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公开(公告)号:CN119543869A
公开(公告)日:2025-02-28
申请号:CN202411441636.X
申请日:2024-10-16
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种具有侧面空腔的薄膜体声波谐振器及滤波器。该薄膜体声波谐振器的声学镜、底电极、压电层、顶电极在谐振器厚度方向上的重合区域构成有效谐振区域,通过在有效谐振区域外设置具有不规则边缘形状的侧面空腔,使原本集中的横向声波分散,并使原有横向声波的传播路径延长,横向寄生模态的强度减弱,从而有效抑制薄膜体声波谐振器的寄生模态,并提高器件的品质因数。
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公开(公告)号:CN116165227A
公开(公告)日:2023-05-26
申请号:CN202310194309.8
申请日:2023-03-03
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种透射电镜原位热学参数测试芯片及其制备方法,芯片为MEMS器件,硅基底上形成左右对称的两个悬空平台;悬空平台结构包括底层电热绝缘保护层,在底层电热绝缘保护层上依次间隔设置电阻、金属电极、金属热反射镜,并且金属热反射镜位于两个悬空平台的相对内侧,电阻上覆盖有顶层电热绝缘保护层。电阻结构的上下层均设置了电热绝缘保护层,使其与外界隔绝,以降低测试时一侧的测温电阻受外界环境对电学信号的影响以及样品转移中接触或破坏的几率;同时,通过设计金属热反射镜减少热导测试时两个悬空平台互相之间的热辐射的影响。
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公开(公告)号:CN114507942A
公开(公告)日:2022-05-17
申请号:CN202210208545.6
申请日:2022-03-04
Applicant: 东南大学
IPC: D04H1/728 , D04H1/4318 , D04H1/4382 , D01F1/10 , D01F6/48
Abstract: 本发明公开了一种混合相变二氧化钛调控聚偏氟乙烯纳米纤维膜的制备方法,其中锐钛矿相TiO2和金红石相TiO2形成半导体异质结结构,制备钛酸四丁酯前驱体溶液,电纺得到纳米纤维;煅烧后获得锐钛矿和金红石混合相变的TiO2纳米纤维;研磨,得到相变的TiO2纳米棒;将相变TiO2纳米棒加入到DMF和丙酮的混合溶剂中并超声,加入PVDF粉末并磁力搅拌,得到PVDF前驱体溶液;电纺,得到纳米纤维膜;干燥,获得相变TiO2调控PVDF纳米纤维膜。实现了非压电材料调控PVDF纤维,使其具有的β极性相大幅高于非压电材料调控的其他制备方法,调控效果可以达到压电材料对PVDF纤维的调控效果。
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公开(公告)号:CN113325198B
公开(公告)日:2022-04-29
申请号:CN202110640448.X
申请日:2021-06-09
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法,传感器包括柔性衬底、柔性密封顶盖、S形加热元件、S形感温元件以及吸热薄层;柔性顶盖设置于柔性衬底上,两者之间形成密封腔体;S形加热元件固定在密封腔体内的柔性衬底中央;两个S形感温元件固定在密封腔体内的柔性衬底上,并对称分布在S形加热元件的两侧;吸热薄层紧密贴附于密封腔体内部的S形加热元件上;其中,柔性密封顶盖带有热绝缘岛结构,两个热绝缘岛结构沿长轴线对称分布在柔性密封顶盖的顶部内侧面上,并分布于S形加热元件与S形感温元件之间的上方。本发明的加速度传感器适用于柔性设备,并具有灵敏度高、响应时间快、功耗低的特点。其制备方法简便,成本低廉,可大规模制备。
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公开(公告)号:CN113358247A
公开(公告)日:2021-09-07
申请号:CN202110812835.7
申请日:2021-07-19
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种压力‑应变双模态信号同时检测的柔性传感器及制备方法,传感器包括下封装保护层、下电极板、第一金属引线层、多孔电介质层、第二金属引线层、上电极板,以及上封装保护层。下电极板和上电极板的材料为低维纳米材料,制备器件时,电极板的低维纳米材料向下封装保护层的上表面扩散形成第一扩散层,上电极板的低维纳米材料向多孔电介质层的上表面扩散形成第二扩散层;下电极板和上电极板作为电容器结构的极板部分用于感知压力信号,同时作为应变计结构用于感知拉伸信号。本发明传感器制备方法简单,低维纳米材料的两端嵌入上下方的弹性体,使上下层形成有效的衔接,无需后期额外的组装粘合。
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公开(公告)号:CN113277463A
