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发明公开
一种具有侧面空腔的薄膜体声波谐振器及滤波器审中-实审

公开(公告)号：CN119543869A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411441636.X

申请日：2024-10-16

Applicant: 东南大学

Inventor： 聂萌 , 刘运鸿 , 王磊 , 吴之翔

IPC: H03H9/17 , H03H9/54 , H03H9/02 , H03H3/02

Abstract: 本发明公开了一种具有侧面空腔的薄膜体声波谐振器及滤波器。该薄膜体声波谐振器的声学镜、底电极、压电层、顶电极在谐振器厚度方向上的重合区域构成有效谐振区域，通过在有效谐振区域外设置具有不规则边缘形状的侧面空腔，使原本集中的横向声波分散，并使原有横向声波的传播路径延长，横向寄生模态的强度减弱，从而有效抑制薄膜体声波谐振器的寄生模态，并提高器件的品质因数。

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