器芯片，各个芯片上各有一片不同带通的滤光片，滤光片是紧贴探测器芯片表面，冷面上还有测量芯片工作温度的热敏电阻。这种结构的优点是：成倍减少了带通滤光片的用量和降低了滤光片的工作温度，对降低仪器成本和提高性能大有好处。
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