公开(公告)日:2021-08-20
申请号:CN202110526906.7
申请日:2021-05-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于载网结构的原位力学测试芯片及制备方法,该芯片功能层包括硅衬底、位于硅衬底上表面的扩散层、悬浮在扩散层上的悬浮块和承载膜、位于悬浮块四周的悬浮块锚点区、位于悬浮块锚点区表面的上电极引线压焊块、以及位于扩散层上的下电极引线压焊块;所述扩散层包括位于悬浮块和承载膜下方的扩散层下极板区、与下电极引线压焊块连接的扩散层电极引线区、连接扩散层下极板区与下电极引线区的导电通道;悬浮在扩散层上的悬浮块和承载膜作为上极板区,与扩散层下极板区共同构成平行板电容执行器,可以实现芯片在厚度方向的静‑动态驱动,样品可放置在承载膜上并实现不同功能的力学参数测试。
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公开(公告)号:CN113218982A
公开(公告)日:2021-08-06
申请号:CN202110526921.1
申请日:2021-05-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种原位力学测试芯片及制备方法,包括平行板静电执行器和热执行器,所述平行板静电执行器和热执行器均关于同一条对称轴对称,热执行器沿对称轴方向运动;热执行器上设置有第二样品台,第二样品台随热执行器沿对称轴方向运动;平行板静电执行器包括第一样品台;第一样品台随平行板静电执行器沿垂直于第一样品台所在平面的方向运动;所述第二样品台朝向第一样品台的端面上开设有第一凹槽,第一样品台位于第一凹槽中,且第一样品台与第二样品台之间有间隔,样品台设计为交叉结构;驱动结构分别是热执行器和静电执行器,静电执行器上下极板间可以产生静电斥力和静电引力,实现静电执行器上极板在样品厚度方向上下运动。
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公开(公告)号:CN111983255A
公开(公告)日:2020-11-24
申请号:CN202010894299.5
申请日:2020-08-31
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/00
Abstract: 本发明公开了一种柔性的基于热对流原理的加速度传感器,包括由聚二甲基硅氧烷材料制备的带有空腔的顶盖;含有气体包括空气、惰性气体等,亦或是液体包括水、油填充物的腔体;安置于密封腔体中部位置的加热元件;若干安置于密封腔体内并围绕加热元件对称的感温元件;由聚酰亚胺、柔性PVC聚合物材料制备的柔性衬底。通过测量电路与感温元件构成惠斯通电桥,通过测量惠斯通电桥上两端的电压值变化,结合比例关系进而得到加速度的大小。本发明采用微机械热对流式加速度传感器工作原理,无悬空、可动结构的柔性加速度传感器,相比于已有的柔性加速度传感器,极大的提高了柔性加速度传感器的可靠性、耐冲击性;降低了制造成本、工艺复杂度。
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公开(公告)号:CN109827681A
公开(公告)日:2019-05-31
申请号:CN201910125217.8
申请日:2019-02-19
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种含有放大结构的柔性应变传感器及其制备方法,该传感器包括柔性基底、感应薄膜层和结构层;柔性基底的顶端表面设有中心凹槽和四个边缘凹槽,四个边缘凹槽成中心对称分布在中心凹槽的四周;边缘凹槽的长度方向与柔性基底的横向成夹角设置,且该夹角为锐角;感应薄膜层位于柔性基底的中心凹槽中;结构层含有四个结构柱,结构柱位于柔性基底的边缘凹槽中并与边缘凹槽一一对应。本发明柔性应变传感器通过放大结构对感压薄膜层放大拉伸,实现提高柔性应变传感器的灵敏度的目的。本发明制备方法,工艺流程简单,可行性高。
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公开(公告)号:CN105606269B
公开(公告)日:2018-04-03
申请号:CN201510580359.5
申请日:2015-09-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种具有高线性度的电容式压力传感器,该压力传感器包括从下向上依次布设的硅衬底层、二氧化硅层和多晶硅层;硅衬底层中设有第一空腔和四个下电极;二氧化硅层中设有多晶硅支撑层和第二空腔,第二空腔与第一空腔连通;多晶硅层包括可动敏感薄膜层、四个上电极、多晶硅锚区,每个上电极的一端通过连接杆与可动敏感薄膜层的一端面连接,每个上电极的另一端通过弹性件与多晶硅锚区连接,下电极位于连接杆的下方,且上电极靠近可动敏感薄膜层的端面和下电极远离第一空腔的端面处于同一面中。该压力传感器将纵向的位移变化转为化横向面积变化,具有高线性度,同时压力传感器的上下极板之间是非接触的,提高了器件的可靠性。
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